括机座1、电磁铁芯2、共振弹簧3、振动体4、线圈5、硬橡胶冲击块6和调整螺栓I。
[0045]实施例1:
[0046]—种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0047](I)在装载晶棒的工作台上固定一个电磁振动器，开启电磁振动器，控制电磁振动器的振幅和频率，使晶棒相对振动的振幅控制为50μηι，相对振动的频率控制为50Hz ；晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率通过便携式测振仪现场测试监控，测试方法为:将振动测试仪上连接的磁性吸座吸附在工作台上，通过磁性吸座上的传感器将晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率传播至测振仪，现场实时读出相对振动的振幅及相对振动的频率数据。
[0048](2)启动金刚石带锯条运转，其它截断工艺参数按照现有的晶棒截断方法保持不变。在切削过程中使装载晶棒的工作台保持平行于其进给方向进行周期性的左右相对振动，在切削过程中，使晶棒和金刚石带锯条之间的空间和作用力发生周期性的变化，实现金刚石带锯条对晶棒进行周期性的振动切削，最终截断晶棒。
[0049]实施例2:
[0050]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0051 ] (I)在装载晶棒的工作台上固定一个电磁振动器，开启电磁振动器，控制电磁振动器的振幅和频率，使晶棒相对振动的振幅控制为2 O O μπι，相对振动的频率控制为5 O H z ;晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率通过便携式测振仪现场测试监控，测试方法为:将振动测试仪上连接的磁性吸座吸附在工作台上，通过磁性吸座上的传感器将晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率传播至测振仪，现场实时读出相对振动的振幅及相对振动的频率数据。
[0052 ] (2)启动金刚石带锯条运转，其它截断工艺参数按照现有的晶棒截断方法保持不变。在切削过程中使装载晶棒的工作台保持平行于其进给方向进行周期性的左右相对振动，在切削过程中，使晶棒和金刚石带锯条之间的空间和作用力发生周期性的变化，实现金刚石带锯条对晶棒进行周期性的振动切削，最终截断晶棒。
[0053]实施例3:
[0054]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0055](I)在装载晶棒的工作台上固定一个电磁振动器，开启电磁振动器，控制电磁振动器的振幅和频率，使晶棒相对振动的振幅控制为1 O μπι，相对振动的频率控制为5 O H ζ ;晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率通过便携式测振仪现场测试监控，测试方法为:将振动测试仪上连接的磁性吸座吸附在工作台上，通过磁性吸座上的传感器将晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率传播至测振仪，现场实时读出相对振动的振幅及相对振动的频率数据。
[0056](2)启动金刚石带锯条运转，其它截断工艺参数按照现有的晶棒截断方法保持不变。在切削过程中使装载晶棒的工作台保持平行于其进给方向进行周期性的左右相对振动，在切削过程中，使晶棒和金刚石带锯条之间的空间和作用力发生周期性的变化，实现金刚石带锯条对晶棒进行周期性的振动切削，最终截断晶棒。
[0057]实施例4:
[0058]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0059](I)在装载晶棒的工作台上固定一个电磁振动器，开启电磁振动器，控制电磁振动器的振幅和频率，使晶棒相对振动的振幅控制为15 O μπι，相对振动的频率控制为5 O H z ;晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率通过便携式测振仪现场测试监控，测试方法为:将振动测试仪上连接的磁性吸座吸附在工作台上，通过磁性吸座上的传感器将晶棒相对振动的振幅及相对振动的频率传播至测振仪，现场实时读出相对振动的振幅及相对振动的频率数据。
[0060](2)启动金刚石带锯条运转，其它截断工艺参数按照现有的晶棒截断方法保持不变。在切削过程中使装载晶棒的工作台保持平行于其进给方向进行周期性的左右相对振动，在切削过程中，使晶棒和金刚石带锯条之间的空间和作用力发生周期性的变化，实现金刚石带锯条对晶棒进行周期性的振动切削，最终截断晶棒。
[0061 ] 实施例5
[0062]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0063]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为IlOym0
[0064]实施例6
[0065]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0066]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为120μηιο
[0067]实施例7
[0068]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0069]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为130μηιο
[0070]实施例8
[0071]—种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0072]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为140μηιο
[0073]实施例9
[0074]—种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0075]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为160ymo
[0076]实施例10[0077 ]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0078]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为170μηιο
[0079]实施例11
[0080]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0081]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为180μηιο
[0082]实施例12
[0083]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0084]步骤(I)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为190μπιο
[0085]实施例13
[0086]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0087]步骤(1)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为60
μ??ο
[0088]实施例14
[0089]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0090]步骤(1)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为70
μ??ο
[0091]实施例15
[0092]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0093]步骤(1)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为80
μ??ο
[0094]实施例16
[0095 ]一种晶棒的截断方法，包括以下步骤:
[0096]步骤(1)、(2)同实施例1，不同之处在于本实施例使晶棒相对振动的振幅控制为90
μ??ο
[0097]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种晶棒的截断方法，其特征在于，采用金刚石带锯条对所述晶棒进行周期性的振动切削使所述晶棒被截断，在切削所述晶棒过程中，所述晶棒进行周期性的振动。2.如权利要求1所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。3.如权利要求2所述的晶棒的截断方法，其特征在于，采用振动施加装置使所述晶棒平行于所述晶棒的进给的方向进行周期性的往复振动。4.如权利要求3所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述振动施加装置为电磁振动器。5.如权利要求4所述的晶棒的截断方法，其特征在于，在装载有所述晶棒的工作台上设置所述电磁振动器，所述电磁振动器带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台上装载的所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。6.如权利要求1所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒的振幅为50μπι-200μπι。7.如权利要求6所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒的振幅为IΟΟμπι-150μπι。8.—种带锯机，其特征在于，包括金刚石带锯条、振动施加装置和用于装载晶棒的工作台，所述振动施加装置设置在工作台上用于带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台装载的晶棒产生周期性振动。9.如权利要求8所述的带锯机，其特征在于，所述振动施加装置为电磁振动器。10.如权利要求9所述的带锯机，其特征在于，所述电磁振动器带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台上装载的所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。
【专利摘要】本发明提供了一种晶棒的截断方法，采用金刚石带锯条对所述晶棒进行周期性的振动切削使晶棒被截断，在切削所述晶棒过程中，晶棒进行周期性的振动。由于采用金刚石带锯条对晶棒进行周期性的振动切削，从而使金刚石带锯条周期性地接触、离开晶棒，振动切削使带锯条的金刚石颗粒磨损减小，减少了金刚石颗粒过早脱落的发生，使金刚石带锯条的使用寿命得到延长，金刚石带锯条的切削效率得到提高，同时该方法简单有效，大大降低了晶棒的截断成本。本发明还提供了一种带锯机，包括金刚石带锯条、振动施加装置和用于装载晶棒的工作台，振动施加装置设置在工作台上用于带动工作台产生周期性振动，进而使工作台装载的晶棒产生周期性振动；该带锯机结构简单。
【IPC分类】B28D5/00
【公开号】CN105437389
【申请号】CN201510753885
【发明人】况云辉, 章金兵, 范立峰, 张细根
【申请人】江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年11月6日