感光性树脂组合物的制作方法

专利名称：：感光性树脂组合物的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种感光性树脂组合物。
背景技术：
：液晶显示装置和触摸屏等中，在构成显示装置的滤色器和阵列基板之间，为了保持两基板的间隔而设有间隔物。目前，作为该间隔物使用的是玻璃珠、塑料珠等球形颗粒。但是，如果使用这样的球形颗粒，则由于该球形颗粒在玻璃基板上无规则地散布，会对TFT元件和电极等造成损伤，另外，如果该球形颗粒存在于透过像素部内，则由于入射光的散射，液晶显示元件的对比度会下降。由此，有人提出了用感光性树脂组合物形成间隔物来代替球形颗粒的方法。应用该方法时，由于可以在任意的场所形成间隔物，所以可以解决上述问题。作为这样的感光性树脂组合物，已知的是含有作为粘合剂树脂的具有羧基和縮水甘油醚基的丙烯酸系共聚物、作为光聚合性化合物的二季戊四醇六丙烯酸酯(日本化药(株)制KAYARADDPHA，不饱和双键当量105g/eq)的组合物(参考专利文献1)，并且公开了当使用该组合物形成间隔物图案时，可以获得耐溶剂性、耐热性优异的间隔物图案。[专利文献l]特开平11—133600号公报但是，当使用该感光性树脂组合物在ITO(铟一锡氧化物)等透明导电膜上形成间隔物图案时，如果是微细图案，则在显影、水洗工序中因图案脱落而导致表面平滑性下降的问题。
发明内容本发明的目的在于提供一种即使在ITO(铟一锡氧化物)等透明导电膜上也可以形成微细线宽图案的感光性树脂组合物。本发明人等对能够解决上述课题的感光性树脂组合物进行了研究，结果发现当感光性树脂组合物中含有不饱和双键当量在一定范围内的光聚合性化合物时，可以形成微细线宽的图案。艮口，本发明提供了以下的[1]一[5]。[l].一种感光性树脂组合物，其中含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，该粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(Al)、脂肪族多环式环氧化合物(A2)以及不同于(Al)和(A2)的可以与(Al)和(A2)共聚的单体(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不饱和双键当量为120—400g/eq的化合物。[2].如[1]中记载的感光性树脂组合物，其中不饱和双键当量为120—400g/eq的化合物是以式(BA)表示的化合物。CH20—RGCH20—RdRb-OCH2——C一CH2—O——CH2—C——CH20—Re(BA)CHO—R3CH20—Rf[式(BA)中，Ra—Rf分别独立地表示氢原子或者式(BA—l)(BA一3)表示的任何一种基团，O<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>Ra—Rf中至少四个基是式(BA—1)(BA—3)所示的任何一种基，Ra—Rf中至少一个基是式(BA—2)或式(BA—3)所示的基团。][3].如[1]或[2]中记载的感光性树脂组合物，其中具有脂肪族多环式环氧基的单体(A2)是选自式(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物中的至少一种化合物。[式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或者可以被羟基取代的碳原子数1一4的烷基，X分别独立地表示单键或者可以含有杂原子的碳原子数l一6的亚垸[4].一种图案，其是使用[1]一[3]中记载的感光性树脂组合物形成的。[5].—种显示器，其中含有[4]中记载的图案。具体实施方式下面，对本发明进行详细说明。本发明的感光性树脂组合物中，含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。本发明的感光性树脂组合物中，通常粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引发剂(C)以及任选的其它添加剂(F)溶解或分散于溶剂(D)中。本发明的感光性树脂组合物优选主要用作图案形成材料。本发明中使用的粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(Al)、脂肪族多环式环氧化合物(A2)以及不同于(Al)和(A2)但可以与(Al)和(A2)共聚的单体(A3)的共聚物。粘合剂树脂(A)优选具有碱溶解性。作为上述不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酑(Al)，具体地讲，可列举丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等不饱和单羧酸类；基。]马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸(甲基富马酸)、衣康酸等不饱和二羧酸类；和上述的不饱和二羧酸类酸酐；琥珀酸单[2—(甲基)丙烯酰氧基乙酯]、邻苯二甲酸单[2—(甲基)丙烯酰氧基乙酯]等2元以上的多元羧酸的不饱和单[(甲基)丙烯酰氧基烷基頂旨类；a—(羟甲基)丙烯酸之类的在同一分子中含有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯类等。它们中，出于共聚合反应性、对碱性水溶液的溶解性的考虑，优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。它们可以单独使用或将2种以上组合使用。上述的脂肪族多环式环氧化合物(A2)是在脂肪族多环式化合物的环状上具有环氧基的化合物，上述的脂肪族多环式环氧化合物(A2)优选为在脂肪族多环式化合物的环状上具有环氧基、而且具有不饱和键的化合物。作为该脂肪族多环式化合物，可列举例如二环戊烷、三环癸垸等。作为脂肪族多环式环氧化合物(A2)，优选列举选自(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物的至少一种化合物。式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或者可以被羟基取代的碳原子数1一4的烷基，X分别独立地表示单键或者可以含有杂原子的碳原子数l一6的亚垸基。作为R，具体地，可列举氢原子、甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等烷基；羟甲基、l一羟乙基、2—羟乙基、l一羟基一正丙基、2—羟基一正丙基、3—羟基一正丙基、l一羟基一异丙基、2一羟基一异丙基、l一羟基一正丁基、2—羟基—正丁基、3—羟基一正丁基、4一羟基一正丁基等含有羟基的烷基。其中，优选列举氢原子、甲基、羟甲基、l一羟乙基、2—羟乙基，更优选列举氢原子、甲基。作为X，具体地，可列举单键；亚甲基、亚乙基、亚丙基等亚烷基；氧代亚甲基、氧代亚乙基、氧代亚丙基、硫代亚甲基、硫代亚乙基、硫代亚丙基、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等含有杂原子的亚垸基等。其中，优选列举单键、亚甲基、亚乙基、氧代亚甲基、氧代亚乙基，更优选列举单键、氧代亚乙基。作为式(I)表示的化合物，可列举例如式(I一l)式(1一15)表示的化合物等，优选列举式(I一l)、式(I一3)、式(I一5)、式(I一7)、式(1—9)、式(I一ll)式(1—15)，更优选列举式(I一l)、式(I一7)、式(1—9)、式(1—15)。H,C-C_C一0—C,H4—N'作为式(ii)表示的化合物，可列举例如式(n—i)式(n—i5)表示的化合物等，优选列举式(n—1)、式(n—3)、式(n—5)、式ai—7)、式(U—9)、式(II—11)式(11—15)，更优选列举式(11—1)、式(II一7)、式(11—9)、式(11—15)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>城")选自式(I)表示的化合物和式(II)表示的化合物的至少一种化合物可以分别单独使用，也可以以任意的比率混合使用。混合时，其混合比率以摩尔比计，优选式(I):式(II)为5:9595:5，更优选为10:卯90:10，进一步优选为20:8080:20。作为上述的不同于(Al)和(A2)但是可以与(Al)和(A2)共聚的单体(A3)，可列举例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸垸基酯类；丙烯酸甲酯、丙烯酸异丙酯等丙烯酸烷基酯类；(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2—甲基环己酯、(甲基)丙烯酸三环癸烷一8基酯(在该
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中，作为其常用名，称为(甲基)丙烯酸二环戊酯)、(甲基)丙烯酸二环戊基氧基乙基酯、(甲基)丙烯酸异冰片(^乂求口二々)酯等(甲基)丙烯酸环状垸基酯类；丙烯酸环己酯、丙烯酸2—甲基环己酯、丙烯酸三环[5.2丄02'6]癸烷—8基酯(在该
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中，作为其常用名，称为丙烯酸二环戊酯)、丙烯酸二环戊基氧基乙基酯、丙烯酸异冰片酯等丙烯酸环状垸基酯类；(甲基)丙烯酸苯基酯、(甲基)丙烯酸苄基酯等(甲基)丙烯酸芳基酯类；丙烯酸苯基酯、丙烯酸苄基酯等丙烯酸芳基酯类；马来酸二乙基酯、富马酸二乙基酯、衣康酸二乙基酯等二羧酸二酯；(甲基)丙烯酸2—羟乙酯、(甲基)丙烯酸2—羟丙酯等羟基烷基酯类；二环[2.2.1]庚一2—烯、5—甲基二环[2,2.1]庚一2一烯、5—乙基二环[2.2.1]庚—2—烯、5—羟基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羟基甲基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—(2，一羟乙基)二环[2.2.1]庚一2—烯、5—甲氧基二环[2,2.1]庚一2—烯、5—乙氧基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羟基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羧基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二(羟甲基)二环[2,2.1]庚一2—烯、5，6—二(2，一羟乙基)二环[2.2.1]庚一2—烯、5,6—二甲氧基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二乙氧基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羟基一5—甲基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羟基一5—乙基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一5一甲基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一5—乙基二环[2.2.1]庚一2—烯、5一羟甲基一5—甲基二环[2,2.1]庚一2—烯、5—羧基一6—甲基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—羧基一6—乙基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二羧基二环[2.2.1]庚—2—烯酐(降冰片烯二羧酸酐)、5—叔丁氧基羰基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—环己基氧基羰基二环[2.2.1]庚一2—烯、5—苯氧基羰基二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6—二(叔丁氧基羰基)二环[2.2.1]庚一2—烯、5，6一二(环己基氧基羰基)二环[2.2.1]庚一2—烯等二环不饱和化合物类；N—苯基马来酰亚胺、N—环己基马来酰亚胺、N—苄基马来酰亚胺、N—琥珀酰亚胺基一3—马来酰亚胺苯甲酸酯、N—琥珀酰亚胺基一4一马来酰亚胺丁酸酯、N—琥珀酰亚胺基一6—马来酰亚胺己酸酯、N—琥珀酰亚胺一3—马来酰亚胺丙酸酯、N—(9一吖啶基)马来酰亚胺等二羰基亚胺衍生物类；苯乙烯、a—甲基苯乙烯、间一甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、醋酸乙烯酯、1，3—丁二烯、异戊二烯、2，3—二甲基一l，3—丁二烯、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a—乙基丙烯酸縮水甘油酯、a—正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a—正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸一3，4一环氧基丁酯、甲基丙烯酸一3，4一环氧基丁酯、丙烯酸一6，7—环氧基庚酯、甲基丙烯酸一6，7—环氧基庚酯、a一乙基丙烯酸一6，7—环氧基庚酯、邻一乙烯基苄基缩水甘油醚、间—乙烯基苄基缩水甘油醚、对一乙烯基苄基縮水甘油醚等。在这些物质中，从共聚中的反应性和对碱性水溶液的溶解性来考虑，优选使用苯乙烯、N—苯基马来酰亚胺、N—环己基马来酰亚胺、N—苄基马来酰亚胺、二环[2.2.1]庚一2—烯等。这些物质可以单独使用或将2种以上组合使用。本发明中使用的粘合剂树脂(A)是使(Al)、(A2)和(A3)共聚得到的聚合物，衍生自它们的构成成分的比例，以相对于构成上述共聚物的构成成分的总摩尔数的摩尔百分比计，优选在下面的范围内。由(Al)衍生的结构单元240摩尔Q^由(A2)衍生的结构单元295摩尔％由(A3)衍生的结构单元165摩尔％另外，更优选上述构成成分的比例在下面的范围内。由(Al)衍生的结构单元535摩尔。％由(A2)衍生的结构单元580摩尔Q/6由(A3)衍生的结构单元160摩尔％如果上述构成比例在上述范围内，则感光性树脂组合物的保存稳定性、由该组合物得到的图案的显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度有变好的倾向。上述粘合剂树脂(A)可以参考例如文献"高分子合成的实验方法"(大津隆行著发行所公司化学同人第1版第1次印刷1972年3月1日发行)中记载的方法和该文献中记载的引用文献来制备。具体地说，在反应容器中加入规定量的获得共聚物各结构单元(Al)、(A2)和(A3)的各化合物、聚合引发剂和溶剂，并用氮气置换氧气，由此在没有氧气的存在下进行搅拌、加热、保温，从而可以获得聚合物。另外，获得的共聚物可以直接使用反应后的溶液，也可以使用浓缩或稀释后的溶液，也可以使用由再沉淀等方法作为固体(粉末)取出的物质。上述粘合剂树脂(A)的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3000100000，更优选为500050000。如果粘合剂树脂(A)的重均分子量在上述范围内，则在涂布性有变好的倾向，且在显影时很难产生膜縮减，显影时非像素部分的脱离性良好，因而是优选的。粘合剂树脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.16.0，更优选为1.24.0。如果分子量分布在上述范围内，贝U有显影性优良的倾向，因而是优选的。本发明的感光性树脂组合物中使用的粘合剂树脂(A)的含量相对于感光性树脂组合物中的固体成分(在组合物的成分中，指在25'C为固体的物质)，以重量百分率计，优选为590重量％，更优选为1070重量％。如果粘合剂树脂(A)的含量在上述范围内，对显影液的溶解性充分，在非像素部分的基板上不易产生显影残渣，此外，在显影时不易产生曝光部位像素部分的膜縮减，非像素部分的脱离性有变好的倾向，因而是优选的。本发明中使用的光聚合性化合物(B)含有不饱和双键当量为120—400g/叫的化合物。作为不饱和双键当量为120—400g/eq的化合物，优选使用以式(BA)表示的化合物。CH20—RcCH20—RdRb—OCH2——C——CH2——O——CH2——C——CH20—Re(BA)IICH20—RaCH20—Rf式(BA)中，Ra—Rf分别独立地表示氢原子或者式(BA—l)(BA一3)表示的任何一种基，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>Ra—Rf中至少四个基是式(BA—1)(BA—3)表示的任何一种基，Ra—Rf中至少一个基是式(BA—2)或式(BA—3)表示的基。作为式(BA)表示的化合物，优选Ra—Rf之中，两个是氢原子、三个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基的化合物；两个是氢原子、三个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA一2)表示的基的化合物；两个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基的化合物；两个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、四个是式(BA—2)表示的基的化合物；两个是氢原子、三个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、两个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是氢原子、一个是式(BA—2)表示的基、三个是式(BA一3)表示的基的化合物；两个是氢原子、四个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、四个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA一2)表示的基的化合物；一个是氢原子、四个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、三个是式(BA一l)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基的化合物；一个是氢原子、三个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、三个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基的化合物；一个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、两个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA一3)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、四个是式(BA—2)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA一l)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、三个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA—1)表示的基、四个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、五个是式(BA—2)表示的基的化合物；一个是氢原子、四个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、三个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、两个是式(BA—2)表示的基、三个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是氢原子、一个是式(BA—2)表示的基、四个是式(BA一3)表示的基的化合物；一个是氢原子、五个是式(BA—3)表示的基的化合物；五个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基的化合物；五个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；四个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基的化合物；四个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；四个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；三个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基的化合物；三个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；三个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；三个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是式(BA—1)表示的基、四个是式(BA—2)表示的基的化合物；两个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是式(BA—1)表示的基、一个是式(BA—2)表示的基、三个是式(BA—3)表示的基的化合物；两个是式(BA—1)表示的基、四个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是式(BA—1)表示的基、五个是式(BA—2)表示的基的化合物；一个是式(BA—1)表示的基、四个是式(BA—2)表示的基、一个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是式(BA—1)表示的基、三个是式(BA—2)表示的基、两个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是式(BA—1)表示的基、两个是式(BA--2)表示的基、三个是式(BA—-3)表示的基的化合物；一个是式(BA--1)表示的基、一个是式(BA--2)表示的基、四个是式(BA—3)表示的基的化合物；一个是式(BA--1)表示的基、五个是式(BA—3)表示的基的化合物；六个是式(BA--2)表示的基的化合物；五个是式(BA--2)表示的基、一个是式(BA--3)表示的基的化合物；四个是式(BA--2)表示的基、两个是式(BA--3)表示的基的化合物；三个是式(BA--2)表示的基、三个是式(BA--3)表示的基的化合物；两个是式(BA--2)表示的基、四个是式(BA--3)表示的基的化合物；一个是式(BA--2)表示的基、五个是式(BA--3)表示的基的化合物；六个是式(BA--3)表示的基的化合物等其中，更优选列举不饱和双键当量为200—350g/叫的化合物，作为该化合物，可列举六个基是式(BA—2)表示的基的化合物、六个基是式(BA一3)表示的基的化合物。作为式(BA)表示的化合物，可列举Ra—Rf之中，两个是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-20、三个是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-30、六个是式(BA—2)表示的化合物的KAYARADDPCA-60、六个是式(BA—3)表示的化合物的KAYARADDPCA-120(都是日本化药(株)制)等市售的物质。作为光聚合性化合物(B)中包含的除了式(BA)表示的化合物以外的光聚合性化合物，可列举3官能以上的多官能单体。作为3官能以上的多官能单体的具体例子，可列举三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯和酸酐的反应物、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇和酸酐的反应物等。在这些物质中，优选使用4官能以上的多官能单体。这些光聚合性化合物可以单独使用，或将二种以上结合使用。光聚合性化合物(B)的含量相对于粘合剂树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总量，以重量百分率计，优选为170重量％，更优选为560重量％。如果光聚合性化合物(B)的含量在上述范围内，则像素部分的强度和平滑性、可靠性有变好的倾向，因而是优选的。另外，式(BA)表示的化合物的含量相对于式(BA)表示的化合物和除了式(BA)表示的化合物以外的光聚合性化合物的总量，以重量百分率计，通常为3100重量％，优选为370重量％，更优选为3—50重量％，进一步优选为5—40重量％。式(BA)表示的化合物的含量在上述范围内，则感光度和显影粘合性的平衡有变好的倾向，因而是优选的。作为本发明的感光性树脂组合物中含有的光聚合引发剂(C)，可列举例如苯乙酮类、联二咪唑类、肟类、三嗪类、酰基膦氧化物类引发剂。通过将这些光聚合引发剂(C)与光聚合引发助剂(C一l)结合使用，可使得获得的感光性树脂组合物具有更高的感光性，因此如果结合使用光聚合引发助剂(C一l)形成图案，则能提高图案的生产性，因而是优选的。作为上述的苯乙酮类化合物，可列举例如二乙氧基苯乙酮、2—羟基一2—甲基一1一苯基丙垸一1一酮、苄基二甲基缩酮、2—羟基一1一[4一(2一羟基乙氧基)苯基]一2—甲基丙垸一1一酮、l一羟基环己基苯基酮、2—甲基一l一(4—甲基硫代苯基)一2—吗啉代丙烷一1一酮、2—苄基一2一二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)丁烷一1一酮、2—(2—甲基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4—吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲基苄基)—2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—乙基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—丙基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)_丁酮、2—(2—丁基苄基)一2—二甲基氨基—l一(4--吗啉代苯基)一丁酮、2--(2，3—:二甲基苄基)—2-一二甲基氨基一l一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2，4—二-甲基卞基)—2—二甲基氨基--l一(4一吗啉代苯基)—-丁酮、2—(2—氯代苄基)一2—二甲基氨基--1—(4一吗啉代苯基)_-丁酮、2—(2—溴代苄基)一2—二甲基氨基--1—(4一吗啉代苯基)一-丁酮、2—(3—氯代苄基)一2—二甲基氨基--l一(4一吗啉代苯基)一-丁酮、2—(4—飘代苄基)一2—二甲基氨基--l一(4一吗啉代苯基)一-丁酮、2—(3—溴代苄基)—2—二甲基氨基--l一(4一吗啉代苯基)—-丁酮、2-(4—溴代苄基)一2—二甲基氨基--1—(4一吗啉代苯基)一-丁酮、2—(2—甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(3—甲氧基节基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(4一甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2一甲基一4一甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—甲基一4一溴代苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—(2—溴代一4—甲氧基苄基)一2—二甲基氨基一1一(4一吗啉代苯基)一丁酮、2—羟基一2—甲基一1一[4一(l一甲基乙烯基)苯基]丙垸一1—酮的寡聚物等。作为上述联二咪唑化合物，可列举例如2，2'—双(2—氯代苯基)一4，4'一5，5'—四苯基联二咪唑、2，2，一双(2，3—二氯代苯基)一4，4，，5，5'—四苯基联二咪唑(例如参见特开平6—75372号公报、特开平6—75373号公报等)、2，2'—双(2—氯代苯基)一4，4，，5，5'—四苯基联二咪唑、2，2'—双(2—氯代苯基)—4，4，，5，5，一四(垸氧基苯基)联二咪唑、2，2'—双(2—氯代苯基)一4，4'，5，5'—四(二烷氧基苯基)联二咪唑、2，2，—双(2—氯代苯基)一4，4，，5，5'—四(三烷氧基苯基)联二咪唑(例如参见特公昭48—38403号公报、特开昭62—174204号公报等)、4，4，，5，5'—位的苯基被垸氧羰基取代的咪唑化合物(例如参见特开平7—10913号公报等)等，优选2，2'—双(2—氯代苯基)一4，4'，5，5，一四苯基联二咪唑、2，2，一双(2，3—二氯代苯基)一4，4，，5，5，一四苯基联二咪唑。17作为上述的肟化合物，可列举例如O—乙氧基羰基一a—躬基一！一苯基丙垸一l一酮、用式(3)表示的化合物、用式(4)表示的化合物等。作为上述的三嗪类化合物，可列举例如2，4一双(三氯甲基)一6—(4一甲氧基苯基)一l，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—(4—甲氧基萘基)一1，3，5—三嗪、2，4一双(三氯甲基)一6—胡椒基一1，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—(4—甲氧基苯乙烯基)一l，3，5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—[2—(5—甲基呋喃一2—基)乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4一双(三氯甲基)一6—[2—(呋喃一2—基)乙烯基]一l，3,5—三嗪、2，4—双(三氯甲基)一6—[2—(4一二乙基氨基一2—甲基苯基)乙烯基]一l，3，5—三嗪、2，4一双(三氯甲基)一6—[2—(3，4一二甲氧基苯基)乙烯基]一l，3，5—三嗪等。作为上述酰基膦氧化物类引发剂，能列举有例如2，4，6—三甲基苯甲酰二苯基膦氧化物等。另外，只要不损害本发明效果的程度，就可以进一步结合使用该领域内常用的光聚合引发剂等。作为该光聚合引发剂，可列举例如苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、噻吨酮类化合物、蒽类化合物等。更具体的可列举下面的化合物，它们可以单独或2种以上结合使用。作为上述苯偶姻类化合物，可列举例如苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚等。作为上述二苯甲酮类化合物，可列举例如二苯甲酮、邻一苯甲酰苯甲酸甲酯、4一苯基二苯甲酮、4一苯甲酰一4'—甲基二苯基硫化物、3，3'，4，4，一四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮、2，4，6—三甲基二苯甲酮等。作为上述噻吨酮类化合物，能列举有例如2—异丙基噻吨酮、4一异丙基噻吨酮、2，4一二乙基噻吨酮、2，4一二氯代噻吨酮、l一氯一4一丙氧基噻吨酮等。作为上述蒽类化合物，能列举有例如9，IO—二甲氧基蒽、2—乙基一9，IO—二甲氧基蒽、9，IO—二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽等。另外，还可以列举10-丁基一2—氯代吖啶酮、2—乙基蒽醌、苯偶酰、9、IO—菲醌、樟脑醌、苯基乙醛酸甲酯、钛茂化合物等作为光聚合引发剂。此外，作为具有引起链转移的基团的光聚合引发剂，还可以使用特表2002—544205号公报中记载的光聚合引发剂。作为上述具有引起链转移的基团的光聚合引发剂，可列举例如式(5)(10)的光聚合引发剂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>上述具有引起链转移的基团的光聚合引发剂还可以用作上述共聚物的构成成分(A3)。此外，获得的共聚物可以用作本发明的感光性树脂组合物中的粘合剂树脂，还可以和粘合剂树脂结合使用。另外，在光聚合引发剂中，还可以组合使用光聚合引发助剂(C一l)。作为光聚合引发助剂，优选使用胺化合物和羧酸化合物，作为胺化合物优选使用芳香族胺化合物。作为光聚合引发助剂的具体例子，可列举三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等脂肪族胺化合物、4一二甲基氨基苯甲酸甲酯、4一二甲基氨基苯甲酸乙酯、4—二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4一二甲基氨基苯甲酸2—乙基己基酯、苯甲酸2—二甲基氨基乙酯、N,N—二甲基对甲苯胺、4，4，一双(二甲基氨基)二苯甲酮(通常称为米希勒酮)、4，4，一双(二乙基氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。作为上述羧酸化合物，可列举例如苯基硫代醋酸、甲基苯基硫代醋酸、乙基苯基硫代醋酸、甲基乙基苯基硫代醋酸、二甲基苯基硫代醋酸、甲氧基苯基硫代醋酸、二甲氧基苯基硫代醋酸、氯苯基硫代醋酸、二氯苯基硫代醋酸、N—苯基甘氨酸、苯氧基醋酸、萘基硫代醋酸、N—萘基甘氨酸、萘氧基醋酸等芳香族杂醋酸类。光聚合引发剂(C)的含量相对于粘合剂树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总量，以重量百分率计优选为0.140重量％，更优选为130重量％。并且，光聚合引发助剂(C一l)的含量，以与上述相同基准计，优选为0.0150重量％，更优选为0.140重量％。如果光聚合引发剂(C)的总量在上述范围内，则感光性树脂组合物感光度变高，使用上述感光性树脂组合物形成的像素部分的强度和上述像素表面的平滑性有变好的倾向，因而是优选的。除了上面所述的以外，如果光聚合引发助剂(C一l)的量在上述范围内，则获得的感光性树脂组合物的感光度能进一步变高，使用这种感光性树脂组合物形成的图案基板的生产性有提高的倾向，因而是优选的。作为本发明中使用的溶剂(D)，可列举感光性树脂组合物的领域内通常使用的各种有机溶剂。作为溶剂(D)的具体例子，可列举乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚等乙二醇单烷基醚类；二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇二丙醚、二甘醇二丁醚等二甘醇二烷基醚类；甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类；丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基戊基乙酸酯等亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类；苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳香族烃类；甲乙酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类；乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、甘油等醇类；3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯等酯类；Y—丁内酯等环状酯类等。上述溶剂中，从涂布性、干燥性来考虑，优选使用上述溶剂中沸点在100200。C的有机溶剂，更优选使用亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类、酮类、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯等酯类，进一步优选使用丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己酮、3—乙氧基丙酸乙酯、3—甲氧基丙酸甲酯。这些溶剂(D)可以单独使用或将2种以上混合使用。本发明的感光性树脂组合物中溶剂(D)的含量相对于感光性树脂组合物，以重量百分率计优选为6090重量％，更优选为7085重量％。如果溶剂(D)的含量在上述范围内，则在使用旋涂器、缝隙&旋涂器、缝隙涂布器(也称为模涂布器、帘式涂布器)、喷墨等涂布装置涂布时能显示出良好的涂布性能，因而是优选的。在本发明的感光性树脂组合物中，根据需要还可以结合使用填充剂、其他高分子化合物、颜料分散剂、粘合促进剂、防氧化剂、紫外线吸收剂、防凝集材料、链转移剂等添加剂(F)。作为上述填充剂，可以列举玻璃、二氧化硅、氧化铝、颜料等。作为其他高分子化合物，可以列举环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂和聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟代垸基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。21作为颜料分散剂，可以使用市售的表面活性剂，例如有聚酮类、氟类、酯类、阳离子类、阴离子类、非离子类、两性等表面活性剂等，他们可以单独使用或将2种以上结合使用。作为上述表面活性剂，可列举例如聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯基醚类、聚乙二醇二酯类、脱水山梨糖醇脂肪酸酯类、脂肪酸改性聚酯类、叔胺改性聚氨酯类、聚吖丙啶等，此外还有商品名为KP(信越化学工业公司制造)、宝理弗罗(水'j7口一，共荣化学公司制造)、阿弗特普(工7卜'7-)(特卡木普罗德兹(卜一少a7。口夕'夕、7)公司制造)、玫咖发可(乂力'77'7夕，大日本油墨化学工业公司制造)、弗罗拉德(7a，—卜"，住友3M公司制造)、朝日家德(7卄匕力'一卜")、洒弗龙(廿一7口>，以上为旭硝子公司制造)、索罗斯帕司(乂a;^"—》，泽内卡(七对、力)公司制造)、意弗卡(EFKA，意弗卡化学公司制造)、PB821(味之素公司制造)等。作为粘合促进剂，可列举例如乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2—甲氧基乙氧基)硅烷、N—(2—氨基乙基)一3—氨基丙基甲基二甲氧基硅垸、N—(2—氨基乙基)一3—氨基丙基三甲氧基硅烷、3—氨基丙基三乙氧基硅垸、3—环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3一环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2—(3，4一环氧基环己基)乙基三甲氧基硅垸、3—氯代丙基甲基二甲氧基硅烷、3—氯代丙基三甲氧基硅垸、3—甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅垸、3—巯基丙基三甲氧基硅垸等。作为防氧化剂，可列举例如2，2'—硫代双(4一甲基一6—叔丁基苯酚)、2，6—二叔丁基一4一甲基苯酚等。作为紫外线吸收剂，可列举例如2—(3—叔丁基一2—羟基一5—甲基苯基)一5—氯代苯并三唑、垸氧基二苯甲酮等。作为防凝集材料，可列举例如聚丙烯酸钠等。另外，作为链转移剂，可列举例如月桂基硫醇、2，4一二苯基一4一甲基一l一戊烯等。感光性树脂组合物可以例如通过下述步骤涂布在基材上，进行光固化和显影，从而形成图案。首先，在基板(通常是玻璃)或预先形成的由感光性树脂组合物的固体成分制得的层上，或者形成有ITO(铟一锡氧化物)或IZO(铟一锌氧化物)的基板上涂布该组合物，得到涂布的感光性树脂组合物层，通过预焙烧该感光性树脂组合物层，除去溶剂等挥发成分，得到平滑的涂膜。此时涂膜的厚度通常约为16um。在这样获得的涂膜上22通过用于形成目标图案的掩膜进行紫外线照射。此时，对全部曝光部分均匀地照射平行光线，且将掩膜和基板放置于正确的位置，为了达到这样的要求，优选使用掩膜对准器和分档器等装置。然后，将结束固化的涂膜与碱性水溶液接触，溶解非曝光部分，经显影，可以得到目标的图案形状。显影方法可以是液流法(液盛O法)、浸渍法、喷洒法等的任何一种。此外，在显影时还可以将基板倾斜任意的角度。'在图案曝光后的显影中使用的显影液通常是包含碱性化合物和表面活性剂的水溶液。碱性化合物可以是无机和有机的碱性化合物的任何一种。作为无机碱性化合物的具体例子，可列举氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨水等。并且，作为有机碱性化合物的具体例子，可列举四甲基铵氢氧化物、2一羟基乙基三甲基铵氢氧化物、单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺等。这些无机和有机碱性化合物可以单独使用或将2种以上结合使用。碱性显影液中碱性化合物的浓度优选为0.0110重量％，更优选为0.035重量％。碱性显影液中的表面活性剂可以使用非离子类表面活性剂、阴离子类表面活性剂、阳离子类表面活性剂的任何一种。作为非离子类表面活性剂的具体例子，可列举聚氧乙烯垸基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、以及其他聚氧乙烯衍生物、环氧乙烷/环氧丙烷嵌段共聚物、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脱水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。作为阴离子类表面活性剂的具体例子，可列举月桂醇硫酸酯钠、油醇硫酸酯钠等高级醇硫酸酯盐类、月桂基硫酸钠、月桂基硫酸铵等烷基硫酸盐类、月桂基苯磺酸钠、月桂基萘磺酸钠等烷基芳基磺酸盐类等。作为阳离子类表面活性剂的具体例子，可列举硬脂胺盐酸盐、月桂基三甲基铵氯化物等胺盐或季胺盐等。这些表面活性剂可以单独使用或将2种以上结合使用。碱性显影液中表面活性剂的浓度优选为0.0110重量％，更优选为0.058重量％，更优选为0.15重量％。显影后进行水洗，进而根据需要还可以在150230'C下进行1060分钟的后焙烧。使用本发明的感光性树脂组合物，经过上述各步骤，可以在基板上或滤色器基板上形成图案。该图案能可用作液晶显示装置中使用的光间隔物。并且，在对干燥涂膜进行图案形成曝光时，只要使用形成空穴用的光掩膜就可以形成空穴，并用作层间绝缘膜。作为光掩膜的图案设计，形状、大小、间距可以任意改变。进而，对干燥涂膜曝光时，可以不使用光掩膜进行全部曝光和加热固化或仅加热固化来形成透明膜，该透明膜作为保护膜是有用的，另外，也可以用于触摸屏。通过将这样获得的图案装入液晶显示装置等显示装置，可以高产率地制造具有优良品质的显示装置。本发明的感光性树脂组合物即使在ITO(铟一锡氧化物)等透明导电膜上，也可以不脱落地形成微细线宽的图案，该图案的耐溶剂性和耐热性也优异。本发明的感光性树脂组合物适合用于形成构成滤色器的一部分的透明膜，例如，用于形成保护层、光间隔物、绝缘膜、液晶取向控制用突起、用于配合着色图案的膜厚的涂覆层等透明膜，得到的透明膜可适用于滤色器、具备该滤色器的显示装置。实施例下面，基于实施例来更详细地说明本发明，但本发明并不受这些实施例的限制。实施例中，表示含量或使用量的％和份没有特别说明的话，就是指重量基准。合成例1在带有回流冷却器、滴液漏斗和搅拌机的1L的烧瓶中，以0.02L/分钟流入氮气作成氮气氛围，加入200重量份的3—甲氧基一1一丁醇和105重量份的乙酸3—甲氧基丁酯，边搅拌边加热到70。C。接着，在140重量份的乙酸3—甲氧基丁酯中溶解55重量份的甲基丙烯酸、175重量份的丙烯酸3，4—环氧三环[5.2丄016]癸酯(将式(1—1.)表示的化合物和式(II一l)表示的化合物以摩尔比50:50混合。)和70重量份的N—环己基马来酰亚胺，制备溶液，将该溶液使用滴加泵在4小时内滴加到保温在70"C下的烧瓶内。另一方面，在225重量份的乙酸3—甲氧基丁酯中溶解30重量份的聚合引发剂2，2'—偶氮二(2,4-二甲基戊腈)，将该形成的溶液使用另一滴加泵在5小时内滴加到烧瓶内。聚合引发剂的溶液滴加终止后，在7(TC下保持4小时，然后冷却到室温，得到粘度(23°C)114mPa*s、固体成分32.6重量％、酸值34.3mg—KOH/g的共聚物(树脂Aa)的溶液。得到的树脂Aa的重均分子量(Mw)为13600，分散度为2.54。另外，共聚物溶液的粘度用B型粘度计测量。上述粘合剂聚合物的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定是使用GPC法在下面条件下进行的。装置K2479(岛津制作所制造)柱SHIMADZUShim—packGPC—80M柱温40°C溶剂THF(四氢呋喃)流速1.0mL/分钟检测器RI将上述获得的聚苯乙烯换算的重均分子量和数均分子量的比作为分散度(Mw/Mn)。实施例1<感光性树脂组合物的调制〉在包含通过合成例1获得的树脂Aa的树脂溶液部分(换算成固体分为55份)中,混合40份的六丙烯酸二季戊四醇酯(日本化药(株)制KAYARADDPHA)、5份己内酯改性多官能丙烯酸酯(日本化药(株)制KAYARADDPCA—120)、6份2—甲基一2—吗啉代(4一硫代甲基苯基)丙烷一1一酮、53份丙二醇单甲醚乙酸酯、20份3—乙氧基乙基丙酸酯、37份3—甲氧基一1一丁醇和87份乙酸3—甲氧基丁酯，得到感光性树脂组合物l。<图案的形成〉用中性溶剂、水和乙醇依次清洗在边长2英寸的方形玻璃基板(#1737，3一二>夕'公司制造)上形成有ITO膜(膜厚1500A，电阻值10Q/sq)的基板后，迸行干燥。在该玻璃基板上旋涂感光性树脂组合物1，使得以100mJ/cm2的曝光量(365nm)对感光性树脂组合物1进行曝光、显影、水洗、后焙烧各个工序后的膜厚为3.5ym，接着在电热板中，在75。C进行2钟的预焙烧。冷却后，使涂布有该感光性树脂组合物的基板和石英玻璃制的光掩膜之间的间隔为10um，使用曝光机(TME—150RSK;卜-^乂公司制造)，在大气氛围气下，用100mJ/cW的曝光量(365nm基准)进行光照射。另外，作为光掩膜，使用了下面的图案在同一平面上形成的光掩膜。*具有5600个边长为7lim的正方形透光部分(图案)，该正方形的间隔为100ym的光掩膜光照射后，在包含0.12%的非离子类表面活性剂和0.05%的氢氧化钾的水类显影液中，在23'C下浸渍上述涂膜80秒钟来进行显影，用超声波洗涤机(频率38kHz)水洗20分钟后，在烘箱中在230"C下进行后焙烧20分钟。放置冷却后，使用膜厚测定装置(DEKTAK3，日本真空技术公司制造)测定膜厚。<保存稳定性>测量上述得到的感光性树脂组合物1的粘度。然后，将感光性树脂组合物1封入遮光容器中，将该容器在23匸的恒温槽中保存2周。测量保存后的感光性树脂组合物1的粘度。基于下述式求出的粘度变化是100%。粘度变化=[在23。C下保存2周后的感光性树脂组合物的粘度]/[保存前的感光性树脂组合物的粘度]X100(%)粘度变化越小，例如为100—103%的范围时，越好。另外，粘度测量如下进行。粘度是使用粘度计(VISCOMETERTV-30;东机产业(株)制)，在23'C下进行测量。<透过率>除了在上述形成图案的曝光工序中，不使用光掩膜并且使膜厚为2.9一3.1um以外，进行和上述一样的操作，制备固化膜，其膜厚用膜厚测定装置(DEKTAK3，日本真空技术公司制造)来测定。接着，使用显微分光测光装置(OSP—SP200;OLYMPUS公司制造)测定得到的固化膜在400nm下的透过率(％)，该透过率换算成膜厚为3.0ym下的透过率时，是96.3%。<表面平滑性>除了使用感光性树脂组合物1，不使用光掩膜以外，与上述相同地制备固化膜。得到的固化膜按照表2所示的项目进行评价。将得到的固化膜的表面，使用扫描式电子显微镜(S—4000，日立制作所制造)观察。把固化膜的表面为平滑的情况评价为O，有凹凸的情况评价为X。<图案形状>将在表面平滑性测量中使用的图案线宽，使用扫描式电子显微镜(S一4000，日立制作所制造)测量，结果是7.9um。从正侧面观察图案形状。当下底的线宽比上底大时视为顺锥形，当上底和下底的线宽相等时视为矩形，当下底的线宽比上底小时视为逆锥形。如果图案形状是矩形，则显影粘合性有变好的倾向，所以优选。<显影粘合性>在上述的图案形成工序中，在加入纯水500mi的1L玻璃烧杯中浸渍显影后的基板，在23—25。C的条件下，用超声波洗涤机(US—4，测量频率38kHz，(株)SND社制)水洗10分钟和20分钟后，计算5600个中图案剥离的个数。剥离的个数都是O个，则完全没有剥离。一般认为剥离的个数越少，显影粘合性越好。<机械特性(总位移量和回复率)>对在上述的图案形成中得到的一个固化图案，使用动态超微小硬度计(DUH-W201;(株)岛津制作所制)，测量总位移量(ym)和弹性位移量(um)，并计算出回复率(％)。一测量条件一试验方法负荷一除负荷试验试验力20mN负荷速度4.4mN/s保持时间5s压头圆锥台压头(直径50um)回复率(％):[弹性位移量(um)/总位移量(urn)]XIOO作为机械特性，一般认为膜厚为3—5!xm且线宽为7—10ym时，总27位移量为0.90um以上，而且回复率为45%以上的图案好。<耐溶剂性〉除了在上述图案形成的曝光工序中，不使用光掩膜以外，进行同样的操作，制备涂膜，测定膜厚和透过率。将制备的涂膜在30'C的N—甲基吡咯烷酮中浸渍30分钟，测定浸渍后的膜厚和透过率，由下式求出其变化。膜厚变化(％):(浸渍后的膜厚"m)/浸渍前的膜厚(iim))X100透过率变化(％):(浸渍后的透过率(％)/浸渍前的透过率(％))x謂一般认为膜厚变化和透过率变化分别为90—103%时良好。耐溶剂粘合性在耐溶剂性实验中浸渍后的涂膜上，使用市售的小刀裁成100个边长为lmm的正方形。使用市售的玻璃带进行剥离实验，按照以下的数值进行评价。[(未剥离而残留在基板上的正方形的数目)/100]一般认为数值大的粘合性优良，比较好。<耐热性>除了在上述图案形成的曝光工序中，不使用光掩膜以外，进行同样的操作，制备涂膜。在240。C的净化炉中放置制备的涂膜1小时，测定加热前后的膜厚和透过率(测定波长400nm)，根据下式求出其变化。该结果，膜厚变化是92.4%。另外，透过率变化是96.3%。膜厚变化(％):(加热后的膜厚(Pm)/加热前的膜厚(um))X100透过率变化(％):(加热后的透过率(％)/加热前的透过率(％))xioo一般认为膜厚变化和透过率变化分别为90—103%时良好。耐热粘合性在耐热性实验中加热后的涂膜上，使用市售的小刀裁成100个边长为lmm的正方形。使用市售的玻璃带进行剥离实验，按照以下的数值进行评价。[(未剥离而残留在基板上的正方形的数目)AOO]一般认为数值大的粘合性优良，比较好。<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>乙酸3—甲氧基丁酯87878787实施例2根据表1所示的组成，与实施例1一样获得感光性树脂组合物2，对其进行评价。结果示于表2中。实施例3根据表1所示的组成，与实施例1一样获得感光性树脂组合物3，对其进行评价。结果示于表2中。比较例1根据表1所示的组成，与实施例1一样获得感光性树脂组合物4，对其进行评价。结果示于表2中。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>从表2所示的实施例13的结果可见，使用本发明的感光性树脂组合物的话，即使是在形成微细的图案时，也可以形成显影粘合性优异的图案，所以工艺界限广。此外，可以获得图案形状、表面平滑性、机械特性、耐热性、耐溶剂性优良的图案和涂膜。另一方面，不含有不饱和双键当量120—400g/eq的化合物的比较例1的感光性树脂组合物仅能获得显影粘合性变差的图案和涂膜。工业上的可利用性本发明的感光性树脂组合物其保存稳定性优良，并且可以形成图案形状、表面平滑性、机械特性、耐热性、耐溶剂性优良的图案和涂膜，可以适用于形成保护层、光间隔物、绝缘膜、液晶取向控制用突起、用于配合着色图案的膜厚的涂覆层等显示装置中使用的透明膜。权利要求1.一种感光性树脂组合物，其中含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，该粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(A1)、脂肪族多环式环氧化合物(A2)以及不同于(A1)和(A2)的可以与(A1)和(A2)共聚的单体(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不饱和双键当量为120-400g/eq的化合物。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中不饱和双键当量为120一400g/eq的化合物是式(BA)所示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>式(BA)中，Ra—Rf分别独立地表示氢原子或者式(BA—1)(BA一3)所示的任一种基团，O<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>Ra—Rf中至少四个基团是式(BA—1)(BA—3)所示的任一种基团，Ra—Rf中至少一个基团是式(BA—2)或式(BA—3)所示的基团。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中具有脂肪族多环式环氧基的单体(A2)是选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少一种化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(I)和式(II)中，R分别独立地表示氢原子或者未取代的碳原子数为l一4的垸基或者被羟基取代的碳原子数为l一4的烷基，X分别独立地表示单键或者含有或不含有杂原子的碳原子数为1—6的亚烷基。4.一种图案，其是使用权利要求1—3中记载的感光性树脂组合物形成的。5.—种显示装置，其中包含有权利要求4中记载的图案。全文摘要本发明涉及一种感光性树脂组合物，其中含有粘合剂树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)，该粘合剂树脂(A)是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐(A1)、脂肪族多环式环氧化合物(A2)以及不同于(A1)和(A2)的可以与(A1)和(A2)共聚的单体(A3)的共聚物，而且光聚合性化合物(B)含有不饱和双键当量为120-400g/eq的化合物。利用该感光性树脂组合物，在ITO(铟—锡氧化物)等透明导电膜上也可以形成微细线宽图案。文档编号G03F7/028GK101261447SQ20071019437公开日2008年9月10日申请日期2007年12月26日优先权日2006年12月28日发明者武部和男申请人:住友化学株式会社