一种堆bar机、其夹具及利用该堆bar机的堆bar方法与流程

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种堆bar机、其夹具及利用该堆bar机的堆bar方法。

背景技术：

半导体激光器又称激光二极管，是用半导体材料作为工作物质的激光器。由于物质结构上的差异，不用种类产生激光的具体过程比较特殊。然而在高功率半导体激光器芯片制作工艺中的光学镀膜工艺，需保证堆好的bar条与陪条腔面至少有一面相对齐平，以达到减少镀膜缺陷，延长产品的寿命的目的。

现有的技术中堆bar机是半自动的或全自动的堆bar机，存在如下不足：

(1)现有的堆bar机技术中固定bar条夹具的组件要求精密度较高，从而限制了夹具的结构与尺寸。因此，同一厂家提供的堆bar机厂家提供的夹具结构、尺寸较为单一，不适用于多样化的夹具工艺，从而限制了工艺的改进和技术保密。

(2)在购买光学镀膜及之前需要先购买堆bar机，然后根据堆bar机厂家提供的夹具去设计光学镀膜及相应部件，从而延长了光学镀膜机购买周期。

(3)现有技术中堆bar机设计复杂，成本高。daitron公司生产的堆bar机工作原理是在特定的夹具上插入两根插条，然后在插条上堆bar条，此插条根据bar条的重量下降适当的高度。由于bar条片子薄(约100μm)、尺寸小、重量轻，因此需要对重量和距离感应较精密的感应器。optosystem公司生产的堆bar机工作原理是在在堆bar机的特定区域放置特定的夹具，然后采用的类似于红外感应的原理精确定位每一根bar条或陪条的位置来实现目的。但是bar条薄(约100μm)，因此需要细微光斑的做到精确定位，成本过高。

技术实现要素：

本发明提供一种堆bar机、其夹具及利用该堆bar机的堆bar方法，解决了现有技术中堆bar机的bar条固定夹具的组件要求精密，限制了夹具尺寸以及夹具的形状而导致堆bar机设计复杂，成本高的技术问题，达到了堆bar机精度高、设计简单、成本低的技术效果。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种堆bar机，所述堆bar机包括夹具、真空机；

所述夹具包括上夹板、下夹板、弹性件；所述下夹板包括第一端面，所述第一端面开设有一缺口；所述上夹板包括第二端面，所述上夹板固定设置在所述下夹板上时，所述第一端面与所述第二端面相对设置，所述弹性件的一端固定在所述第二端面上；所述夹具与水平面的夹角为40-50°；

所述真空机的真空吸嘴与所述缺口的下方相对设置。

优选的，所述夹具还包括固定板，所述固定板固定设置在所述缺口中。

优选的，所述夹具还包括活塞，所述活塞与所述弹性件的另一端连接。

优选的，所述弹性件具体为压缩弹簧。

优选的，所述第一端面设置有凸台，所述第二端面与所述凸台对应位置开设有与所述凸台配合的凹槽。

基于同样的发明构思，本申请还提供一种夹具，所述夹具包括上夹板、下夹板、弹性件；所述下夹板包括第一端面，所述第一端面开设有一缺口；所述上夹板包括第二端面，所述上夹板固定设置在所述下夹板上时，所述第一端面与所述第二端面相对设置，所述弹性件的一端固定在所述第二端面上；所述夹具与水平面的夹角为40-50°。

优选的，所述夹具还包括固定板，所述固定板固定设置在所述缺口中。

优选的，所述夹具还包括活塞，所述活塞与所述弹性件的另一端连接。

基于同样的发明构思，本申请还提供一种采用上述的堆bar机的堆bar方法，其特征在于，所述堆bar方法包括：

步骤(1)，打开所述真空机，调到适当的真空度。

步骤(2)，固定所述夹具与水平面的夹角呈40-50°；

步骤(3)，用真空吸笔吸一根陪条放到夹具上。

步骤(4)，用真空吸笔吸一根bar条叠放到陪条上。

重复步骤(3)、步骤(4)，当所述bar条与陪条叠放至预设数量时，安装上所述上夹板，并与所述下夹板固定。

优选的，在所述步骤(3)或步骤(4)之前，所述堆bar方法还包括：

当bar条或陪条有两根或以上粘在一起，对粘在一起的bar条或陪条利用真空机两面吸真空，以分开粘在一起的bar条或陪条。

本申请至少存在如下有益效果：

本申请通过将夹具与水平面夹角呈40-50°利于腔面堆叠的平整度；堆叠的bar条与陪条不容易倒；通过设置真空机且bar放置于夹具上，保证了放置bar条的一面的平整度，对于高功率半导体激光器芯片的光学镀膜工艺，需保证bar条与陪条腔面至少有一面相对平齐，如果不平齐，将会在bar条电极面镀上光学膜，从而导致器件在使用时出现光学灾变损伤，严重减短器件的寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例；

图1为本申请一较佳实施方式堆bar机的流程图；

图2为本申请一较佳实施方式夹具的结构示意图；

图3为图2中夹具的结构示意图；

图4为图2中夹具的局部示意图；

图5为图2中夹具的剖面图；

100-堆bar机，1-夹具，11-上夹板11，111-第二端面，112-凹槽，12-下夹板，121-第一端面，122-凸台，13-弹性件，14-固定板，15-活塞，2-固定装置，3-真空机，4-工作台，200-bar条。

具体实施方式

本发明提供一种堆bar机、其夹具及利用该堆bar机的堆bar方法，解决了现有技术中堆bar机的bar条固定夹具的组件要求精密，限制了夹具尺寸以及夹具的形状而导致堆bar机设计复杂，成本高的技术问题，达到了堆bar机精度高、设计简单、成本低的技术效果。

图1为本申请一较佳实施方式堆bar机的流程图，请参阅图1，为解决上述技术问题，本发明提供了一种堆bar机100，所述堆bar机100包括夹具1、真空机3；

请参阅图2至图5，所述夹具1包括上夹板11、下夹板12、弹性件13；所述下夹板12包括第一端面121，所述第一端面121开设有一缺口；所述上夹板11包括第二端面111，所述上夹板11固定设置在所述下夹板12上时，所述第一端面121与所述第二端面111相对设置，所述弹性件13的一端固定在所述第二端面111上；所述夹具1与水平面的夹角为40-50°，优选的，夹具1与水平面的夹角为45°，如果角度太大，bar条200与陪条之间的摩擦力将会增加，不利于腔面堆叠的平整度；如果角度太小，堆叠的bar条200与陪条容易倒，从而损伤器件。所述堆bar机100还包括工作台4，所述夹具1固定在所述工作台4上，且与所述工作台4的夹角为40-50°。

所述堆bar机100还包括固定装置2，所述固定装置2一端固定在所述工作台4上，另一端与所述夹具1固定连接。

所述真空机3的真空吸嘴与所述缺口的下方相对设置。

所述夹具1还包括固定板14，所述固定板14固定设置在所述缺口中。

所述夹具1还包括15，所述15与所述弹性件13的另一端连接。所述弹性件13具体为压缩弹簧。

所述第一端面121设置有凹槽112，所述第二端面111与所述凹槽112对应位置开设有与所述凹槽112配合的凸台122，固定时，所述凸台122插入所述凹槽112中后对所述上夹板11与所述下夹板12固定，用来限制夹具1主体，防止每次放置上夹板11与所述下夹板12位置偏差过大，保证固定精度，所述凸台122可以根据夹具1的实际尺寸与形状做适当调整。所述凸台122接触bar条200的那一面加工精度不得低于1微米。所述凸台122的数量为至少两个，两个凸台122之间的距离根据夹具1中堆叠bar条200的位置来确定。

所述固定板14与所述15的两个相对面的大小相同，这样作用到bar条200上正反面压力一致。所述固定板14与所述15的两个相对面接触面均为15mm*2.4mm。

作业时，所述夹具1呈40-50°

优选的，所述上夹板11与所述下夹板12均开设有对中的螺纹孔，安装时，所述凸台122插入所述凹槽112中后，在螺纹孔中安装螺栓固定所述上夹板11与所述下夹板12。

基于同样的发明构思，本申请还提供一种夹具1，所述夹具1包括上夹板11、下夹板12、弹性件13；所述下夹板12包括第一端面121，所述第一端面121开设有一缺口；所述上夹板11包括第二端面111，所述上夹板11固定设置在所述下夹板12上时，所述第一端面121与所述第二端面111相对设置，所述弹性件13的一端固定在所述第二端面111上；所述夹具1与水平面的夹角为40-50°。

所述夹具1还包括固定板14，所述固定板14固定设置在所述缺口中。所述夹具1还包括15，所述15与所述弹性件13的另一端连接。所述弹性件13具体为压缩弹簧。

所述固定板14与所述15的两个相对面的大小相同，这样作用到bar条200上正反面压力一致。所述固定板14与所述15的两个相对面接触面均为15mm*2.4mm。

基于同样的发明构思，本申请还提供一种采用上述的堆bar机100的堆bar方法，其特征在于，所述堆bar方法包括：

步骤(1)，打开所述真空机，调到适当的真空度。

步骤(2)，固定所述夹具1与水平面的夹角呈40-50°；

步骤(3)，用真空吸笔吸一根陪条放到夹具上。

步骤(4)，用真空吸笔吸一根bar条叠放到陪条上。

重复步骤(3)、步骤(4)，当所述bar条与陪条叠放至预设数量时，安装上所述上夹板11，并与所述下夹板12固定。

优选的，在所述步骤(3)或步骤(4)之前，所述堆bar方法还包括：

当bar条或陪条有两根或以上粘在一起，对粘在一起的bar条或陪条利用真空机两面吸真空，以分开粘在一起的bar条或陪条。通过两面受力，分开粘在一起的bar条或陪条。

本申请至少存在如下有益效果：

本申请通过将夹具与水平面夹角呈40-50°利于腔面堆叠的平整度；堆叠的bar条与陪条不容易倒；通过设置真空机且bar放置于夹具上，保证了放置bar条的一面的平整度，对于高功率半导体激光器芯片的光学镀膜工艺，需保证bar条与陪条腔面至少有一面相对平齐，如果不平齐，将会在bar条电极面镀上光学膜，从而导致器件在使用时出现光学灾变损伤，严重减短器件的寿命。

最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照实例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。