硅片清洗用移动装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅片清洗用移动装置，包括机架、安装在所述机架上且相对水平设置的导向板，所述导向板沿长度方向设有导向槽，所述导向板的下端沿长度方向固定有齿条，所述导向板上设有承载机构，所述承载机构包括基板、安装在所述基板上的支轴以及位于所述支轴两端的滚轮，所述基板上固定有气缸，所述气缸的气缸臂固定有承载板，所述承载板的四周固定有挂钩，所述滚轮位于所述导向槽内，所述基板的下端固定有电机，所述电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。本实用新型结构简单，使用方便，运行平稳，避免硅片在移动过程中的晃动，确保了硅片的质量，减少资源损耗，降低了生产成本。
【专利说明】硅片清洗用移动装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种硅片清洗用移动装置。
【背景技术】
[0002] 全自动超声波清洗设备上通常设置有机械臂，机械臂用来对清洗工件进行工位搬 运。由于硅片清洗需要经过多道工序，通过机械臂来移动，但是现有机械臂在移动的过程中 会出现晃动，导致用于承载硅片的清洗篮晃动，使得清洗篮内的硅片会出现碰撞，从而造成 损伤，影响硅片的质量，增大了企业的生产成本。 实用新型内容
[0003] 本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种结构简单的硅片清洗用移动装置。
[0004] 为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种硅片清洗用移动装置，包括 机架、安装在所述机架上且相对水平设置的导向板，所述导向板沿长度方向设有导向槽，所 述导向板的侧端沿长度方向固定有齿条，所述导向板上设有承载机构，所述承载机构包括 基板、安装在所述基板上的支轴以及位于所述支轴两端的滚轮，所述基板上固定有气缸，所 述气缸的气缸臂固定有承载板，所述承载板的四周固定有挂钩，所述滚轮位于所述导向槽 内，所述基板的下端固定有电机，所述电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合 连接。
[0005] 本实用新型一个较佳实施例中，硅片清洗用移动装置进一步包括所述基板上固定 有至少一个导向杆，所述承载板上固定有至少一个立杆，所述立杆部分置入所述导向杆内。
[0006] 本实用新型一个较佳实施例中，硅片清洗用移动装置进一步包括所述导向杆的数 量为两个，所述立杆的数量为两个，两个所述导向杆、两个所述立杆均呈对角设置。
[0007] 本实用新型一个较佳实施例中，硅片清洗用移动装置进一步包括所述承载机构的 数量为两个。
[0008] 本实用新型一个较佳实施例中，硅片清洗用移动装置进一步包括所述基板的四周 固定有轴承座，所述轴承座内设有轴承，所述支轴穿过所述轴承。
[0009] 本实用新型一个较佳实施例中，硅片清洗用移动装置进一步包括所述电机为步进 电机。
[0010] 本实用新型解决了【背景技术】中存在的缺陷，本实用新型结构简单，使用方便，运行 平稳，避免硅片在移动过程中的晃动，确保了硅片的质量，减少资源损耗，降低了生产成本。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012] 图1是本实用新型的优选实施例的结构示意图；
[0013] 图2是本实用新型的优选实施例的基板、导向板的俯视图；
[0014] 图中：2、机架，4、导向板，6、导向槽，8、齿条，10、基板，12、支轴，14、滚轮，16、气缸， 18、气缸臂，20、承载板，22、挂钩，24、电机，26、输出轴，28、齿轮，30导向杆，32、立杆，34、轴 承座，36、轴承。
【具体实施方式】
[0015] 现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的 示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构 成。
[0016] 如图1、图2所示，一种硅片清洗用移动装置，包括机架2、安装在机架2上且相对 水平设置的导向板4,导向板4沿长度方向设有导向槽6,导向板4的侧端沿长度方向固定 有齿条8,导向板4上设有承载机构，承载机构包括基板10、安装在基板10上的支轴12以 及位于支轴12两端的滚轮14,基板10上固定有气缸16,气缸16的气缸臂18固定有承载 板20,承载板20的四周固定有挂钩22,挂钩22用于吊挂盛装硅片的清洗篮，滚轮14位于 导向槽6内，本实用新型优选承载机构的数量为两个，四个滚轮14均位于导向槽6内，滚轮 14被限位在导向槽6内，且沿导向槽6移动，水平运行平稳，基板10的下端固定有电机24， 电机24的输出轴26固定有齿轮28,齿轮28与齿条8啮合连接，当电机24启动时，齿轮28 旋转，由于齿条8固定不动，齿轮28沿齿条8的长度方向移动,从而使得基板10水平移动， 带动承载板20水平移动。
[0017] 本实用新型优选基板10上固定有至少一个导向杆30,承载板20上固定有至少一 个立杆32,立杆32穿过基板10且部分置入导向杆30内，立杆32沿导向杆30坚直上下移 动，运行平稳。进一步优选导向杆30的数量为两个，立杆32的数量为两个，两个导向杆30、 两个立杆32均呈对角设置，导向杆30、立杆32的截面均呈圆形，进一步使得承载板20沿坚 直方向的运行平稳，避免承载板20的晃动，从而避免硅片的晃动，确保硅片的质量。
[0018] 本实用新型优选基板10的四周固定有轴承座34,轴承座34内设有轴承36,支轴 12穿过轴承36。
[0019] 为了从一个清洗工序移动到另一个清洗工序，本实用新型优选电机24为步进电 机。
[0020] 本实用新型的工作原理如下：
[0021] 气缸16启动，气缸臂18推动承载板20向下运动，吊挂在挂钩22上的清洗篮向下 移动至第一清洗槽内，通过超声波清洗完毕后，气缸16复位，带动清洗篮离开第一个清洗 槽，电机24启动，在齿轮28与齿条8的配合下，带动清洗篮平移至第二个清洗槽的上方，气 缸启动，气缸臂18推动承载板20向下运动，吊挂在挂钩22上的清洗篮向下移动至第二清 洗槽内，通过超声波进行清洗，如此循环。
[0022] 以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全 可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型 的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
【权利要求】
1. 一种硅片清洗用移动装置，其特征在于：包括机架、安装在所述机架上且相对水平 设置的导向板，所述导向板沿长度方向设有导向槽，所述导向板的侧端沿长度方向固定有 齿条，所述导向板上设有承载机构，所述承载机构包括基板、安装在所述基板上的支轴以及 位于所述支轴两端的滚轮，所述基板上固定有气缸，所述气缸的气缸臂固定有承载板，所述 承载板的四周固定有挂钩，所述滚轮位于所述导向槽内，所述基板的下端固定有电机，所述 电机的输出轴固定有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。
2. 根据权利要求1所述的硅片清洗用移动装置，其特征在于：所述基板上固定有至少 一个导向杆，所述承载板上固定有至少一个立杆，所述立杆部分置入所述导向杆内。
3. 根据权利要求2所述的硅片清洗用移动装置，其特征在于：所述导向杆的数量为两 个，所述立杆的数量为两个，两个所述导向杆、两个所述立杆均呈对角设置。
4. 根据权利要求1所述的硅片清洗用移动装置，其特征在于：所述承载机构的数量为 两个。
5. 根据权利要求4所述的硅片清洗用移动装置，其特征在于：所述基板的四周固定有 轴承座，所述轴承座内设有轴承，所述支轴穿过所述轴承。
6. 根据权利要求1所述的硅片清洗用移动装置，其特征在于：所述电机为步进电机。
【文档编号】B08B3/12GK203875062SQ201420194354
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】周建荣 申请人:苏州金牛精密机械有限公司