功能膜的形成方法及液晶显示装置的制造方法

专利名称：功能膜的形成方法及液晶显示装置的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种通过使用液滴喷出装置向基板上涂敷功能膜形成用组合物，从而形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的功能膜的功能膜的形成方法及液晶显示装置的制造方法。

背景技术：
以往，作为形成液晶显示装置的液晶取向膜的方法，已知有使用液滴喷出装置的方法。该方法使用液滴喷出装置向基板上喷出液晶取向膜形成用组合物，然后该组合物干燥形成涂膜。接着，向形成的涂膜赋予液晶取向能，形成液晶取向膜。所述组合物是将液晶取向膜形成用材料例如聚酰亚胺或聚酰胺酸溶解于适当的溶媒配制而成的。
近年来，该使用液滴喷出装置的方法由于例如以下原因而备受瞩目。即，在该方法中，可以在需要的位置准确地形成具有需要厚度的液晶取向膜。另外，在该方法中，使用的液晶取向膜形成用组合物的量少。但是，在该方法中，喷出到基板上的所述组合物的液滴没有充分地在基板上扩展。即，组合物的湿润扩展性差。所以，该方法存在已形成的液晶取向膜中发生条纹状的不均即条纹不均从而不能形成具有均一的膜厚及平坦的表面的涂膜的问题。
为了解决该问题，在日本国特开2004-290961号公报中公开了提高液滴的湿润扩展性的方法。在该方法中，从液滴喷出装置以与着落直径(喷出的液滴在着落后的直径)相同的喷出间距(液滴喷出装置的多个液滴喷嘴的配置间隔)在基板上喷出液滴，并同时使用在表面实施了亲液化处理的基板。但是，在该方法中也不能利用使用的基板来保证湿润扩展性，有时会在已形成的液晶取向膜中发生条纹不均。


发明内容
本发明的目的在于提供一种通过使用液滴喷出装置在基板上形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的功能膜的功能膜的形成方法及液晶显示装置的制造方法。
为了实现上述目的，在本发明的第一方式中提供了功能膜的形成方法。该方法具备准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的基板的工序；准备含有功能膜形成用材料及有机溶媒的功能膜形成用组合物的工序；使用液滴喷出装置向基板上喷出功能膜形成用组合物从而形成功能膜的工序。
在本发明的第二方式中，提供了液晶显示装置的制造方法。该方法具备准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的在表面形成有透明导电膜的透明基板的工序；准备含有液晶取向膜形成用材料及有机溶媒的液晶取向膜形成用组合物的工序；使用液滴喷出装置向透明基板上喷出液晶取向膜形成用组合物从而形成液晶取向膜的工序。
本发明的其他特征及优点可以用以下的详细说明和为了说明本发明的特征而附带的附图阐明。



本发明的新型特征在附加的权利要求范围中被特别明确。可以通过与附加的附图一起参照以下所示的目前所优选的实施方式的说明，来理解带有目的及优势的本发明。
图1是本实施方式中的喷墨式喷出装置的概略图。
图2是表示液晶显示装置的截面的概略图。
图3是表示液晶显示装置的制造线的一例的图。
图4是表示液晶显示装置的制造方法的流程图。
图5是表示多个喷墨头的配置的图。
图6是表示喷墨头的内部结构的部分截面图。
图7是以示意性表示喷出位置与喷嘴之间的位置关系及液滴的配置图案的俯视图。
图8是表示液晶显示装置的制造过程中的基板的端面图。
图9是表示液晶显示装置的制造过程中的基板的端面图。
图10A是用于说明液晶显示装置的制造过程的图，是从其上方观察密封层的图。
图10B是用于说明液晶显示装置的制造过程的图，是从其横向观察密封层的截面图。
图11是表示液晶显示装置的制造过程中的基板的端面图。
图12A是用于说明液晶显示装置的制造过程中的贴合工序的图，是显示基板的端面图。
图12B是用于说明液晶显示装置的制造过程中的密封层的固化的图，是显示基板的端面图。
图13是以示意性表示第一变更例中的喷出位置与喷嘴之间的位置关系及液滴的配置图案的俯视图。
图14是以示意性表示第二变更例中的喷出位置与喷嘴之间的位置关系及液滴的配置图案的俯视图。
图15是以示意性表示第3变更例中的喷出位置与喷嘴之间的位置关系及液滴的配置图案的俯视图。
图16是以示意性表示第4变更例中的喷出位置与喷嘴之间的位置关系及液滴的配置图案的俯视图。

具体实施例方式 以下将本发明分成功能膜的形成方法及液晶显示装置的制造方法进行详细说明。
功能膜的形成方法 本发明中的功能膜的形成方法具备准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的基板的工序；准备功能膜形成用材料的工序；使用液滴喷出装置向基板上喷出功能膜形成用组合物从而形成功能膜的工序。功能膜形成用组合物含有功能膜形成用材料及有机溶媒。
利用本发明中的方法形成的功能膜是在基板上形成的具有功能性的薄膜。作为功能膜，例如可以举出在透明基板上形成的液晶取向膜、外涂(over coat)膜、滤色膜、光致抗蚀剂膜、在电路基板上形成的导电体膜及在集电体上形成的电极膜。其中，作为功能膜，优选在具有透明导电膜的透明基板上形成的液晶取向膜。
基板 本发明中的基板具有2.3nm以上、优选为2.3～4.0nm的表面粗糙度。在本发明中，表面粗糙度是指中心线平均粗糙度(Ra)。基板的表面粗糙度(Ra)可以使用例如原子间力显微镜(AMF)测定。在基板的表面形成基底层例如透明导电膜的情况下，基底层具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)。即，在本发明中，基板的表面粗糙度在该基板不具有基底层时是指基板本身的表面粗糙度，在该基板具有基底层时是指基底层的表面粗糙度。
对基板的材料没有特别限定，作为该材料，例如可以举出玻璃、硅、石英、陶瓷、金属及塑料。基板可以只由一种材料形成，也可以组合两种以上的材料形成。作为基板，可以使用单层的基板，也可以使用层叠多层的基板，还可以使用在表面形成有例如半导体膜、金属膜、电介质膜、有机膜或导电膜的基板。其中，在形成液晶取向膜的情况下，作为基板，优选使用在表面形成有透明导电膜的透明基板。
作为透明基板，例如可以举出由玻璃构成的基板及由塑料构成的基板。作为玻璃，例如可以举出浮法玻璃(float glass)及钠玻璃。作为塑料，例如可以举出聚对苯二甲酸乙二醇酯、据对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜及聚碳酸酯。作为透明导电膜，例如可以举出由氧化锡(SnO2)构成的NESA膜(美国PPG公司注册商标)及氧化铟-氧化锡(In2O3-SnO2)构成的铟锡氧化物ITO(Indium Tin Oxide)膜。
对在透明基板上形成透明导电膜的方法没有特别限定，作为该方法，例如可以举出溅射法、离子镀法及真空蒸镀法。
在本发明中，通过使用具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)的基板，可以提高功能膜形成用组合物的液滴相对基板表面的湿润扩展性。特别是在虽然利用液滴喷出装置而具有涂敷适应性但具有对基板表面而言贫乏的湿润扩展性的功能膜形成用组合物的情况下，可以容易地形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的功能膜。
对使基板的表面粗糙度(Ra)在2.3nm以上的方法没有特别限定，作为该方法可以采用公知的粗糙化处理方法。作为这样的方法，例如可以举出在基板的表面利用有机酸、高锰酸盐等药品实施粗糙化处理的方法。另外，在透明基板上形成透明导电膜的情况下，通过控制成膜条件，可以成膜为具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)的透明导电膜。作为所述成膜条件，用溅射法时，可以举出例如溅射的温度及气体的压力。
在本发明中，优选使用具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)并且在表面实施了亲液化处理的基板。通过在基板的表面实施亲液化处理，可以使功能膜形成用组合物相对基板的表面的湿润性更高。所以，可以容易地形成具有更均一的膜厚及平坦的表面的功能膜。
对在基板的表面实施亲液化处理的方法没有特别限定，作为该方法可以采用公知的方法。作为这样的方法，例如可以举出紫外线处理法及等离子处理法。在亲液化处理的前后，基板的表面粗糙度(Ra)大多不会发生很大变化，在亲液化处理后只要基板表面的表面粗糙度(Ra)为2.3nm以上即可。
功能膜形成用组合物 本发明中的功能膜形成用组合物含有功能膜形成用材料及有机溶媒。对功能膜形成用材料的种类没有特别限定。功能膜例如为在电路基板上形成的导电体膜的情况下，作为功能膜形成用材料可以使用导电性材料。功能膜例如为在集电体上形成的导电体膜的情况下，作为功能膜形成用材料可以使用电极材料。功能膜例如为在透明基板上形成的液晶取向膜的情况下，作为功能膜形成用材料可以使用液晶取向膜形成用材料。其中，作为功能膜形成用材料，特别优选用于在形成有透明导电膜的透明基板上形成液晶取向膜的液晶取向膜形成用材料。
对液晶取向膜形成用材料的种类没有特别限定，作为该材料可以使用公知的液晶取向膜形成用材料。作为液晶取向膜形成用材料，例如可以举出聚酰胺酸、聚酰亚胺、聚酰胺酸酯、聚酯、聚酰胺、聚硅氧烷、纤维素衍生物、聚缩醛、聚苯乙烯衍生物、聚(苯乙烯-苯基马来酰亚胺)衍生物及聚(甲基)丙烯酸酯。
例如为了能够形成具有出色的液晶取向能的取向膜，可以优选使用具有从下述式(I)所示的重复单元及下述式(II)所示的重复单元中选择的至少一种的聚合物作为液晶取向膜形成用材料。
(I)
式中，P1表示4价的有机基，Q1表示2价的有机基。
(II)
式中，P2表示4价的有机基，Q2表示2价的有机基。
作为这样的聚合物，例如可以举出(i)具有所述式(I)表示的重复单元的聚酰胺酸、(ii)具有所述式(II)表示的重复单元的酰亚胺化聚合物以及(iii)具备具有所述式(I)表示的重复单元的酰胺酸有机物和具有所述式(II)表示的重复单元的酰亚胺预聚物而成的嵌段共聚物。它们可以单独使用，也可以组合使用其中的两种以上。组合使用两种以上的情况下，优选混合使用聚酰胺酸和酰亚胺化聚合物。对聚合物的平均分子量没有特别限定，通常为170,000以上。
功能膜形成用组合物中含有的有机溶媒的种类，只要是能够均一地溶解或分散功能膜形成用材料的溶媒即可，没有特别限定。作为有机溶媒，例如可以举出聚酰胺酸的良好溶剂，例如质子惰性极性溶媒及酚系溶媒。
作为质子惰性极性溶媒，例如可以举出酰胺系溶媒、亚砜系溶媒、醚系溶媒及腈系溶媒。作为酰胺系溶媒，例如可以举出γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、六甲基磷酰胺及四甲基脲。作为亚砜系溶媒，例如可以举出二甲基亚砜及二乙基亚砜。
作为酚系溶媒，例如可以举出甲酚、二甲苯酚、苯酚及卤素化苯酚。作为甲酚，例如可以举出邻甲酚、间甲酚及对甲酚。作为二甲苯酚，例如可以举出邻二甲苯酚、间二甲苯酚及对二甲苯酚。作为卤素化苯酚，例如可以举出邻氯酚、间氯酚、邻溴酚及间溴酚，它们可以单独使用，也可以组合使用它们的两种以上。
作为有机溶媒，也可以适当选择聚酰胺酸的不良溶剂，与所述溶媒并用。作为聚酰胺酸的不良溶剂，例如可以举出醇系溶媒、酮系溶媒、醚系溶媒、酯系溶媒、卤代烃系溶媒、脂肪族烃系溶媒及芳香族烃系溶媒。
作为醇系溶媒，例如可以举出甲醇、乙醇、异丙醇、环己醇、4-羟基-4-甲基-2-庚酮(双丙酮醇)、乙二醇、丙二醇、1，4-丁二醇及三甘醇。作为酮系溶媒，例如可以举出丙酮、甲基乙基甲酮、甲基异丁基甲酮及环己酮。
作为醚系溶媒，例如可以举出乙二醇一甲醚、二乙醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇正丙醚、乙二醇异丙醚、乙二醇正丁醚(丁基溶纤剂)、乙二醇二甲醚、乙二醇乙醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇一甲醚、二甘醇一乙醚、乙酸二甘醇一甲醚酯、乙酸二甘醇一乙醚酯及四氢呋喃。
作为酯系溶媒，例如可以举出乳酸乙酯、乳酸丁酯、醋酸甲酯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、甲基甲氧基丙酸酯、乙基乙氧基丙酸酯、草酸二乙酯及二乙基丙二酸酯。作为卤代烃系溶媒，例如可以举出二氯甲烷、1，2-二氯乙烷、1，4-二氯丁烷、三氯乙烷、氯苯及邻二氯苯。作为脂肪族烃系溶媒，例如可以举出正己醇、正庚醇、正辛醇。作为芳香族烃系溶媒，例如可以举出苯、甲苯及二甲苯。
为了提高功能膜相对基板的表面的粘接性，除了所述功能膜形成用材料和有机溶媒以外，功能膜形成用组合物也可以含有含官能性硅烷化合物或含环氧基化合物。对含官能性硅烷化合物及含环氧基化合物的种类，没有特别限制，可以使用作为这些化合物的公知的化合物。功能膜形成用组合物可以通过向上述有机溶媒中溶解或分散优选溶解上述功能膜形成用材料和根据需要的例如含官能性硅烷化合物来制造。
为了使该组合物具有出色的弹性特性及喷出的稳定性，可以得到具有更均一的膜厚及平坦的表面的功能膜，本发明中的功能膜形成用组合物优选具有以下所示的范围的固体成分浓度、粘度及表面张力。
即，功能膜形成用组合物的固体成分浓度相对全部组合物优选1～10重量％，更优选1～4重量％。固体成分浓度相对全部组合物不到1重量％的情况下，功能膜的膜厚变得过小，不能得到良好的功能膜。固体成分浓度超过10重量％的情况下，功能膜的膜厚变得过大，不能得到良好的功能膜，而且功能膜形成用组合物的粘性增大，涂布特性差。
在23℃下的功能膜形成用组合物的粘度优选为3～20mPa·s，更优选为3～8mPa·s。通过将粘度调整到该范围，可以得到发挥出色流动性的功能膜形成用组合物，利用液滴喷出装置的喷出性稳定。
在23℃下的功能膜形成用组合物的表面张力优选为30～45mN/m，更优选为34～45mN/m。具有这样的范围的表面张力的功能膜形成用组合物具有对基板表面的出色的湿润性，可以利用液滴喷出装置有效地形成具有均一膜厚的涂膜。
在本发明中，通过在具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)的基板上，用液滴喷出装置喷出具有所述物理参数的功能膜形成用组合物，可以容易地形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的功能膜，可以大幅度地提高成品率。
液滴喷出装置 在本发明中，作为在基板上形成功能膜的方法，可以使用用液滴喷出装置向基板上喷出所述功能膜形成用组合物的方法。
使用的液滴喷出装置的种类只要是所谓喷墨方式的喷出装置即可，没有特别限定。作为液滴喷出装置，例如可以举出利用加热发泡产生气泡进行液滴的喷出的热方式的喷出装置及利用压电元件的压缩进行液滴喷出的压电方式的喷出装置。
本发明中的液滴喷出装置的例子如图1所示。图1是喷墨式液体喷出装置3a的结构的概略图。该液滴喷出装置3a具备以液滴形式向基板上喷出喷出物34(功能膜形成用组合物)的喷墨头22。该喷墨头22具备头本体24和喷嘴板(nozzle plate)26。在喷嘴板26的喷嘴形成面27，形成用于以液滴形式喷出喷出物34的多数喷嘴。相对与喷嘴形成面27相对向平行配置的基板上，喷出物34成为液滴并被从各喷嘴喷出。
喷出装置3a具备载置基板的工作台28。该工作台28被设置为可以沿规定的方向例如X轴方向(主扫描方向)、Y轴方向(副扫描方向)和Z轴方向(高度方向)移动。另外，工作台28通过如图1中箭头所示沿着X轴方向(主扫描方向)移动，在工作台28上载置利用皮带输送机(beltconveyer)10(参照图3)输送的基板，装入液滴喷出装置3a内。
收容从在喷嘴形成面27形成的喷嘴喷出的喷出物34的槽30与喷墨头22连接。即，槽30与喷墨头22通过输送喷出物34的喷出物输送管32连接。喷出物输送管32具备用于防止喷出物输送管32的流路内带电的喷出物流路部接地(earth)接头32a，和喷头部气泡排除阀32b。该喷头部气泡排除阀32b在利用后述的吸引帽40吸引喷墨头22内的喷出物34的情况下使用。即，利用吸引帽40吸引喷头22内的喷出物34时，使该喷头部气泡排除阀32b处于闭状态，不从槽30向喷墨头22流入喷出物34。接着，如果用吸引帽40吸引喷出物34，则被吸引的喷出物34的流速上升，喷墨头22内的气泡迅速被排出。
液滴喷出装置3a具备用于控制槽30内收容的喷出物34的收容量即槽30内收容的喷出物34的液面34a的高度的液面控制传感器36。该液面将传感器36控制喷墨头22具备的喷嘴板26的喷嘴形成面27与槽30内的液面34a之间的高度差h控制在规定范围内。通过控制液面34a的高度，以规定范围内的压力将槽30内的喷出物34送至喷墨头22。这样，通过以规定的范围内的压力运送喷出物34，可以从喷墨头22稳定地喷出喷出物34。
与喷嘴形成面27隔着一定的距离且与喷墨头22的喷嘴形成面27相对配置吸引帽40。吸引帽40吸引喷墨头22的喷嘴内的喷出物34。该吸引帽为可以沿图1中箭头所示的Z轴方向移动的结构。吸引帽(cap)40可以密接在喷嘴形成面27，以包围喷嘴形成面27上形成的多个喷嘴，与喷嘴形成面27之间形成密闭空间遮断外大气与喷嘴。
在喷墨头22不喷出喷出物34的状态下，例如喷墨头22躲避到退避位置，工作台28躲避到在图1中用虚线所示的位置时，利用吸引帽40吸引喷墨头22的喷嘴内的喷出物34。吸引帽40的下方设置流路。在该流路中配置吸引泵42、检测吸引异常的吸引压检测传感器44和例如由管泵构成的吸引泵46。被吸引泵46等吸引并被输送到流路中的喷出物34被收容在废液槽48内。
使用上述液滴喷出装置3a，向所述基板上的规定区域，喷出规定量功能膜形成用组合物(喷出物34)的液滴。接着，通过从得到的功能膜形成用组合物的涂膜干燥及除去有机溶媒，按照需要进行加热处理，形成目标功能膜。
在本发明中的功能膜的形成方法中，使用从液滴喷出装置3a喷出的液滴即功能膜形成用组合物的液滴在基板上的湿润扩展性出色的基板。所以，不使用具有特别出色的湿润性的功能膜形成用组合物，也可以容易地形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的功能膜，可以大幅度地提高成品率。
液晶显示装置的制造方法 本发明中的液晶显示装置的制造方法具备准备在表面形成有透明导电膜的透明基板的工序；准备液晶取向膜形成用组合物的工序；使用液滴喷出装置向透明基板上喷出液晶取向膜形成用组合物从而形成液晶取向膜的工序。液晶取向膜形成用组合物含有液晶取向膜形成用材料及有机溶媒。作为所述基板，可以使用具备具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)的透明导电膜的透明基板。在本发明中，作为所述液晶取向膜形成用组合物，优选使用固体成分浓度相对全部组合物为1～10重量％、在23℃下的粘度为3～20mPa·s而且在23℃下的表面张力为30～45mN/m的液晶取向膜形成用组合物。
接着，作为本发明的说明，对制造图2所示的液晶显示装置的情况进行详细说明。图2所示的液晶显示装置50为无源矩阵方式的半透过反射型彩色液晶显示装置。在液晶显示装置50中，具有矩形的平板形状的下基板52a和上基板52b借助密封材料和隔板(spacer)59以彼此对置的状态配置。下基板52a例如由玻璃或塑料构成。在该下基板52a与上基板52b之间的被密封材料包围的空间中形成液晶层56。
在下基板52a与液晶层56之间，从下基板52a侧开始依次形成多个分段(segment)电极58和液晶取向膜60。如图2所示，分段电极58形成为带(strip)状，利用透明导电膜例如ITO膜形成。液晶取向膜60利用液晶取向膜形成用材料形成。
在上基板52b与液晶层56之间，从上基板52b侧开始，形成滤色片62、外涂膜66、公共(common)电极68和液晶取向膜70。滤色片62由红(R)、绿(G)、蓝(B)各色素层62r、62g、62b构成。在构成滤色片62的各色素层62r、62g、62b之间(边界)配置黑矩阵64。黑矩阵64利用例如树脂黑或具有低的光反射率的金属构成。作为这样的金属，例如可以举出铬(Cr)。滤色片62的各色素层62r、62g、62b与下基板52a上的分段电极58相对配置。
外涂膜66使各色素层62r、62g、62b之间的高低差平坦化并同时保护各色素层的表面。外涂膜66利用丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂或无机膜形成。作为无机膜，例如可以举出氧化硅薄膜。公共电极68由透明导电膜例如ITO膜形成。公共电极68形成为沿着与在下基板52a形成的分段电极58正交的方向延伸的带状。液晶取向膜70例如利用聚酰亚胺树脂形成。
图2所示的液晶显示装置50例如使用图3所示的液晶显示装置50的制造线，经图4所示的步骤S10～步骤S19的各步骤制造。如图3所示，液晶显示装置制造线I由以下所述的结构构成，即清洗装置1、亲液化处理装置2、液滴喷出装置3a、干燥装置4、烧成装置5、研磨(rubbing)装置6、液滴喷出装置3b、液滴喷出装置3c、贴合装置7、连接各装置的皮带输送机10、驱动皮带输送机10的驱动装置8及控制整个液晶显示装置制造线I的控制装置9。在以下所述的本实施方式中，液滴喷出装置3b、3c除了喷出的材料不同以外，具有与所述图1所示的液滴喷出装置3a相同的结构。
首先，准备由透明基板构成的下基板52a，在形成液晶取向膜60的表面，利用溅射法形成透明导电膜(分段电极58)。在实施溅射时，控制溅射时的温度及压力，形成的透明导电膜具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)。这样，在本实施方式中，制作形成有分段电极58的下基板52a。
S10基板清洗 接着，对下基板52a，清洗形成有液晶取向膜60的表面。即，形成有分段电极58的下基板52a(以下也简单地称为“基板”。)被皮带输送机10输送到清洗装置1，被输入到清洗装置1内。接着，使用碱系洗涤剂或纯水清洗下基板52a，然后进行规定温度和时间例如80～90℃、5～10分钟干燥处理。实施了清洗和干燥的下基板52a被皮带输送机10输送到亲液化处理装置2。
S11基板表面的亲液化 接着，在已实施清洗及干燥的下基板52a表面实施亲液化处理。即，被皮带输送机10输送到亲液化处理装置2的下基板52a被输入到亲液化处理装置2内，实施下基板52a的表面的亲液化处理。作为使用的亲液化处理装置，例如可以举出紫外线处理装置及等离子处理装置。通过在下基板52a的表面实施亲液化处理，可以进一步提高液晶取向膜形成用组合物的湿润性，在下基板52a上形成具有更均一的膜厚及平坦的表面的液晶取向膜60。
S12取向膜形成用组合物涂敷 接着，在S11中实施了亲液化处理的下基板52a上涂敷液晶取向膜形成用组合物。作为液晶取向膜形成用组合物，使用含有液晶取向膜形成用材料及有机溶媒、具有在23℃下为3～20mPa·s的粘度而且在23℃下为30mN/m的表面张力的组合物。
首先，在表面实施了亲液化处理的下基板52a被皮带输送机10输送到液滴喷出装置3a。接着，被输送的下基板52a被载置于工作台28，被输入于液滴喷出装置3a内。在液滴喷出装置3a内，被收容于槽30内的液晶取向膜形成用组合物(喷出物34)经由喷嘴板26的喷嘴喷出，液晶取向膜形成用组合物被涂敷于下基板52a。
按照图5～图7对使用液滴喷出装置3a在下基板52a上涂敷液晶取向膜形成用组合物的一例进行说明。如图5所示，液滴喷出装置3a具备多个喷墨头22。多个喷墨头22沿着副扫描方向(Y轴方向)分别配置成交错状。该液滴喷出装置3a通过沿着副扫描方向将多个喷墨头22配置成曲折状，在扫描方向(X轴方向)只扫描一次下基板52a，就可以向大致整个下基板52a涂敷液晶取向膜形成用组合物。
在各喷墨头22的喷嘴板101的喷嘴形成面101a，沿着同一形成面101a的法线方向(Z轴方向)贯穿喷嘴板101的180个喷嘴N沿着喷墨头22的副扫描方向等间隔排列。这些喷嘴N构成作为喷嘴组的1列喷嘴列NR。
将配置于反扫描方向(X轴方向的相反方向)侧的多个喷墨头22分别称为先行喷墨头22L，将具有先行喷墨头22L的喷嘴N称为作为第一喷嘴的先行喷嘴NL。另外，将配置于主扫描方向(X轴方向)侧的多个喷墨头22分别称为后续喷墨头22F，将具有后续喷墨头22F的喷嘴N称为作为第二喷嘴的后续喷嘴NF。在图5中，为了便于说明喷墨头22的配置，省略多个喷嘴N的一部分。
相邻的先行喷墨头22L与后续喷墨头22F，从主扫描方向观察，双方的喷嘴列NR的一部分以规定的比例重合。另外，在重合的喷嘴列NR的区域，先行喷嘴NL与后续喷嘴NF从扫描方向观察配置于大致相同位置。
喷嘴列NR的宽度称为喷嘴列宽度W1，相邻的喷嘴列NR的彼此重合的宽度成为重合宽度W2。另外，重合宽度W2相对喷嘴列宽度W1的比例称为“重合率”。为了减轻在下基板52a上形成的液晶取向膜60的条纹不均，该重合率优选为5％～40％。重合率小于5％的情况下，在由先行喷嘴NL形成的液晶取向膜60与由后续喷嘴NF形成的液晶取向膜60之间可能会开始形成条纹不均。重合率大于40％的情况下，先行喷墨头22L与后续喷墨头22F的重合变大，结果可能不得不增加喷墨头22的数量。
在下基板52a沿着主扫描方向扫描时，各后续喷墨头22F为了补偿相邻的各先行喷墨头22L的扫描路径之间的区域，对相邻的先行喷墨头22L的扫描路径，只以相当于重合率程度重合的扫描路径进行扫描。这样，在下基板52a的喷出面SF上，形成向作为先行喷墨头22L的扫描路径与后续喷墨头22F的扫描路径重合的区域具有重合宽度W2并向主扫描方向延伸的带状的重合区域S。
在图6中，各喷嘴N上形成与墨液槽30连通的腔(cavity)102。各腔102贮存墨液槽30导出的所述液晶取向膜形成用组合物(以下称为取向膜用墨液Ik)，供给到对应的喷嘴N。在各腔102上贴附可以上下方向振动的振动板103。振动板103可以扩大及缩小对应的腔102的容积。在各振动板103上配设压电元件PZ。各压电元件PZ在输入用于驱动压电元件PZ的驱动波形信号时，使进行上下方向收缩及伸长对应的振动板103振动。
各腔102在对应的振动板103振动时，使对应的喷嘴N的湾液面上下方向振动，从对应的喷嘴N将对应驱动波形信号的重量的取向膜用墨液Ik作为液滴D喷出。喷出的各液滴D沿着下基板52a的大致法线飞行，着落于与喷嘴N相对的下基板52a的喷出面SF。已着落的液滴D在喷出面SF上合而为一，形成液态膜LF。在喷出面SF形成的液态膜LF在规定的干燥处理下蒸发溶媒或分散介质，形成赋予了液晶分子的取向能前的液晶取向膜60。
从先行喷嘴NL喷出的液滴D称为“先行液滴”，由先行液滴形成的液晶取向膜60称为“先行取向膜”。另外，从后续喷嘴NF喷出的液滴D称为“后续液滴”，由后续液滴形成的液晶取向膜60称为“后续取向膜”。
图7以示意性表示规定在喷出面SF上的液滴D的喷出位置和对应各喷出位置的喷嘴N。即，图7表示点图案(dot pattern)。在图7中，喷出面SF的右侧对应先行喷墨头22L的扫描区域，喷出面SF的左侧对应后续喷墨头22F的扫描区域。在图7中，喷出面SF被假想由用一个点划线所示的点图案格子分割。点图案格子是指由沿着主扫描方向延伸的喷出间距Px和沿着副扫描方向延伸的喷出间距Py规定的格子。在每一个该点图案格子的格子点P规定液滴D的喷出及不喷出。
在各格子点P中，在喷出位置规定的各格子点P由具有四边形的框(在以下的说明中称为喷出框F)包围。选择了向已分出次序的喷出框F的喷出动作的喷嘴N显示出已分出同样的次序，选择了向泛白的喷出框F的喷出动作的喷嘴N同样显示出泛白。选择了喷出动作的喷嘴N用实线表示，没有选择喷出动作的喷嘴N用虚线表示。选择了喷出动作的先行喷嘴NL称为先行选择喷嘴NLs，选择了喷出动作的后续喷嘴NF称为后续选择喷嘴NFs。
如图7所示，按每一个格子点P选择喷出液滴D的喷嘴N，规定通过对应的格子点P的上方的喷嘴N。即，在重合区域S的各格子点P中，喷出液滴D的喷嘴N被选择为先行喷嘴NL和后续喷嘴NF的任意一方。在重合区域S中，位于最靠反主扫描方向侧的各格子点P被规定作为液滴D的非喷出位置，其他格子点P全部被规定作为液滴D的喷出位置。被规定作为喷出位置的各格子点P沿着副扫描方向每隔一个点被赋予次序，先行选择喷嘴NLs与后续选择喷嘴NFs被交替选择。
下基板52a在主扫描方向扫描时，先行喷墨头22L从对应重合区域S的先行喷嘴NL中每隔一个喷嘴选择先行选择喷嘴NLs，向各先行选择喷嘴NLs喷出先行液滴。从先行选择喷嘴NLs喷出的各先行液滴着落于按每个喷出间距Px规定的格子点P的区域，形成沿着主扫描方向延伸的带状的液态膜LF。
下基板52a在主扫描方向扫描时，后续喷墨头22F从对应重合区域S的后续喷嘴NF中每隔一个喷嘴选择后续选择喷嘴NFs，向各后续选择喷嘴NFs喷出后续液滴。从后续选择喷嘴NFs喷出的各后续液滴着落，并填补由先行选择喷嘴NLs形成的各液态膜LF之间，形成使各液态膜LF合而为一并遍布整个重合区域S的液态膜LF。
此时，由于先行液滴与后续液滴的喷出时序不同，所以在先行取向膜与后续取向膜之间的边界形成膜厚的高低差(条纹不均)。着落于重合区域S的先行液滴与后续液滴使该条纹不均作为在每个喷出间距Py的微细的条纹不均而规则地分散，在整个重合区域S描绘出整齐的纵棱花纹。所以，经过后工序在重合区域S形成的液晶取向膜60，从整个液晶取向膜60观察，淡化先行取向膜与后续取向膜之间的边界而使先行取向膜与后续取向膜连续。结果，可以减轻先行取向膜与后续取向膜之间的条纹不均。
S13临时干燥 接着，对涂敷有液晶取向膜形成用组合物的下基板52a进行临时干燥的处理。即，被皮带输送机10输送到干燥装置4的基板被输入到干燥装置4内，例如在60～200℃下使其临时干燥。使被涂敷的组合物临时干燥后的下基板52a向皮带输送机10转移，被该皮带输送机10输送到烧成装置5。
S14烧成 接着，对已实施临时干燥的处理的下基板52a进行烧成处理。即，被皮带输送机10输送到烧成装置5的基板被输入到烧成装置5内，例如在180～250℃下对其进行烧成。使用含有聚酰胺酸的液晶取向膜形成用组合物的情况下，可以利用该烧成处理进行脱水闭环，成为进一步进行酰亚胺化的涂膜。形成的涂膜的膜厚通常为0.001～1μm，优选为0.005～0.5μm。
如上所述，如图8所示，得到形成有液晶取向膜形成用组合物的涂膜60a的下基板52a。液晶取向膜形成用组合物的涂膜60a利用本发明中的形成方法形成，所以在该涂膜60a中没有条纹不均，该涂膜60a具有均一的膜厚及平坦的表面。下基板52a被移向皮带输送机10，被皮带输送机10输送到研磨装置6。
S15研磨 接着，对在下基板52a上形成的液晶取向膜形成用组合物的涂膜60a进行研磨处理。即，被皮带输送机10输送的下基板52a被输入到研磨装置6内，用卷绕有例如尼龙、粘胶丝、棉丝等纤维构成的布的辊、向一定方向擦下基板52a的研磨处理。这样，如图9所示，向涂膜60a赋予液晶分子的取向能，形成液晶取向膜60。
另外，省略图示，利用也可以利用如下所示的处理改善液晶显示元件的视场特性。即，也可以通过如特开平6-222366号公报或特开平6-281937号公报所示的向已形成的液晶取向膜60部分照射紫外线，使预倾斜角变化。另外，还可以通过如特开平5-107544号公报所示的在已实施研磨处理的液晶取向膜60的表面部分形成抗蚀剂膜，在向与前面的研磨处理中的方向不同的方向进行研磨处理之后，除去抗蚀剂膜，改变液晶取向膜60的液晶取向能。
形成液晶取向膜60的下基板52a被移向皮带输送机10，被该皮带输送机10输送到液滴喷出装置3b并被输入到液滴喷出装置3b内。
S16密封材料涂敷 接着，在液滴喷出装置3b中，如图10A及图10B所示，在已实施研磨处理的液晶取向膜60上，涂敷密封层形成用溶液，并包围液晶显示区域(液晶层形成区域Z1)，形成密封层59a。在图10A是从其上方观察密封层59a的图，图10B是从其横向观察密封层59a的图。
作为密封层形成用溶液，作为接合下基板52a与上基板52b的粘接剂，可以使用作为粘接剂的公知的组合物。作为密封层形成用溶液，例如可以举出含有电离辐射固化性树脂等的液滴(电离辐射固化性树脂组合物)及含有热固化性树脂等的液滴(热固化性树脂组合物)。从可操作性出色的角度出发，优选电离辐射固化性树脂组合物。作为热固化性树脂组合物及电离辐射固化性树脂组合物的种类，没有特别限定，作为这些组合物，可以使用以往公知的组合物。
涂敷有密封层形成用溶液的下基板52a被移向皮带输送机10，被该皮带输送机10输送到液滴喷出装置3c并被输入到液滴喷出装置3c内。
S17液晶材料涂敷 在液滴喷出装置3c中，如图11所示，向由上述密封层形成用溶液的涂膜构成的密封层59a包围的液晶层形成区域Z1涂布用于形成液晶层56的液晶材料。对液晶材料，没有特别限制，可以使用作为液晶材料的公知的材料。
作为液晶模式，可以举出TN(扭曲向列)型、STN(超扭曲向列)型、HAN(混合排列序列)(Hybrid Alignment Nematic)型、VA(垂直排列)(Vertical Alignment)型、MVA(多区域垂直排列)(Multiple VerticalAlignment)型、IPS(面内转换)(In Plane Switching)型及OCB(光学补偿弯曲)(Optical Compensated Bend)型。
液晶材料也可以含有隔板。隔板将液晶层的厚度(单元间距(cellgap))保持为一定。作为隔板的材料，没有特别限制，可以使用作为隔板的材料的以往公知的材料。另外，与在涂布液晶材料之前或者已涂布之后，也可以涂布与液晶材料不同的含有隔板的功能液。
S18贴合 接着，如图12A所示，涂布有液晶材料的下基板52a被输送到贴合装置的真空舱90a内。接着，在使舱90a内为真空之后，下基板52a被吸引固定在下底盘80a上。接着，形成有滤色片62、黑矩阵64、外涂膜66、公共电极68和液晶取向膜70(省略它们的图示)的上基板52b被吸引固定在上底盘80b上，使下基板52a与上基板52b贴合。
在形成有上基板52b的公共电极68的表面也形成液晶取向膜70。液晶取向膜70在该上基板52b的形成用与上述下基板52a同样的方法进行。即，在上基板52b形成公共电极68时，与上述同样，公共电极68具有2.3nm以上的表面粗糙度(Ra)。接着，在制作形成有公共电极68的上基板52b之后，进行清洗及干燥。
接着，在已实施清洗及干燥的上基板52b形成的公共电极68的表面实施亲液化处理。这样，可以进一步提高液晶取向膜形成用组合物的湿润性，在上基板52b上形成具有更均一的膜厚及平坦的表面的液晶取向膜70。接着，在实施了亲液化处理的上基板52b上涂敷液晶取向膜形成用组合物。作为液晶取向膜形成用组合物，液晶取向膜形成用组合物，与上述同样地，含有液晶取向膜形成用材料及有机溶媒、1～10重量％的固体成分浓度、具有在23℃下为3～20mPa·s的粘度而且在23℃下为30mN/m的表面张力。
接着，使用具备多个喷墨头22的液滴喷出装置3a形成取向膜70。此时，在图7所示的配置图案配置液滴D，作为微细的条纹不均而规则地分散，在整个重合区域S描绘出整齐的纵棱花纹。接着，上基板52b进行了临时干燥之后，进行烧成。最后，在上基板52b实施研磨处理，形成没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的液晶取向膜70。
贴合下基板52a与上基板52b时的下基板52a及上基板52b的对齐，具体而言，可以边用照相机识别在下基板52a和上基板52b上预先设置的对准标记(alignment mark)，边进行。此时，为了提高对齐的准确度，优选对齐时使下基板52a与上基板52b的间隔为0.2～0.5mm左右。
S19固化 接着，进行贴合下基板52a和上基板52b的层叠物的固化处理。固化处理使用固化装置进行。作为固化装置，例如可以举出电离辐射的照射装置或加热装置，但在本实施方式中使用紫外线照射装置82。即，如图12B所示，利用紫外线照射装置82照射紫外线，使密封层59a固化。接着，使舱90a内的压力恢复到大气压，使下基板52a和上基板52b从吸附状态放开。
然后，在液晶单元的外表面即向构成液晶单元的各基板的外方露出的表面上，贴合偏振片。此时，使其偏振光方向与该基板的一面上形成的液晶取向膜的研磨方向一致或正交地贴合偏振片。在此，作为在液晶单元的外表面贴合的偏振片，可以举出由边使聚乙烯醇拉伸取向边吸附碘的被称为H膜的偏振光膜被醋酸纤维素保护膜夹持的偏振片，以及由H膜本身构成的偏振片。
如上所述，可以制造图2所示的液晶显示装置50。得到的液晶显示装置具备没有条纹不均且具有均一的膜厚及平坦的表面的液晶取向膜，是高质量且低成本的液晶显示装置。所以，本发明振动液晶显示装置的制造方法可以大幅度地提高成品率，可以有效地制造高质量的液晶显示装置。另外，可以使由在不同的时序(timing)喷出液滴形成的各液晶取向膜的边界分散，可以连续地形成液晶取向膜整体。所以，能够更容易地形成具有均一的膜厚及平坦的表面的高质量的液晶取向膜。
在本实施方式中，在S15中，利用研磨处理的方法形成液晶取向膜60、70。但也可以利用如特开2004-163646号公报所公开的利用照射已被偏振光的放射线的方法赋予液晶取向能。
在本实施方式中，在S17中，通过使用液滴喷出装置3c涂敷液晶材料来形成液晶层。但液晶层也可以如下所述形成。即，制作两张已形成有液晶取向膜的基板，两张基板在借助间隙(单元间距)彼此对置的状态下配置，使各液晶取向膜中的研磨方向正交或反向平行。接着，用密封材料贴合两张基板的周边部，向利用基板表面和密封材料画出的单元间距内注入和填充液晶，密封注入孔形成液晶层。
以下利用实施例对本发明进行更详细地说明。但本发明完全不被以下实施例限定。
实施例1～3及比较例1、2 液晶取向膜形成用组合物A的配制 以γ-丁内酯∶N-甲基-2-吡咯烷酮∶丁基溶纤剂＝90∶5∶5(重量％)的比例混合γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮及丁基溶纤剂，得到混合溶媒。向该溶媒中溶解聚酰亚胺，配制液晶取向膜形成用组合物A。液晶取向膜形成用组合物A的固体成分浓度为2重量％，在23℃下的粘度为4.0mPa·s，在23℃下的表面张力为41mN/m。
液晶取向膜形成用组合物B的配制 以γ-丁内酯∶N-甲基-2-吡咯烷酮∶丁基溶纤剂＝33.3∶33.3∶33.3(重量％)的比例混合γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮及丁基溶纤剂，得到混合溶媒。向该溶媒中溶解聚酰亚胺，配制液晶取向膜形成用组合物B。液晶取向膜形成用组合物B的固体成分浓度为3重量％，在23℃下的粘度为8.2mPa·s，在23℃下的表面张力为38mN/m。
使用液滴喷出装置，在具有下述表1所示的表面粗糙度(Ra)的ITO基板的表面涂敷得到的液晶取向膜形成用组合物A或B，并使干燥膜厚成为60nm，形成研磨处理前的液晶取向膜。
在ITO基板表面涂敷液晶取向膜形成用组合物的情况下，用目视观察是否可以进行膜厚均一的涂敷。结果见表1。在表1的“均一涂敷性”栏中，“1”表示可以进行膜厚均一的涂敷，“2”表示可以进行膜厚大致均一的涂敷，“3”表示不能进行膜厚均一的涂敷。另外，用目视观察得到的液晶取向膜。结果如表1所示。在表1的“条纹不均的有无”的栏中，“1”表示没有观察到条纹不均，“3”表示观察到了条纹不均。
表1 从表1可知，在实施例1～3中，可以进行液晶取向膜形成用组合物的均一的涂敷，在已形成的液晶取向膜中不能观察到条纹不均。特别是在使用固体成分浓度相对全部组合物为1～10重量％、粘度为3～20mPa·s而且表面张力为30～45nN/m的液晶取向膜形成用组合物A的比较例1、2中，涂膜的均一性更出色。另一方面，在使用表面粗糙度(Ra)为不到2.3nm的ITO基板的比较例1、2中，不能均一的形成液晶取向膜形成用组合物，在形成的液晶取向膜中可见条纹不均。
上述实施方式也可以如下所述地进行变更。
在上述实施方式中，利用如图7所示的液滴D的配置图案，重合区域S中的条纹不均作为在每个喷出间距Py的微细的条纹不均而规则地分散，在整个重合区域S描绘出整齐的纵棱花纹，减轻条纹不均。
液滴D的配置图案也可以如图13所示地变更。如图13所示，在重合区域S的左侧，作为喷出位置规定的各格子点P沿着副扫描方向交替具有沿着主扫描方向赋予次序的多个格子点P和沿着主扫描方向每隔一个格子点赋予次序(gradation)的多个格子点P。另外，在重合区域S的右侧，作为喷出位置规定的各格子点P沿着副扫描方向交替具有沿着主扫描方向泛白的多个格子点P和沿着主扫描方向每隔一个格子点赋予次序的多个格子点P。接着，选择性地喷出先行液滴和后续液滴，在重合区域S的左侧描绘将后续液滴作为底的先行液滴的块·方格(不同颜色相间的方格花纹)，在重合区域S的右侧描绘将先行液滴作为底的后续液滴的块·方格(不同颜色相间的方格花纹)。
利用这样的结构，可以从先行取向膜连续地描绘以先行液滴为底的后续液滴的块·方格，可以从后续取向膜连续地描绘以先行液滴为底的先行液滴的块·方格。接着，可以在重合区域S的副扫描方向的大致中央，连接以先行液滴为底的后续液滴的块·方格和以后续液滴为底的先行液滴的块·方格。因而，可以利用沿着主扫描方向及副扫描方向的微小的条纹不均形成先行取向膜和后续取向膜的边界。
液滴D的配置图案也可以如图14所示地进行变更。如图14，在重合区域S的左侧，沿着副扫描方向连续的多个格子点P被规定作为后续喷嘴NF的位置。另外，在重合区域S的右侧，在反副扫描方向连续的多个格子点P被规定作为先行喷嘴NL的位置。在作为后续喷嘴NF的喷出位置规定的各格子点P中位于最靠副扫描方向侧的格子点P按每个喷出间距Px沿副扫描方向只变位喷出间距Py的大小，描绘向主扫描方向连续的锯齿状的轨迹。接着，选择性地喷出先行液滴和后续液滴，喷出在重合区域S的左侧的后续液滴与喷出在重合区域S的右侧的先行液滴之间的边界被描绘成沿着主扫描方向连续的锯齿状。
利用这样的结构，可以利用沿着主扫描方向延伸的锯齿状的微小的条纹不均即与主扫描方向交叉的方向而且与副扫描方向交叉的微小的条纹不均，形成先行取向膜与后续取向膜的边界。结果，可以进一步连续地形成先行取向膜与后续取向膜的边界。
液滴D的配置图案也可以如图15所示地变更。如图15所示，喷出到重合区域S的左侧的后续液滴与喷出到重合区域S的右侧的先行液滴之间的边界可以构成为沿着主扫描方向连续的锯齿状，进而也可以由各锯齿沿着副扫描方向延伸的梳齿构成。即，先行液滴和后续之间的边界也可以由被赋予次序的、沿副扫描方向延伸的梳齿、和与所述梳齿啮合的泛白的梳齿形成。
利用该结构，在重合区域S中的微细的条纹不均的形成方向被分散在包括副扫描方向的多个方向。因而，利用在重合区域S形成的取向膜，可以使先行取向膜与后续取向膜之间的边界更加连续。
液滴D的配置图案也可以如图16所示地变更。如图16所示，图15中的各梳齿也可以被图13所示的纵棱花纹分割。利用该结构，在重合区域S中的条纹不均的形成方向被分散在包括主扫描方向和副扫描方向的多个方向。因而，利用在重合区域S形成的取向膜，可以更可靠地消除先行取向膜与后续取向膜的条纹不均。
(2)在上述实施方式中，沿着副扫描方向，每隔一个喷嘴选择先行选择喷嘴NLs。不限于此，例如也可以沿着副扫描方向，在每2个延伸的先行喷嘴NL选择先行选择喷嘴NLs。另外，也可以非周期地选择先行选择喷嘴NLs。
(3)在图10中，沿着主扫描方向，先行选择喷嘴NLs与后续选择喷嘴NFs在每个格子点P被交替地选择，形成块·方格(不同颜色相间的方格花纹)的配置图案。不限于此，例如也可以非周期地而且交替地选择先行选择喷嘴NLs和后续选择喷嘴NFs。
本发明不限于上述实施方式，可以在不脱离权利要求的范围的范围内进行各种变更。上述实施方式的各结构可以省略其中的一部分或与上述不同地任意组合。在此，只记载了多个实施方式，但本行业从业人员应该明白，只要在不脱离其主旨的范围内，本发明也可以以其他特有的方式被具体化。本发明不被在此记载的内容所限定，可以在附加的权利要求的范围内被改良。
权利要求
1.一种功能膜的形成方法，其包括
准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的基板的工序；
准备含有功能膜形成用材料及有机溶媒的功能膜形成用组合物的工序；
使用液滴喷出装置向基板上喷出功能膜形成用组合物，从而形成功能膜的工序。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，
所述功能膜形成用组合物的固体成分浓度相对全部组合物为1～10重量％，功能膜形成用组合物的粘度为3～20mPa·s，而且功能膜形成用组合物的表面张力为30～45nN/m。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，
在所述基板的表面实施了亲液化处理。
4.根据权利要求1或2所述的功能膜的形成方法，其中，
所述基板为透明基板，在透明基板的表面形成有透明导电膜，在透明导电膜的表面实施了亲液化处理。
5.根据权利要求1或2所述的功能膜的形成方法，其中，
所述功能膜为液晶取向膜。
6.一种液晶显示装置的制造方法，其包括
准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的、在表面形成有透明导电膜的透明基板的工序；
准备含有液晶取向膜形成用材料及有机溶媒的液晶取向膜形成用组合物的工序；
使用液滴喷出装置向透明基板上喷出液晶取向膜形成用组合物，从而形成液晶取向膜的工序。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，
所述液晶取向膜形成用组合物的固体成分浓度相对全部组合物为1～10重量％，液晶取向膜形成用组合物的粘度为3～20mPa·s，而且液晶取向膜形成用组合物的表面张力为30～45mN/m。
8.根据权利要求6所述的方法，其中，
在所述透明基板的表面实施了亲液化处理。
9.根据权利要求6所述的方法，其中，
所述液滴喷出装置具备第一喷嘴组，其由沿着副扫描方向排列的多个第一喷嘴构成；第二喷嘴组，其由沿着所述副扫描方向排列的多个第二喷嘴构成，并且第一喷嘴组与第二喷嘴组配置成如下，即从主扫描方向观察的情况下第一喷嘴组的一部分与第二喷嘴组的一部分重合，
形成所述液晶取向膜的工序包括如下所述的工序，即所述透明基板相对所述第一喷嘴组和所述第二喷嘴组沿着所述主扫描方向相对移动，从被选择的多个所述第一喷嘴和被选择的多个所述第二喷嘴喷出液滴，在所述透明基板上形成所述液晶取向膜，在该工序中，由选自从所述主扫描方向观察的情况下与所述第二喷嘴组重合的所述第一喷嘴组的区域中的多个第一喷嘴喷出液滴，而且选择从所述主扫描方向观察的情况下位于所述被选择的多个第一喷嘴之间的多个第二喷嘴并从其中喷出液滴。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，
在从所述主扫描方向观察的情况下与所述第二喷嘴组重合的所述第一喷嘴组的区域中按规定间隔选择多个第一喷嘴，并从所述多个第一喷嘴喷出液滴，而且选择从所述主扫描方向观察的情况下位于所述被选择的多个第一喷嘴之间的多个第二喷嘴并从其中喷出液滴。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，
交替选择从所述主扫描方向观察的情况下重合的至少一对所述第一喷嘴与所述第二喷嘴而喷出液滴。
12.根据权利要求9～11中任意一项所述的方法，其中，
选自从所述主扫描方向观察的情况下与所述第二喷嘴组重合的所述第一喷嘴组的区域中所述多个第一喷嘴中最靠所述副扫描方向侧的位置以规定的周期变位。
13.根据权利要求6所述的方法，其中，
所述液滴喷出装置具备第一喷嘴组，其由沿着副扫描方向排列的多个第一喷嘴构成；第二喷嘴组，其由沿着所述副扫描方向排列的多个第二喷嘴构成，并且第一喷嘴组与第二喷嘴组配置成如下，即从主扫描方向观察的情况下第一喷嘴组的一部分与第二喷嘴组的一部分重合，
形成所述液晶取向膜的工序具备如下所述的工序，即所述透明基板相对所述第一喷嘴组和所述第二喷嘴组沿着所述主扫描方向相对移动，从被选择的多个所述第一喷嘴和被选择的多个所述第二喷嘴喷出液滴，在所述透明基板上形成所述液晶取向膜，在该工序中，交替选择从所述主扫描方向观察的情况下重合的至少一对所述第一喷嘴与所述第二喷嘴而喷出液滴。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，
以规定的周期交替选择从所述主扫描方向观察的情况下重合的至少一对所述第一喷嘴与所述第二喷嘴而喷出液滴。
15.根据权利要求13所述的方法，其中，
以规定的周期交替选择在从所述主扫描方向观察的情况下与所述第二喷嘴组重合的所述第一喷嘴组的区域中沿着所述副扫描方向连续的多个所述第一喷嘴、和在从所述主扫描方向观察的情况下与所述第一喷嘴组重合的所述第二喷嘴组的区域中沿着所述副扫描方向连续的多个第二喷嘴而喷出液滴。
16.根据权利要求13～15中任意一项所述的方法，其中，
选自从所述主扫描方向观察的情况下与所述第二喷嘴组重合的所述第一喷嘴组的区域中的所述多个第一喷嘴中最靠所述副扫描方向侧的位置以规定的周期变位。
全文摘要
功能膜的形成方法具备准备具有2.3nm以上的表面粗糙度的基板的工序；准备含有功能膜形成用材料及有机溶媒的功能膜形成用组合物的工序；使用液滴喷出装置向基板上喷出功能膜形成用组合物从而形成功能膜的工序。
文档编号G02F1/1333GK101118350SQ20071013838
公开日2008年2月6日 申请日期2007年8月1日 优先权日2006年8月2日
发明者蛭间敬, 桥爪昭典, 石田纮平 申请人:精工爱普生株式会社