，接着，利用宽度较窄的切割刀能够一并非磨削而形成吐出槽5。或者，利用宽度较窄的非吐出槽5用的切割刀，一底形成槽之后使切割刀从上表面UP浮起并向槽列MR方向稍许移动，重复磨削槽，从而能够形成比切割刀的宽度还宽的宽度的吐出槽4。促动器基板2能够使用例如PZT陶瓷、8&1103陶瓷。吐出槽4及非吐出槽5能够将槽宽度设为20 μ m?100 μ m、将槽的深度设为100 μ m?400 μ mD
[0092]接着，如图11 (b)所示，电极材料沉积工序S3中，利用斜向蒸镀法在促动器基板2的上表面UP和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。在该情况下，以使槽宽度Wc较宽的吐出槽4的侧壁比槽宽度Wd窄的非吐出槽5的侧壁深的方式沉积电极8。接着，如图11 (c)所示，树脂膜除去工序S4中，除去树脂膜7，同时还除去在树脂膜7的上表面沉积的导电材料(剥离法)。其结果，在吐出槽4及非吐出槽5的两侧面沉积的电极8作为驱动电极6而残留，促动器基板2的上表面UP的电极8作为未图示的共同端子15a及个别端子15b而残留。因此，与第一实施方式中的说明同样，位于吐出槽4的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Tcl、Tc2的平均深度(Tmc)，会深于位于与吐出槽4邻接的非吐出槽5的对置的侧面的两个驱动电极6的深度Tdl、Td2的平均深度(Tmd)。S卩，满足Tmc > Tmd的关系。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足该吐出槽4的两个驱动电极6的平均深度Tmc与邻接于该吐出槽4的非吐出槽5的两个驱动电极6的平均深度Tmd之间的关系。另外，在槽列MR的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足上述关系。以下，盖板接合工序S5及喷嘴板粘接工序S6与第四实施方式同样，因此省略说明。
[0093](第六实施方式)
图12?图15是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。图12是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的工序图，图13?图15是本发明的第六实施方式所涉及的液体喷射头1的制造方法的说明图。对于相同的部分或具有相同的功能的部分标注相同的标号。
[0094]本第六实施方式所涉及的液体喷射头1的基本制造方法，具备树脂膜图案形成工序S1、槽形成工序S2和电极材料沉积工序S3。树脂膜图案形成工序S1在促动器基板2的表面(上表面UP)形成树脂膜7的图案。在该情况下，在吐出槽4与非吐出槽5之间的隔壁区域Rw之中，非吐出槽5或吐出槽4的任一个的一侧残留树脂膜7，从另一侧除去树脂膜
7。槽形成工序S2在促动器基板2的表面形成吐出槽4和非吐出槽5交替排列的槽列MR。电极材料沉积工序S3利用斜向蒸镀法在促动器基板2的表面和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。此外，槽形成工序S2也可以分离吐出槽4和非吐出槽5的形成工序。即，也可以在形成吐出槽4或非吐出槽5之后进行其他工序，接着形成非吐出槽5或吐出槽
4。另外，槽形成工序S2也可以在树脂膜图案形成工序S1之前进行。
[0095]例如，在树脂膜图案形成工序S1之际，在隔壁区域Rw的非吐出槽5侧残留树脂膜7，从隔壁区域Rw的吐出槽4侧除去树脂膜7。其结果，在进行电极材料沉积工序S3中的电极材料的斜向蒸镀时，在吐出槽4的两侧面沉积的电极材料，以比在非吐出槽5的两侧面沉积的电极材料更深树脂膜7的厚度的量地沉积。如果在隔壁区域Rw的、吐出槽4侧残留树脂膜7，从非吐出槽5侧除去树脂膜7，则在非吐出槽5的两侧面沉积的电极材料会比在吐出槽4的两侧面沉积的电极材料还深树脂膜7的厚度的量地沉积。S卩，位于吐出槽4(或非吐出槽5)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，深于位于与吐出槽4 (或非吐出槽5)邻接的非吐出槽5 (或吐出槽4)的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度。在吐出槽4与邻接于该吐出槽4的两侧的非吐出槽5之间满足该关系。另外，在槽列MR的全部吐出槽4与非吐出槽5之间满足上述关系。其结果，如在第一实施方式中说明的那样，减小隔壁3的有效的驱动电极6的电极深度的基板位置依赖性，并减小两个隔壁3的平均位移量Δ dm、平均变形量Δ sm的偏差，从而使吐出通道C的液滴吐出条件均等。
[0096]以下，利用图12?图15进彳丁具体说明。图13 (a)及(b)是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。图13 (c)及(d)是促动器基板2的上表面UP的示意图。图14 (a)及(b)是促动器基板2的非吐出槽5及吐出槽4的槽方向的截面示意图。图14 (c)及(d)是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。图14 (e)是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。图15 (a)是促动器基板2的上表面UP的示意图。图15 (b)是促动器基板2的槽列MR方向的截面示意图。图15 (c)及(d)是促动器基板2的吐出槽4的槽方向的截面示意图。
[0097]如图12及图13 (a)所示，吐出槽形成工序S22中，在促动器基板2的表面(下表面LP)形成吐出槽4。吐出槽4在进入纸面的槽列MR方向排列多个。促动器基板2使用例如PZT陶瓷或BaTi03陶瓷等的压电体材料，预先向表面的法线方向或其相反方向实施极化处理。吐出槽4能够使用切割刀等来形成。吐出槽4也可以不从下表面LP (背面)贯通到上表面UP (表面)，后面，对上表面UP进行磨削而使之贯通。
[0098]接着，如图12及图13 (b)所示，盖板接合工序S5中，在促动器基板2的下表面LP接合盖板10。盖板10具备在进入纸面的槽列MR方向细长、且互相分离的两个平行的液室11 a、1 lb。一个液室11 a与多个吐出槽4的一端部连通，另一个液室1 lb与多个吐出槽4的另一端部连通。
[0099]接着，如图12及图13 (c)所示，树脂膜图案形成工序S11中，在促动器基板2的上表面UP设置由抗蚀剂等构成的感光性树脂膜，接着，通过光刻工序形成树脂膜7的图案。树脂膜7的图案使吐出槽4与非吐出槽5之间的形成隔壁3的隔壁区域Rw之中，非吐出槽5的一侧的树脂膜7，除去吐出槽4的一侧的树脂膜7。同时，从形成共同端子15a及个别端子15b的区域除去树脂膜7。形成共同端子15a的区域位于吐出槽4的槽方向的端部与促动器基板2的另一端之间的吐出槽4侧，形成个别端子15b的区域，位于吐出槽4的槽方向的端部与促动器基板2的另一端之间的另一端侧。树脂膜7的膜厚为吐出槽4的电极深度与邻接的非吐出槽的电极深度之间的差。例如，相对于位于吐出槽4的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度，在使位于与该吐出槽4邻接的非吐出槽5的对置的侧面的两个驱动电极6的平均深度之差为20 μ m的情况下，使树脂膜7的膜厚为20 μ m。此外，在本实施方式中，在隔壁区域Rw之中，残留非吐出槽5的一侧的树脂膜7并除去吐出槽4的一侧的树脂膜7，但是取而代之，也可以残留吐出槽4的一侧的树脂膜7，并除去非吐出槽5的一侧的树脂膜7。
[0100]此外，树脂膜图案形成工序S11中，残留非吐出槽5或吐出槽4的任一个的一侧的树脂膜7，从另一侧除去树脂膜7的区域，仅为比槽列MR的既定位置更靠两端侧的区域，在其他区域中残留非吐出槽5及吐出槽4两者一侧的树脂膜7，或者，也可以除去两者一侧的树脂膜7也可。
[0101]接着，如图12及图13 (d)所示，非吐出槽形成工序S23中，在两个吐出槽之间的促动器基板2的上表面UP，利用切割刀等来对非吐出槽5进行磨削而形成。非吐出槽5如图14 (a)所示，槽方向的中央部具有吐出槽4的上下反转的形状，槽方向的两端部从上表面UP以恒定深度的浅底形成。非吐出槽5从促动器基板2的上表面UP的一端、延伸至另一端。非吐出槽5具有在槽方向的中央部中具有贯通动器基板2，并达到盖板10的深度。然而，不与盖板10的两个液室11a、lib连通。另外，如图14 (b)及(c)所示，在构成非吐出槽5的两隔壁3的上端面的非吐出槽5侧残留有树脂膜7。相对于此，在构成吐出槽4的两隔壁3的上端面的吐出槽4侧不残留树脂膜7。在促动器基板2的上表面UP的形成共同端子15a或个别端子15b的区域残留有树脂膜7。
[0102]接着，如图12及图14 (d)、(e)所示，电极材料沉积工序S3中，利用斜向蒸镀法在促动器基板2的上表面UP和吐出槽4及非吐出槽5的侧面沉积电极材料。具体而言，相对于隔壁3的上端面的法线从角度θ1的右斜上方进行导电材料的斜向蒸镀，接着，相对于隔壁3的上端面的法线从相同的角度Θ1的左斜上方进行导电材料的斜向蒸镀。如已经说明的那样，在促动器基板2的左位置和右位置中蒸镀方向不同，成为Θ1’> θ 1 > Θ1”的关系。在夹着吐出槽4的两个隔壁3的、吐出槽4侧的上表面UP不存在树脂膜7，而在夹着非吐出槽5的两个隔壁3的、非吐出槽5侧的上表面UP存储在树脂膜7。因此，吐出槽4的侧面的电极8会比非吐出槽5的侧面的电极8更深树脂膜7的厚度的量而沉积。S卩，在吐出槽4的侧面具备的两个电极8的平均的深度，会比在与该吐出槽4邻接的非吐出槽5的侧面具备的两个电极8的平均深度更深树脂膜7的厚度的量，该关系满足槽列MR的邻接的全部吐出槽4与非吐出槽5之间的关系。
[0103]接着，如图12及图15 (a)、(b)、(c)所示，树脂膜除去工序S4中，从促动器基板2的上表面UP除去树脂膜7，从而在吐出槽4及非吐出槽5的侧面形成驱动电极6，在促动器基板2的上表面UP，形成与位于非吐出槽5的两侧面的驱动电极6电连接的共同端子15a以及位于夹着吐出槽4的两个非吐出槽5的吐出槽4 一侧的侧面的驱动电极6电连接的个别端子15b。此外，吐出槽4的驱动电极6和上表面UP的共同端子15a，经由位于吐出槽4的开口端附近的上表面UP的布线16电连接。
[0104]接着，如图12及图15 (d)所示，喷嘴板粘接工序S6中，在促动器基板2的上表面UP粘接喷嘴板13。喷嘴板13具备与吐出槽4连通的喷嘴14。喷嘴板13比促动器基板2的槽方向的宽度窄，并且以使共同端子15a的一部分以及个别端子15b露出的方式粘接于上表面UP。由此，能够制造出图6所示的本发明的第三实施方式所涉及的液体喷射头1。此夕卜，液体喷射头1的特征在第一及第三实施方式中进行了详细说明，因此省略在此说明。
[0105]在本实施方式中，能够