液晶面板的制造装置及液晶面板的制造方法_2

文档序号:9234502阅读:来源:国知局
为55°C时显现蓝相的液晶组合物,是在使温度保持在54.5°C?55.5°C的范围内的状态下,被照射光时,均匀地显现高分子稳定化蓝相的材料,所谓当设定温度为60°C时显现蓝相的液晶组合物,是在使温度保持在59.5°C?60.5°C的范围内的状态下,被照射光时,均匀地显现高分子稳定化蓝相的材料。
[0062]所谓聚合性单体,是用于使向列型液晶组合物或显现高分子稳定化蓝相的液晶组合物的组成稳定化的材料。
[0063]制造装置I如图1及图2所示,包括放出光的光照射部10、照射箱20、平台30、腔室40、循环型空气调节装置50、保温腔室60及控制元件80等。
[0064]光照射部10是放出光的构件,可对照射箱20内,具体而言,可对在照射箱20内与窗口材料21相对面的平台30的载置面31上所载置的被处理面板2经由窗口材料21照射光所述窗口材料21使来自光照射部10的光透过。光照射部10包括作为光源的多个棒状灯11、以及使棒状灯11放出的光向平台30的载置面31反射的镜面12。棒状灯11是封入萊、铁或碘等金属卤化物(metal halide)、気气等稀有气体,主要放出紫外线的金属卤化物灯等呈直线状延伸的管型灯。棒状灯11是以300nm?400nm为主波长,并且,波长为365nm的光(紫外线)的照度为小于或等于15mW/cm2。再者,可使用UV-M02 (0RC制作所股份有限公司制)作为照度计,使用UV-SN35(0RC制作所股份有限公司制)作为受光器。
[0065]在本实施方式中,棒状灯11设置有4根,并且配置于照射箱20及平台30、载置于载置面31上的被处理面板2的上方。而且,棒状灯11由未图示的水冷套管(jacket)所包覆,而水冷套管使所述棒状灯11照射的光通过。水冷套管中填充有水,借由使所述填充的水循环,而使棒状灯11保持为所需的工作温度。
[0066]光照射部10包括闸门(shutter) 13,所述闸门13借由进行开闭,而使棒状灯11所放出的光照射至平台30的载置面31上所载置的被处理面板2,或遮挡棒状灯11所放出的光而限制对被处理面板2进行照射。闸门13设置于棒状灯11与照射箱20之间。
[0067]照射箱20形成为箱状,以将载置于平台30的载置面31上的被处理面板2收纳于内部的方式而配置于平台30上。而且,照射箱20包括窗口材料21,所述窗口材料21设置于光照射部10与载置面31之间,被照射来自被光照射部10的光。
[0068]窗口材料21具有对预定波长的紫外线及红外线两者的透过进行抑制的功能。窗口材料21是使适合于使液晶层5显现高分子稳定化蓝相的波长的光透过,并对其它光的透过进行抑制(限制)的构件。在本实施方式中,窗口材料21如图4所示,是由第I滤光片22与第2滤光片23重叠而构成。第I滤光片22如图3中以实线所示,使波长(nm)为A?B的紫外线透过,并对其它光(波长(nm)短于A的紫外线、波长(nm)长于B的紫外线、可见光线、红外线)的透过进行抑制(限制)。第2滤光片23如图3中以两点链线所示,使波长(nm)为C?D的紫外线、可见光线、红外线透过,且对其它光(特别是波长(nm)短于C的紫外线、波长(nm)长于D的红外线)的透过进行抑制(限制)。再者,C长于A且短于B,B短于D。因此,在本实施方式中,窗口材料21如图3中以平行斜线所示,是使波长(nm)为C?B的紫外线透过,并对其它光的透过进行抑制(限制)的构件。而且,在本发明中,也可借由将使波长(nm)为A?B的紫外线透过并且对其它光的透过进行抑制(限制)的滤光片蒸镀至所述第2滤光片23上,而构成窗口材料21。
[0069]而且,在本发明中,窗口材料21只要可使适合于使液晶层5显现高分子稳定化蓝相的波长的光透过,则既可由对预定波长的紫外线的透过进行抑制(限制)的滤光片所构成,也可由对预定波长的红外线的透过进行抑制(限制)的滤光片所构成。如上所述,在本发明中,窗口材料21只要具备如下功能即可:借由适合于使液晶层5显现高分子稳定化蓝相的波长,而对预定波长的紫外线或红外线的透过进行抑制(限制)。
[0070]平台30包括载置被处理面板2的载置面31,借由使作为固定温度的液体的水在内部循环,而对载置于载置面31上的被处理面板2的温度进行控制。平台30是为了对载置面31的被照射光的区域进行温度控制而使水作为固定温度的液体在内部流通。载置面31设置成与窗口材料21相对面,并且与光照射部10相对向。再者,在本发明中,理想的是使载置于载置面31上的被处理面板2所保持的温度尽可能为固定,只要使载置于载置面31上的被处理面板2的温度保持为固定,则作为在平台30内循环的流体的液体的温度既可稍低于载置于载置面31上的被处理面板2的温度,也可稍高于载置于载置面31上的被处理面板2的温度。再者,在本发明中,平台30中,除了水以外,还可使各种液体循环。
[0071]在平台30上,以彩色滤光片基板3侧与载置面31相接触的方式而载置被处理面板2。S卩,被处理面板2是以彩色滤光片基板3与载置面31相接触的方式而载置于平台30的载置面31上。因此,光照射部10从对向基板4侧对被处理面板2照射光。
[0072]平台30形成为由铝合金等所构成的厚壁的平板状,并且设置有在内部使如下液体循环的循环路径(未图示),所述液体具有使被处理面板2达到所需温度的温度。在平台30上连接着液体保温循环元件32,所述液体保温循环元件32使被处理面板2的温度保持为固定,并且使液体在平台30的循环路径内循环。液体保温循环元件32例如包括与用于使液体循环的循环路径连结的配管(图2中表示一部分)33、众所周知的加热器(heater)、冷却装置及送出配管33内的液体的泵等。
[0073]腔室40形成为箱状,包覆着整个照射箱20及平台30,并在上部设置有光照射部10。即,腔室40是以包覆照射箱20、平台30的方式而配置。
[0074]循环型空气调节装置50如图1所示,包括设置于腔室40的导入口 51及排出口52,将从导入口 51导入的作为介质的气体从排出口 52排出,对腔室40内的温度进行控制。循环型空气调节装置50借由使从导入口 51导入的气体从排出口 52排出,对腔室40内的温度进行控制,而使腔室40内的温度即照射箱20内的被处理面板2的温度保持为固定的温度。
[0075]在本实施方式中,导入口 51及排出口 52在腔室40的外壁形成开口,所述开口部配置于照射箱20的上方。循环型空气调节装置50使从导入口 51导入的气体流入至腔室40内,并从排出口 52排出。循环型空气调节装置50中,例如,除了导入口 51及排出口 52以外,还包括用于使气体按照导入口 51、腔室40内、排出口 52的顺序循环的送风管53,使气体保持为固定温度的众所周知的加热器,冷却装置及送出送风管53内的气体的送风机坐寸ο
[0076]再者,在本发明中,理想的是使按照导入口 51、腔室40内、排出口 52的顺序循环的气体的温度、与使载置于载置面31上的被处理面板2所保持的温度尽可能相等,只要使载置于载置面31上的被处理面板2保持为固定的温度,则被循环的气体的温度既可稍低于载置于载置面31上的被处理面板2的温度,也可稍高于载置于载置面31上的被处理面板2的温度。再者,气体的温度始终是作为目标的温度,也存在与实际温度不同的情况。
[0077]关于保温腔室60,在所述保温腔室60与腔室40之间被处理面板2为可移动。保温腔室60形成为箱状,在内侧与腔室40内同样地收纳有平台30,并且借由循环型空气调节装置70而使内部的气体的温度保持为与腔室40内的气体相等的温度。再者,收纳于保温腔室60内的平台30具有与上述平台30相同的构成,因此对相同部分标注相同符号并省略说明。平台30是借由液体保温循环元件32而使液体在循环路径内循环,以使得保温腔室60内载置于载置面31上的被处理面板2的温度与腔室40内载置于平台30的载置面31上的被处理面板2的温度相等。
[0078]循环型空气调节装置70与上述循环型空气调节装置50同样,包括设置于保温腔室60的导入口 71及排出口 72,将从导入口 71导入的作为介质的气体从排出口 72排出,对保温腔室60内的温度进行控制。而且,循环型空气调节装置70中,例如除了导入口 71及排出口 72以外,还包括用于使气体按照导入口 71、腔室60内、排出口 72的顺序循环的送风管73,使气体保持为固定温度的众所周知的加热器,冷却装置及送出送风管53内的气体的送风机等。在本实施方式中,导入口 71及排出口 72是在保温腔室60的外壁形成开口,并且所述开口部配置于平台30的载置面31的上方。
[0079]而且,制造装置I例如在排出口 52、排出口 72的附近等适当部位设置有温度传感器(未图示),所述温度传感器对在设置于平台30、平台30的内部的循环路径内进行流通的液体,在水冷套管内循环的水,在腔室40、保温腔室60的内外进行循环的气体等的温度进行检测。制造装置I例如在导入口 51、导入口 71的附近等适当部位设置有流量传感器,所述流量传感器对从导入口 51、导入口 71导入至腔室40与保温腔室60的气体的流量进行检测。
[0080]此外在腔室40及保温腔室60内设置有搬出搬入口 44、搬出搬入口 64,所述搬出搬入口 44、搬出搬入口 64在将被处理面板2搬出或搬入时借由闸门43、闸门63而打开,在收纳有被处理面板2时借由闸门43、闸门63而封闭。腔室40及保温腔室60经由搬出搬入口 44、搬出搬入口 64借由未图示的机械臂(robot arm)而将被处理面板2搬出或搬入。
[0081]而且,在腔室40的平台30及保温腔室60的平台30上,设置有从保温腔室60的平台30向腔室40的平台30即照射箱20内,搬送被处
当前第2页1 2 3 4 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1