吐出通道C，将左侧的隔壁3的位移面积设为Asl，将右侧的隔壁3的位移面积设为Λ S2，则平均位移量Λ sm = ( Δ si + Δ s2)/2。能够容易从图4理解的那样，关于平均位移量A sm的最大值与最小值之差，与现有的驱动电极6相比本发明的驱动电极6小，且平均变形量Δ sm的偏差减小。例如，在基板位置为两端(一 54mm，+54mm)位置的吐出通道C的情况下，与现有的驱动电极6相比，本发明的驱动电极6的平均变形量Δ sm的偏差约改善30%。
[0061]此外，在图2?图4所示的情况下，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间，位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd (Tmc > Tmd)。另一方面，图2?图4所示的电极深度、位移量及位移面积比，相对于基板位置为中央附近的值，在基板位置的两端附近的值都是最小的。因此，在基板位置的两端侧(一侧，+侧)，即比通道列CR的既定位置更位于两端侧的吐出通道C与邻接于该吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足上述关系(Tmc > Tmd),即便在基板位置的其他区域，即位于通道列CR的中央附近的吐出通道C的驱动电极6和伪通道D的驱动电极6与现有相同，电极的深度、位移量及位移面积比的偏差减少也是明显的。例如，在只有基板位置比一 30mm位于一侧以及基板位置比+ 30mm位于+侧的吐出通道C满足上述关系(Tmc > Tmd)的情况下，液滴的吐出偏差也减少。
[0062]另外，在本实施方式中，对使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc > Tmd的关系的情况进行了说明。取而代之，在使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，浅于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc < Tmd (称为式(2)。以下同样)的关系的情况下，也能得到同样的结果。在吐出通道C与邻接于吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足Tmc < Tmd的关系。另外，在通道列CR的邻接的全部吐出通道C与伪通道D之间满足。另外，在位于通道列CR的两端侧的吐出通道C与邻接于吐出通道C的两侧的伪通道D之间满足。另外，在本实施方式中，利用4次的斜向蒸镀法来形成驱动电极6，但是也能代替为利用2次的斜向蒸镀法来形成驱动电极6。例如，能够以使吐出通道C与伪通道D的槽宽度不同的方式形成。
[0063](第二实施方式)
图5是本发明的第二实施方式所涉及的液体喷射头1的示意性的分解立体图。液体喷射头1为边缘喷射型。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0064]如图5所示，液体喷射头1具备:促动器基板2 ;与促动器基板2的上表面UP接合的盖板10 ;以及与促动器基板2的前方端面粘接的喷嘴板13。促动器基板2由压电体材料构成，能够使用例如PZT或BaT1j^陶瓷。对促动器基板2从下方到上方或从上方到下方一样地实施极化处理。促动器基板2具备:在上表面UP夹着隔壁3交替排列而构成槽列MR的吐出槽4和非吐出槽5 ;以及在隔壁3的侧面从隔壁3的上端沿深度方向定位的驱动电极6。
[0065]吐出槽4从促动器基板2的前方端延伸至后方端的跟前，非吐出槽5从促动器基板2的前方端笔直延伸至后方端。吐出槽4在促动器基板2的前方端面开口，后方端的一侧成为从吐出槽4的底面向上表面UP切上来倾斜面，在上表面UP终端。非吐出槽5在促动器基板2的前方端面和后方端面开口。促动器基板2在后方端附近的上表面UP具备共同端子15a和个别端子15b。共同端子15a与位于吐出槽4的两侧面的驱动电极6电连接，位于吐出槽4的一侧，个别端子15b电连接位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4侧的侧面的两个驱动电极6，比共同端子15a位于后方端的一侧。
[0066]盖板10具备液室11和从液室11的底面向促动器基板2侧贯通的多个狭缝12。盖板10使共同端子15a、个别端子15b及非吐出槽5的后方侧的一部分露出并与促动器基板2的上表面UP接合。各狭缝12分别与吐出槽4的后方侧连通。因此，液室11经由各狭缝12而与各个吐出槽4连通，不与非吐出槽5连通。喷嘴板13在与各吐出槽4对应的位置具备喷嘴14，粘接在促动器基板2及盖板10的前方端面。各喷嘴14分别与吐出槽4连通。吐出槽4被盖板10和喷嘴板13包围而构成吐出通道C，非吐出槽5被盖板10覆盖而构成伪通道D。作为盖板10能够使用PZT陶瓷或8&1103陶瓷材料或塑料材料。作为喷嘴板13，能够使用聚酰亚胺膜等的塑料材料或金属材料。
[0067]在此，位于吐出槽4(吐出通道C)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出槽4 (吐出通道C)邻接的非吐出槽5 (伪通道D)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd。S卩，满足Tmc > Tmd的关系。另外，在吐出槽4与邻接于吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。进而，在槽列MR (通道列)的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。另外，也可以在比槽列MR的既定位置位于两端侧的吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。
[0068]液体喷射头1如下驱动。若向液室11供给液体，则液体经由各狭缝12流入各吐出槽4。而且，若向共同端子15a和个别端子15b供给驱动电压，则首先吐出槽4的两个隔壁3进行厚度滑移变形而使吐出槽4 (吐出通道C)的容积增加，从而从液室11取入液体，接着，使吐出槽4的容积减少而从喷嘴14吐出液滴。依据本发明的驱动电极6的结构，减小对隔壁3的变形量产生影响的有效的驱动电极6的电极深度的偏差，随之减小两个隔壁3的平均位移量△ dm、平均变形量Asm的偏差。其结果，关于吐出通道C的基板位置能够使液滴吐出条件均等。
[0069]此外，在使位于吐出通道C的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，浅于位于与吐出通道C邻接的伪通道D的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd，即满足Tmc < Tmd的关系的情况下，也能得到同样的结果，这与第一实施方式中的说明同样。
[0070](第三实施方式)
图6是本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1的说明图。图6 (a)是液体喷射头1的示意性的分解立体图，图6 (b)是吐出槽4的截面示意图。液体喷射头1是侧面喷射型。对于与相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0071]如图6所示，液体喷射头1具备:促动器基板2 ;与促动器基板2的上表面UP粘接的喷嘴板13 ;以及与促动器基板2的下表面LP接合的盖板10。促动器基板2具备:夹着隔壁3交替排列而构成槽列MR的吐出槽4和非吐出槽5 ;以及在隔壁3的侧面从隔壁3的上端沿深度方向定位的驱动电极6。吐出槽4和非吐出槽5在X方向(槽方向)细长、在y方向交替排列而构成槽列MR (通道列CR)。吐出槽4及非吐出槽5沿促动器基板2的板厚方向贯通。吐出槽4从促动器基板2的X方向的一端的跟前延伸至另一端的跟前。吐出槽4的中央部以在上表面UP的X方向细长的形状开口，两端部成为从上表面UP向下表面LP扩展的倾斜面。非吐出槽5从促动器基板2的槽方向的一端延伸至另一端。非吐出槽5的中央部具有使吐出槽4的上下反转的形状，两端部从上表面UP具有恒定的深度。S卩，非吐出槽5从上表面UP的一端到另一端以细长的形状开口。吐出槽4的两侧面的驱动电极6对应地位于吐出槽4在上表面UP开口的开口部。
[0072]促动器基板2在X方向的一端附近的上表面UP具备共同端子15a和个别端子15b。共同端子15a位于吐出槽4的开口部附近，经由沿着吐出槽4的开口部向槽方向延伸的未图示的布线16而与位于吐出槽4的两侧面的驱动电极6电连接。个别端子15b比共同端子15a还位于另一端的一侧，电连接位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4侧的侧面的两个驱动电极6。
[0073]盖板10具备两个液室11a、lib。一个液室11a与吐出槽4的一端部连通，另一个液室lib与吐出槽4的另一端部连通。非吐出槽5不在两个液室11a、lib开口的促动器基板2侧的开口区域开口。因此，无需在两个液室lla、llb设置狭缝。喷嘴板13具备喷嘴14。喷嘴板13以堵塞吐出槽4的开口部并露出共同端子15a和个别端子15b的方式粘接在促动器基板2的上表面UP。喷嘴14与在上表面UP开口的吐出槽4连通。吐出槽4被盖板10和喷嘴板13包围而构成吐出通道C，非吐出槽5被盖板10和喷嘴板13覆盖而构成伪通道D。沿y方向排列的槽列MR构成通道列CR。
[0074]作为促动器基板2能够使用PZT、BaTi03等的陶瓷。作为盖板10能够使用PZT陶瓷或其他陶瓷材料或塑料材料。作为喷嘴板13，能够使用聚酰亚胺膜等的塑料材料或金属材料。电极6采用由金属材料或半导体材料构成的导电材料，利用斜向蒸镀法形成。能够使用例如T1、N1、Al、Au、Ag、S1、C、Pt、Ta、Sn、In等。通道的长度在x方向为3mm?8mm,通道的宽度为20 μ m?100 μ m，通道的高度h为100 μ m?400 μ m。
[0075]在此，位于吐出槽4(吐出通道C)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmc，深于位于与吐出槽4 (吐出通道C)邻接的非吐出槽5 (伪通道D)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度Tmd。S卩，满足Tmc > Tmd的关系。另外，在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。另外，在槽列(通道列CR)的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。另外，也可以在比槽列MR的既定位置还位于两端侧的吐出槽4与非吐出槽5之间满足Tmc > Tmd的关系。
[0076]液体喷射头1如下驱动。从外部向液室lla(或液室lib)供给液体，向各吐出槽4(吐出通道C)填充液体。进而，液体从各吐出槽4向液室lib (或液室11a