感光性树脂组合物及其硬化物的制作方法_2

文档序号:9765407阅读:来源:国知局
-104S (日本化药(股)制)、UVR-6650(Union Carbide 公司制)、ESCN-195 (住友化学工业(股)制)等。
[0039] S径基苯基甲烧型环氧树脂可举例如EPPN-503、EPPN-502H、EPPN-501H(日本化 药(股)制)、TACTIX-742 (陶氏化学公司制)、化化Ote E1032册0 (日本环氧树脂(股) 审[| )等。
[0040] 二环戊二締酪型环氧树脂可举例如化iclo址XA-7200(大日本印墨化学工业(股) 制)、TACTIX-556 (陶氏化学公司制)等。
[0041] 双酪型环氧树脂可举例如双酪-A型环氧树脂、双酪-F型环氧树脂等。双酪-A 型环氧树脂可举例如化化Ote 828、化化Ote 1001(日本环氧树脂制)、UVR-6410〇Jnion Carbide公司制)、D. E. R-331 (陶氏化学公司制)、YD-8125(东都化成公司制)等。又,双 酪-F型环氧树脂可举例如UVR-6490 (Union Carbide公司制)、YDF-8170(东都化成公司 审[| )等。
[0042] 联苯酪型环氧树脂可举例如NC-3000、NC-3000L NC-3500 (日本化药(股)制)、 Yk6121H(日本环氧树脂(股)制)等。
[00创联二甲酪型环氧树脂可举例如YX-4000 (日本环氧树脂(股)制)等。
[0044] 双酪A酪醒清漆型环氧树脂可举例如化iclonN-880 (大日本印墨化学工业(股) 制)、化化oteE157S75(日本环氧树脂(股)制)等。
[0045] 具有糞骨架的环氧树脂可举例如NC-7000 (日本化药(股)制)、EXA-4750 (大日 本印墨化学工业(股)制)等。
[0046] 脂环式环氧树脂可举例如邸阳-3150值aicel化学工业(股)制)等。
[0047] 杂环式环氧树脂可举例如TEPIC-L TEPIC-H、TEPIC-S (任一个均为日产化学工业 (股)制)等。 W48] 于本发明中,于分子中具有2个W上的环氧基的环氧化合物(a) W联苯酪型环氧 树脂为优选,其中,W通式(1)所示的环氧树脂为优选。
[0049] 于分子中具有2个环氧基的环氧化合物(d)只要为具有2个环氧基者即可,于 分子中具有2个W上的环氧基的环氧化合物(a)中,也可为具有2个环氧基者。具体例 可举例如氨酿二环氧丙基酸、儿茶酪二环氧丙基酸、间苯二酪二环氧丙基酸等苯基二环 氧丙基酸;双酪-A型环氧树脂、2官能双酪-A型环氧树脂(例如后述制造例记载的日 本化药(股)制RE-310巧、双酪-F型环氧树脂、双酪-S型环氧树脂、2,2-双-(4-? 基苯基)-1,1,1,3, 3, 3-六氣丙烷的环氧化合物等双酪型环氧化合物;氨化双酪-A型 环氧树脂、氨化双酪-F型环氧树脂、氨化双酪-S型环氧树脂、氨化2, 2-双-(4-径基苯 基)-1,1,1,3, 3, 3-六氣丙烷的环氧化合物等氨化双酪型环氧化合物;漠化双酪-A型环氧 树脂、漠化双酪-F型环氧树脂等面化双酪型环氧化合物;环己烧二甲醇二环氧丙基酸化合 物等脂环式二环氧丙基酸化合物;1,6-己二醇二环氧丙基酸、1,4-下二醇二环氧丙基酸、 二乙二醇二环氧丙基酸等脂肪族二环氧丙基酸化合物;聚硫酸二环氧丙基酸等聚硫酸型二 环氧丙基酸化合物;联苯酪型环氧树脂等。 阳化日]运些环氧化合物的市售品可举例如化化Ote 828、化化Ote 1001、化化ote100 2、 Epikote 1003、化化Ote 1004(任一个均为日本环氧树脂制)、EPOMIK R-140、EPOMIK R-301、EPOMIK R-304(任一个均为S井化学制)、DER-331、DER-332、DER-324(任一个均为 陶氏化学公司制)、化iclon 840、Epiclon850(任一个均为大日本印墨制)UVR-6410(Union Carbide公司制)、YD-8125(东都化成公司制)等的双酪-A型环氧树脂;UVR-6490 OJnion Carbide公司制)、YDF-2001、YDF-2004、YDF-8170(任一个均为东都化成公司制)、化iclon 830、Epiclon 835(任一个均为大日本印墨制)等的双酪-F型环氧树脂;皿PA-DGE(丸善石 油化学制)、化karesin皿E-IOO (新日本理化制)等的氨化双酪-A型环氧树脂;DER-513、 DER-514、DER-542(任一个均为陶氏化学公司制)等的漠化双酪-A型环氧树脂;Celloxide 2021 0aicel 制)、R化aresin DME-IOO (新日本理化制)、EX-216 (化gase 化成制)等 的脂环式环氧树脂;ED-503(旭电化制)、化karesin W-100(新日本理化制)、EX-212、 EX-214、EX-850 (任一个均为化gase化成制)等的脂肪族二环氧丙基酸化合物;化EP-50、 化EP-60(任一个均为Toray thiokol制)等的聚硫酸型二环氧丙基酸化合物;YX-4000(日 本环氧树脂制)等的联苯酪型环氧化合物。
[0051] 在本发明中为了制造碱水溶液可溶性树脂(A)而使用的于分子中具有乙締性不 饱和基的单簇酸化)可无特别限制地使用,可举例如丙締酸类或己豆酸、a-氯肉桂酸、肉 桂酸、或饱和二元酸或不饱和二元酸与具有不饱和基的单环氧丙基化合物的反应物等。
[0052] 丙締酸类可举例如(甲基)丙締酸、0 -苯乙締基丙締酸、0 -四氨巧喃甲基丙締 酸、饱和二元酸酢或不饱和二元酸酢与于1分子中具有1个径基的(甲基)丙締酸醋衍生 物与等摩尔反应物的半醋类、饱和二元酸或不饱和二元酸与单环氧(甲基)丙締酸醋衍生 物类的等摩尔反应物的半醋类等。
[0053] 饱和二元酸酢的具体例可举例如班巧酸酢、六氨献酸酢等。又,不饱和二元酸酢的 具体例可举例如马来酸酢、献酸酢、四氨献酸酢等。于1分子中具有1个径基的(甲基)丙 締酸醋衍生物的具体例可举例如(甲基)丙締酸径基乙醋、(甲基)丙締酸径基丙醋、新戊 四醇=丙締酸醋、二新戊四醇五丙締酸醋等。等摩尔反应物的半醋类例如所述饱和二元酸 酢或不饱和二元酸酢与于1分子中具有1个径基的(甲基)丙締酸醋衍生物的反应生成物 等。单环氧(甲基)丙締酸醋衍生物类的具体例可举例如苯基环氧丙基酸与(甲基)丙締 酸的反应生成物、甲苯基环氧丙基酸与(甲基)丙締酸的反应生成物、糞基单环氧丙基酸与 (甲基)丙締酸的反应生成物等。
[0054] 饱和二元酸的具体例可举例如班巧酸、戊二酸、己二酸、六氨献酸等。 阳化5] 不饱和二元酸的具体例可举例如马来酸、献酸、四氨献酸等。
[0056] 具有不饱和基的单环氧丙基化合物的具体例可举例如(甲基)丙締酸环氧丙醋、 (甲基)丙締酸径基乙醋与表面醇的反应物、(甲基)丙締酸径基丙醋与表面醇的反应物 等。
[0057] 于分子中具有乙締性不饱和基的单簇酸化)就作为感光性树脂组合物时的敏感 度而言,尤优选(甲基)丙締酸、(甲基)丙締酸与e-己内醋的反应生成物或肉桂酸。
[0058] 在本发明中为了制造碱水溶液可溶性树脂(A)而使用的多元酸酢(C)可无特别 限制地使用,但只要为于分子中具有1个W上的酸酢结构者即皆可使用。具体上尤优选 为选自班巧酸酢、乙酸酢、献酸酢、均苯四甲酸酢、马来酸酢、四氨献酸酢、六氨献酸酢、乙二 醇-双-(偏苯=甲酸酢)、甘油-双-(偏苯=甲酸酢)单乙酸醋、1,2, 3, 4,-下烧四簇酸二 酢、3, 3',4, 4' -二苯基讽四簇酸二酢、3, 3',4, 4' -二苯甲酬四簇酸二酢、3, 3',4, 4' -联 苯四簇酸二酢、3, 3',4, 4' -二苯基酸四簇酸二酢、2, 2-双-(3, 4-二簇基苯基酢)丙烷、 2, 2-双-(3, 4-二簇基苯基酢)六氣丙烷、5-(2, 5-二氧代四氨-3-巧喃基)-3-甲基环己 締-1,2-二簇酸酢、3曰,4, 5, 9b-四氨-5-(四氨-2, 5-二氧代-3-巧喃基)-糞并[l,2-c] 巧喃-1,3-二酬之中的多元酸酢。
[0059] 在本发明中为了制造碱水溶液可溶性树脂(A2)而使用的二异氯酸醋化合物(e) 只要为于分子中具有2个异氯酸醋基者即可,可无特别限制地使用。又,也可同时使复数 个二异氯酸醋化合物反应。其中,柔软性等特优的二异氯酸醋化合物(e),优选苯二异氯酸 醋、甲苯二异氯酸醋、二甲苯二异氯酸醋、四甲基二甲苯二异氯酸醋、二苯基甲烧二异氯酸 醋、糞二异氯酸醋、二甲联苯二异氯酸醋(tolidine diiso巧anate)、六亚甲基二异氯酸醋、 二环己基甲烧二异氯酸醋、异佛酬二异氯酸醋、亚締丙基(allylene)讽酸二异氯酸醋、締 丙基氯二异氯酸醋、N-酷基二异氯酸醋、S甲基六亚甲基二异氯酸醋、1,3-双(异氯酸醋甲 基)环己烧或降冰片-二异氯酸醋甲基。<
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