包含聚酰亚胺前体的树脂组合物、固化膜的制造方法和电子部件与流程

技术特征：

1.一种树脂组合物，其包含下述(a)成分和(b)成分，

(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体，

式中，R¹为四价有机基团，R²为二价有机基团，R³和R⁴各自独立地为氢原子、碳原子数1～20的烷基、碳原子数3～20的环烷基、或具有碳碳不饱和双键的一价有机基团，

(b)具有乙烯性不饱和基团和异氰脲酸环结构的光聚合性化合物。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物，所述式(1)的R²为下述式(2)所表示的二价有机基团，

式中，R⁵～R¹²各自独立地为氢原子、氟原子、或一价有机基团，R⁵～R¹²的至少一个为氟原子、甲基或三氟甲基。

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，所述式(1)的R²为下述式(3)所表示的二价有机基团，

式中，R¹³和R¹⁴各自独立地为氟原子或三氟甲基。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的树脂组合物，所述光聚合性化合物包含下述式(4)所表示的结构，

式中，R²⁴为氢原子或甲基，X为亚烷基，n为1～25的整数。

5.根据权利要求4所述的树脂组合物，所述光聚合性化合物为下述式(5)所表示的化合物，

式中，R²¹～R²³各自独立地为一价有机基团，至少一个为所述式(4)所表示的基团。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的树脂组合物，所述(b)成分相对于所述(a)成分100质量份包含0.01～50质量份。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的树脂组合物，其进一步包含利用活性光线照射产生自由基的化合物作为(c)成分。

8.根据权利要求7所述的树脂组合物，所述利用活性光线照射产生自由基的化合物为肟酯化合物。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的树脂组合物，进一步包含(b)成分以外的光聚合性化合物作为(e)成分。

10.根据权利要求9所述的树脂组合物，所述光聚合性化合物为(甲基)丙烯酸化合物。

11.一种固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～10中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序、以及对所述涂膜进行加热处理的工序。

12.一种图案固化膜的制造方法，其包含：将权利要求1～10中任一项所述的树脂组合物涂布在基板上并干燥而形成涂膜的工序；对所述涂膜照射活性光线后，进行显影而得到图案树脂膜的工序；以及对所述图案树脂膜进行加热处理的工序。

13.一种固化膜，由权利要求11所述的固化膜的制造方法得到。

14.一种图案固化膜，由权利要求12所述的图案固化膜的制造方法得到。

15.一种电子部件，其具有权利要求13所述的固化膜或权利要求14所述的图案固化膜。