7. 2g而得的溶液进行加热回流。向加热回流后的溶 液中慢慢滴加使偶氮二异丁腈〇. 37g溶解于丙二醇单甲基醚18. 6g而得的溶液，滴加后，加 热回流使其反应24小时，获得了含有聚合物的溶液。对所获得的聚合物进行GPC分析，结 果通过标准苯乙烯换算的重均分子量为14, 000。由本合成例获得的聚合物相当于本发明涉 及的添加剂中所包含的共聚物。
[0057] 〈合成例6>
[0058] 将使甲基丙烯酸异冰片酯5. 00g、甲基丙烯酸三氟乙酯1. 95g、以及甲基丙烯酸羟 丙酯1. 51g溶解于丙二醇单甲基醚17. 2g而得的溶液进行加热回流。向加热回流后的溶液 中慢慢滴加使偶氮二异丁腈〇. 37g溶解于丙二醇单甲基醚18. 5g而得的溶液，滴加后，加热 回流使其反应24小时，获得了含有聚合物的溶液。对所获得的聚合物进行GPC分析，结果 通过标准苯乙烯换算的重均分子量为11，000。由本合成例获得的聚合物相当于本发明涉及 的添加剂中所包含的共聚物。
[0059] 〈合成例7>
[0060] 将使甲基丙烯酸四氢糠酯5. 00g、甲基丙烯酸三氟乙酯2. 54g、以及甲基丙烯酸羟 丙酯1. 98g溶解于丙二醇单甲基醚16. 4g而得的溶液进行加热回流。向加热回流后的溶液 中慢慢滴加使偶氮二异丁腈〇. 48g溶解于丙二醇单甲基醚24.lg而得的溶液，滴加后，加热 回流使其反应24小时，获得了含有聚合物的溶液。对所获得的聚合物进行GPC分析，结果 通过标准苯乙烯换算的重均分子量为14, 000。由本合成例获得的聚合物相当于本发明涉及 的添加剂中所包含的共聚物。
[0061] 〈合成例8>
[0062] 将使甲基丙烯酸羟丙酯5. 00g以及甲基丙烯酸三氟乙酯1. 46g溶解于丙二醇单 甲基醚9. 8g而得的溶液进行加热回流。向加热回流后的溶液中慢慢滴加使偶氮二异丁腈 〇. 36g溶解于丙二醇单甲基醚17. 4g而得的溶液，滴加后，加热回流使其反应24小时，获得 了含有聚合物的溶液。对所获得的聚合物进行GPC分析，结果通过标准苯乙烯换算的重均 分子量为6, 000。
[0063] 〈合成例9>
[0064] 将使3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯5. 00g、甲基丙烯酸三氟乙酯1. 42g、以及 甲基丙烯酸羟丙酯1. 83g溶解于丙二醇单甲基醚17. 4g而得的溶液进行加热回流。向加热 回流后的溶液中慢慢滴加使偶氮二异丁腈0. 35g溶解于丙二醇单甲基醚17. 4g而得的溶 液，滴加后，加热回流使其反应24小时，获得了含有聚合物的溶液。对所获得的聚合物进行 GPC分析，结果通过标准苯乙烯换算的重均分子量为5, 000。
[0065] 〈实施例1>
[0066] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例2 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0067]〈实施例2>
[0068] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例3 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0069]〈实施例3>
[0070] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例4 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0071]〈实施例4>
[0072] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例5 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0073]〈实施例5>
[0074] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例6 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0075]〈实施例6>
[0076] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例7 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出本发明的抗蚀剂下层膜形成 用组合物。
[0077]〈比较例1>
[0078] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1.00g、四甲氧基甲基 甘脲（商品名：P0WDERLINK〔注册商标〕1174、日本寸4y夕4 >夂只卜y-X(株） 制）0. 25g、对甲苯磺酸0. 025g、丙二醇单甲基醚177. 6g和丙二醇单乙基醚76.lg混合并使 其溶解，调制出抗蚀剂下层膜形成用组合物。本比较例是不包含本发明涉及的添加剂的例 子。
[0079]〈比较例2>
[0080] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例8 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：POWDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出抗蚀剂下层膜形成用组合 物。本比较例是包含不符合本发明涉及的添加剂的添加剂的例子。
[0081]〈比较例3>
[0082] 通过将由上述合成例1获得的聚合物溶液（树脂粘合剂）1. 00g、由上述合成例9 获得的聚合物溶液（添加剂）〇·l〇g、四甲氧基甲基甘脲（商品名：POWDERLINK〔注册商标〕 1174、日本寸4y>夂只卜y-文（株）制）0.25g、对甲苯磺酸0.025g、丙二醇单甲 基醚191. 5g和丙二醇单乙基醚82.lg混合并使其溶解，调制出抗蚀剂下