理面板2的未图示的搬送辊。而且，在腔室40与保温腔室60内设置有搬送用通路45、搬送用通路65，所述搬送用通路45、搬送用通路65在从保温腔室60向腔室40的照射箱20内搬送被处理面板2时，借由闸门66而打开，在收纳有被处理面板2时借由闸门66而封闭。如上所述，实施方式的制造装置I使保温腔室60内的被处理面板2尽可能地不与外部的气体接触，而将被处理面板2从保温腔室60内直接搬送至腔室40的照射箱20内。
[0082]控制元件80是对制造装置I的光照射动作进行控制的构件。控制元件80与液体保温循环元件32、循环型空气调节装置50、循环型空气调节装置70、光照射部10等连接。控制元件80例如是以未图示的微处理器(micro processor)为主体而构成,并与用以显示处理动作的状态的显示元件、操作员登录加工内容信息等时所使用的操作元件连接，所述微处理器包含由中央处理单元(central processing unit,CPU)等所构成的运算处理装置及只读存储器(read only memory, ROM)、随机存取存储器(random access memory, RAM)
坐寸ο
[0083]控制元件80在从光照射部10对载置于平台30的载置面31上的被处理面板2照射光时，打开闸门13，并且根据温度传感器等的检测结果等，对包覆着棒状灯11的水冷套管内所填充的水的温度进行控制，使棒状灯11保持为所需的工作温度。而且，控制元件80在从光照射部10对载置于平台30的载置面31上的被处理面板2照射光时，打开闸门13，并且根据温度传感器等的检测结果等，对液体保温循环元件32进行控制而使在平台30内循环的液体的温度保持为固定，对循环型空气调节装置50进行控制而使在腔室40的内外循环的气体的温度保持为固定，从而使载置于平台30的载置面31上的被处理面板2的温度保持为固定。
[0084]例如，借由控制元件80，在从光照射部10对被处理面板2照射光时，对平台30及循环型空气调节装置50进行控制，以使得被照射光时的被处理面板2的温度相对于10°C?70°C之间的规定的设定温度为±0.5°C以内。即，在本发明中，所谓使载置于平台30的载置面31上的被处理面板2的温度保持为固定，是指相对于10°C?70°C之间的规定的设定温度保持为±0.5°C以内的温度。例如，当设定温度为55°C时，借由控制元件80，而对在液体保温循环元件32内循环的液体的温度及照射箱20内的温度等进行控制，以使得被处理面板2的温度保持为54.5°C?55.50C的范围内的温度。当设定温度为60°C时，借由控制元件80，而对在液体保温循环元件32内循环的液体的温度及导入至照射箱20内的气体的流量、温度等进行控制，以使得被处理面板2的温度保持为59.5°C?60.5°C的范围内的温度。
[0085]而且，所谓保温腔室60的内部的与腔室40内相等的温度，理想的是表示如下温度:在将被处理面板2从保温腔室60内移动至腔室40内时，在用于光照射部10照射光的准备动作中之类的期间内被处理面板2的温度相对于设定温度为±0.5°C以内。此外，在本发明中，所谓保温腔室60内部的与腔室40内相等的温度，只要为如下温度即可:将被处理面板2从保温腔室60内移动至腔室40内时被处理面板2的温度相对于设定温度达到±0.5°C以内的温度为止的时间，短于直接将被处理面板2移动至腔室40内时被处理面板2的温度相对于设定温度达到±0.5°C以内的温度为止的时间。
[0086]接着，对使用所述构成的实施方式的制造装置I的液晶面板的制造方法，即，对被处理面板2照射光的方法进行说明。首先，操作员将处理内容信息登录至控制元件80中，当出现处理动作的开始命令时，开始处理动作。接着，在处理动作中，首先，打开保温腔室60的闸门63，经由搬出搬入口 64，借由机械臂等而将被处理面板2载置于保温腔室60的平台30的载置面31上。然后，控制元件80关闭闸门63，使液体在平台30内循环，并且经由导入口 71将气体导入至保温腔室60内并从排出口 72排出。此外，同时，控制元件80使液体在平台30内流通，并且经由导入口 51将气体导入至腔室40内并从排出口 52排出，并且使水在水冷套管内循环。
[0087]控制元件80在经过被处理面板2的温度达到设定温度或大致达到设定温度的规定时间时，打开闸门66，经由搬送用通路45、搬送用通路65，将被处理面板2从保温腔室60搬送至腔室40的照射箱20内。接着，控制元件80将被处理面板2载置于平台30的载置面31上，并收纳于照射箱20内，并且关闭闸门66。控制元件80对棒状灯11进行点灯，并打开闸门13。控制元件80—边使固定温度的水在平台30内流通，并且将气体从导入口 51导入至腔室40内并从排出口 52排出而进行循环，一边经由窗口材料21从光照射部10对载置于载置面31上的被处理面板2照射固定时间的光。这时，例如，对被处理面板2照射波长为365nm并且照度为2mW/cm2的光。
[0088]照射固定时间的光之后，控制元件80关闭闸门13，并打开腔室40的闸门43，经由搬出搬入口 44，借由机械臂等而从腔室40的照射箱20内的平台30的载置面31上卸下被处理面板2，而搬送至下一个步骤。并且，在从保温腔室60搬送被处理面板2至腔室40的照射箱20内之后，控制元件80将光照射前的被处理面板2载置于保温腔室60的平台30的载置面31上。与所述步骤同样地，照射光。如上所述，在使用实施方式的制造装置I的液晶面板的制造方法中，在将被处理面板2载置于腔室40内的平台30的载置面31上之前，使被处理面板2在保持为与腔室40内相等的温度的保温腔室60内定位。
[0089]根据所述构成的实施方式的制造装置I及液晶面板的制造方法，包括保温腔室60，所述保温腔室60保持为与腔室40内相等的温度，并且在所述保温腔室60与腔室40之间被处理面板2为可移动。而且，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，将被处理面板2载置于腔室40内的平台30的载置面31上并从光照射部10照射固定时间的光之前，将被处理面板2在保温腔室60的平台30的载置面31上载置规定时间。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，载置于腔室40内的平台30的载置面31上的被处理面板2的温度立即变为设定温度，从而可缩短将被处理面板2载置于腔室40内的平台30的载置面31上起至开始照射光为止的时间。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可缩短将被处理面板2载置于腔室40内的平台30的载置面31上的时间，从而可提高被处理面板2的生产率。
[0090]而且，根据所述构成的实施方式的制造装置I及液晶面板的制造方法，使液体在平台30内循环，对被处理面板2的温度进行控制以保持为固定的温度，除此以外，使包覆着对被处理面板2进行收纳的照射箱20的腔室40内的气体保持为固定。而且，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可使对被处理面板2进行收纳的照射箱20的内部与照射箱20的外部，即，与腔室40的内部的温度保持为大致相同且大致固定，从而可抑制从照射箱20向腔室40的温度的散热，因此可抑制照射箱20内的温度的变化。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可抑制照射箱20内的被处理面板2的温度的变化。而且，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可借由平台30内的液体而使载置于载置面31上的被处理面板2的温度保持为固定。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可抑制照射箱20内的被处理面板2的温度的变化。
[0091]此外，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，窗口材料21使适合于使液晶层5显现高分子稳定化蓝相的波长的光透过，且对其它光的透过进行限制，因此对被处理面板2只照射使高分子稳定化蓝相显现所需的最低限度的光。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，即使从光照射部10对载置于载置面31上的被处理面板2照射光，也可抑制对被处理面板2照射不需要的光的情况。特别是可抑制对被处理面板2照射会带来温度变化的红外线等不需要的光的情况。由此，可抑制载置于载置面31上的被处理面板2的温度上升。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可更确实地抑制照射箱20内的被处理面板2的温度的变化。
[0092]而且，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，将气体导入至包覆着照射箱20的腔室40内。因此，可使腔室40内的气体的温度与照射箱20内的温度保持为大致相同。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可抑制被处理面板2的温度不均。
[0093]而且，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，将固定温度的气体导入至包覆着照射箱20的腔室40内。因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，即使被照射光时的被处理面板2上的温度例如与50°C或60°C等制造装置I的外部气体的温度的差大，也可抑制设置于照射箱20内的被处理面板2因与制造装置I外部的温度差而散热所导致的被处理面板2的温度变化。
[0094]因此，根据制造装置I及液晶面板的制造方法，可实现抑制载置于载置面31上的被处理面板2的温度不均，且可抑制被处理面板2的温度的变化。
[0095]而且，根据制造装置1，以彩色滤光片基板3与载置面31相接触的方式，而将被处理面板2载置于平台30上，光照射部10向对向基板4照射光。而且，根据制造装置1，液晶层5包含使高分子稳定化蓝相显现的液晶组合物。此外，光照射部10包括以300nm?400nm为主波长，并且波长为365nm的光的照度为小于或等于15mW/cm2的棒状灯11。而且，对平台30的液体及导入至照射箱20内的气体进行控制，以使得对被处理面板2照射光时的被处理面板2上的温度相对于10°C?70°C之间的设定温度为±0.5°C以内。因此，根据制造装置1，使光作用至液晶层5，可使高分子稳定化蓝相确实地显现。
[0096