专利名称：散热结构及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种散热结构及其制造方法，尤指一种具有极佳之散热效能的 散热结构及其制造方法。
背景技术：
现行电子设备随着运算及处理数据之效能越高及速度越快，其内部所设置 之电子组件相对的将会产生更高之热量，如无法实时将热能排出，轻者将影响 运作效率重者则将会造成电子组件烧毁，故现有技术于电子组件上方设置有散 热单元并透过该散热单元对所述电子组件进行散热，现有散热组件通常以散热 鳍片组或散热器之状态为最为常见之使用状态，并于散热组件之本体与热源间 搭配穿设热管以增加导热及散热之效能。
目前，由于热管具有较快的传热速度，而广泛应用于电子组件散热领域。 常用之热管包括具有一定真空度之密封管型壳体，且在壳体内设有烧结而成之 毛细结构并于壳体内充有适量之工作流体，该热管一端为蒸发端而另 一端为冷 凝端。当热管蒸发端受热时，工作液体蒸发汽化，蒸气在微小压差下流向冷凝 端放出热量后凝结成液体，所述液体藉由毛细结构产生之毛细压力差回流至热 管蒸发端，而从使热量由热管蒸发端迅速传至冷凝端。然而，热管之工作性能 受毛细压力差和回流阻力二者因素之影响，该二因素随着毛细结构之毛细孔隙 之大小而变化，当毛细孔隙较小时，其具有较大毛细压力差，可驱动凝结液体 进入毛细结构内并向蒸发端回流，但另 一方面毛细孔隙之减小使工作流体回流 之摩擦力和粘滞力增大，即工作液体回流阻力增大，导致工作液体回流速度慢， 易使热管在蒸发端发生干烧现象，而当毛细孔隙较大时，工作液体受到较小回 流阻力，然而，4吏凝结液体P及入毛细结构之毛细压力差随之减小，减少工作液 体回流量，亦会使热管在蒸发端发生千烧现象，且因热管内部毛细结构系将铜 粉末透过粉末冶金之方式烧结于热管内壁以形成所述毛细结构，也因毛细结构 具有孔隙，彼此间结合度不佳，铜粉末常因热管受外力弯折而脱落散布于热管 内部令热管导热效能降低，故传统热管之毛细结构已无法负荷高功率之中央处 理器所产生之热能。
根据上述所知之缺点，熟悉该项技艺之人士系采用具有高导热系数之人工 钻石材料来作为增加散热及导热效能之结构材料，工业钻石之热传导性高达
2300 (W/m. K),相较于铜之热传导性401 (W/m. K ),高出甚多，故透过所述人 工钻石材料所制成之散热结构系可有效提升散热效率，因受人工钻石材料沉积及制造方法种种条件因素受限制下，故成本较为昂贵，例如使用化学气相沉积 法对欲沉积之工件进行人工钻石镀层批覆，欲沉积之工件大小及材料熔点皆为 受限制之条件之l ,故针对较大型及低熔点之材料则无法披覆人工钻石镀层， 故需制成颗粒状或粉末状并搭配其它异质材料一起混合烧结使用，但所述人工 钻石材料与其它异质材料结合度不佳，例如透过粉末冶金之方式令所述人工钻
石材料与金属粉末烧结结合，最后人工钻石材料亦会因为结合度不佳而脱落； 故现有技术具有下列缺点
1. 结合度不佳；
2. 成本4交高；
3. 导热效能不佳；
4. 加工材料受限条件较多。
因此，如何提供一种散热结构及其制造方法，具有良好散热效果、结构单 纯、易于制作以及有效降低成本之设计，以改善前述现有技术之缺失，实为本 产业亟需待解决之问题。
发明内容
为了克服现有技术结构的不足，本发明提供一种散热结构及其制造方法。 本发明之另 一 目的在提供一种具有极佳散热效能的散热结构的制造方法。 本发明之再一目的在提供一种可改善碳质颗粒应用于散热结构中附着度不 佳的散热结构。
为达上述主要目的，本发明系提供一种散热结构，所述散热结构系包含 至少一碳质复合层具有复数碳质颗粒及至少 一金属网层，所述金属网层具有复 数网格，且各该等碳质颗粒选择地卡固于所述金属网层之网格内或受所述金属 网层覆盖固定，并所述碳质颗粒系可选自于钻石及石墨所组成之群组，所述碳 质复合层可与至少一金属制基体搭配，附着于所述金属制基体一侧表面；另者， 所述碳质复合层更可与一具有腔室之金属制基体搭配，所述碳质复合层系附着 于前述金属制基体之腔室表面。
为达成上述主要目的，本发明系提供一种散热结构，所述散热结构系包含 至少 一碳质复合层具有复数碳质颗粒及至少 一金属网层，各该等碳质颗粒外部 披覆有至少一层金属镀层，所述金属网层具有复数网格，且前述该等碳质颗粒 选择地卡固于所述金属网层之网格内或受所述金属网层覆盖固定，并该碳质颗 粒系可选自于钻石及石墨所组成之群组，及所述金属镀层材料系可选自于铜及 铝及银所组成之群组，另者，所述碳质复合层可与至少一金属制基体搭配，附 着于所述金属制基体一侧表面；再者，所述碳质复合层更可与一具有腔室之金 属制基体搭配，所述碳质复合层系附着于前述金属制基体之腔室表面。
为达成上述主要目的，本发明系提供一种散热结构，所述散热结构，系包含至少一碳质复合层具有复数碳质颗粒及至少一金属网层及复数高导热金属
颗粒，所述金属网层具有复数网格，且前述该等碳质颗粒与前述高导热金属颗 粒均匀混合，并由所述金属网层覆盖固定，该碳质颗粒系可选自于钻石及石墨 所组成之群组，及所述高导热金属颗粒系可选自于铜及铝及银及镍所组成之群 组，另者，所述碳质复合层可与至少一金属制基体搭配，附着于所述金属制基
体一侧表面；再者，所述碳质复合层更可与一具有腔室之金属制基体搭配，所 述碳质复合层系附着于前述金属制基体之腔室表面。
为达成上述主要目的，本发明系提供一种散热结构，所述散热结构，系包 含至少一碳质复合层具有复数碳质颗粒及至少 一金属网层及复数高导热金属 颗粒，各该等碳质颗粒外部披覆有至少一层金属镀层，所述金属网层具有复数 网格，且前述该等碳质颗粒与前述高导热金属颗粒均勻混合，并由所述金属网 层覆盖固定，该碳质颗粒系可选自于钻石及石墨所组成之群组，所述金属镀层 材料系可选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)所组成之群组，所述高导热金属颗粒 系可选自于铜及铝及银及镍所组成之群组，另者，所述碳质复合层可与至少一 金属制基体搭配，附着于所述金属制基体一侧表面；再者，所述碳质复合层更 可与一具有腔室之金属制基体搭配，所述碳质复合层系附着于前述金属制基体
之腔室表面。
为达上述另一目的，本发明系提供一种散热结构之制造方法，所述散热结 构之制造方法，系包含下列步骤提供至少一金属制基体及至少一金属网层及 复数碳质颗粒；并将所述碳质颗粒压入前述金属网层之网格中构形成一石灰质复 合层；再将前述碳质复合层披覆于前述金属制基体一侧表面，并以烧结之方式 令所述碳质复合层与金属制基体紧固贴合；在将该等碳质颗粒压入前述金属网 层之网格之步骤前，更可于所述碳质颗粒外部披覆至少一金属镀层，另者，于 所述碳质颗粒外部披覆至少一金属镀层之步骤前，更包括先于所述碳质颗粒表 面披覆碳化层之步骤，所述碳化层材料系选自于铬(Cr)、钛(Ti)、鵠(W)、钼(Mo)、 硅(Si)、钒(V)等材料所组成之群組，及前述金属镀层材料系选自于铜(Cu)及铝 (Al)及银(Ag)及所组成之群组，并且该碳质颗粒系选自于钻石及石墨所组成之 群组，再者，于前述将所述石炭质颗粒压入前述金属网层之网格中之步骤前，更 包括将所述碳质颗粒与高导热金属颗粒均匀混合之步骤，及所述高导热金属颗 粒系可选自于铜及铝及4艮及镍所组成之群组。
为达上述另一目的，本发明系提供一种散热结构之制造方法，所述散热结 构之制造方法，系包含下列步骤提供至少一金属制基体及至少一金属网层及 复数碳质颗粒；将所述碳质颗粒均布前述金属制基体欲沉积之部位；再由所述 金属网层覆盖固定形成一碳质复合层；及以烧结之方式令所述碳质复合层与金 属制基体紧固贴合；其中将所述碳质颗粒均布前述金属制基体欲沉积之部位之步骤前，更可于所述碳质颗粒外部披覆至少一金属镀层；另者，于所述碳质颗 粒外部披覆至少一金属镀层之步骤前，更包括先于所述碳质颗粒表面披覆碳化 层之步骤，所述碳化层材料系选自于铬(Cr)、钛(Ti)、鴒(W)、钼(Mo)、硅(Si)、 钒(V)等材料所组成之群組，及前述金属镀层材料系选自于铜(Cu)及铝(Al)及银 (Ag)所组成之群组，并且该碳质颗粒系选自于钻石及石墨所组成之群组，再者， 于将所述碳质颗粒均布前述金属制基体欲沉积之部位之步骤前，更包括将所述 碳质颗粒与高导热金属颗粒均勻混合之步骤，所述高导热金属颗粒系可选自于 铜及铝及银及镍所组成之群组。
为达上述再一目的，本发明系提供一种散热结构及其制造方法，透过所述 散热结构及其制造方法，以金属网层具有复数网格之结构特性将所述碳质颗粒 卡固于该网格间或由所述金属网层覆盖固定该等碳质颗粒，令所述碳质颗粒稳 固设于金属网层，解决了现有碳质颗粒附着度不佳之问题，同时藉由所述碳质 颗粒及金属网层所构成之碳质复合层可任意披覆或附着于任一材料表面，故本 发明具有下列优点
1. 附着度佳；
2. 具有极佳散热效能； l节省制造成本； 4.制造程序简单。
图l是为本发明之实施例之金属网层立体图2是为本发明之实施例之碳质复合层立体图3A是为本发明之实施例之碳质复合层剖视图3B是为本发明之实施例之碳质复合层剖视图4是为本发明之实施例之散热结构剖视图4A是为本发明之实施例之散热结构局部剖视放大图5是为本发明之实施例之散热结构剖视图5A是为本发明之实施例之散热结构局部剖祸L放大图5B是为本发明之实施例之散热结构剖视图5C是为本发明之实施例之散热结构局部剖视放大图6是为本发明之另一实施例之碳质复合层剖视图7是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图7 A是为本发明之另 一 实施例之散热结构局部剖视放大图8是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图8A是为本发明之另 一实施例之散热结构局部剖视放大图8B是为本发明之另一实施例之散热结构剖视10图8C是为本发明之另 一实施例之散热结构局部剖视放大图9是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图9A是为本发明之另 一实施例之散热结构局部剖视放大图IO是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图IOA是为本发明之另一实施例之散热结构局部剖视;故大图IOB是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图10C是为本发明之另一实施例之散热结构局部剖视放大图ll是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图11A是为本发明之另一实施例之散热结构局部剖视放大图12是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图12A是为本发明之另一实施例之散热结构局部剖视放大图12B是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图12C是为本发明之另一实施例之散热结构局部剖视放大图13是为本发明之散热结构之制造方法实施例流程示意图14是为本发明之散热结构之制造方法另一实施例流程示意图15是为本发明之散热结构之制造方法另一实施例流程示意图16是为本发明之散热结构之制造方法另一实施例流程示意图17是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图18是为本发明之另一实施例之散热结构剖视图。
图中散热结构1;碳质复合层11;碳质颗粒111;金属镀层1111;碳化 层1112;金属网层112;网格1121;金属颗粒113;金属制基体12;腔室121; 受热部122;散热部123;
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
具体实施例方式
实施例1:以下由特定的具体实施例说明本发明之实施方式，熟习该项技艺 之人士可参照本说明书所揭示之内容及附图轻易地了解本发明之其它优点与功 效并可根据其它不同的具体实施例进行实施或应用，并本发明之上述目的及其 结构与功能上的特性，将依据所附图式之较佳实施例予以说明。
请参阅图1、 2、 3A、 3B、 4、 4A、 5A、 5B、 5C,如图所示，系为本发明之一 实施例之散热结构，所述散热结构l系包含至少一》1^复合层11具有复数碳 质颗粒111及至少一金属网层112,所述金属网层112具有复数网格1121，所 述金属网层112系选自于由铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组， 且各该等石1^颗粒111卡固于所述金属网层112之网格1121内(如图3B所示)， 或由所述金属网层112覆盖固定所述碳质颗粒111 (如图3 A所示)，并所述碳 质颗粒111系可选自于钻石及石墨所组成的群组，所述散热结构1之碳质复合层11系可与至少一金属制基体12搭配，所述金属制基体12系为散热器之状态 (如图4、 4A所示)，所述石錯复合层11系披覆或附着于所述金属制基体12 — 侧表面；另者，所述碳质复合层11更可与一具有腔室121之金属制基体'12搭 配，所述金属制基体12系为热管之状态(如图5、 5B所示)，所述碳质复合层 11系附着于前述金属制基体12之腔室121表面，由前述复数碳质颗粒111及金 属网层112所构成之碳质复合层11系可为单层或复数层彼此堆栈构形成一碳质 复合层11再披覆于欲搭配之金属制基体12表面或具有腔室121之金属制基体 12之腔室121表面，所述金属制基体12系为平板式热管之状态(如图5B、 5C 所示)，所述碳质复合层11系附着于前述金属制基体12之腔室121表面，由前 述复数碳质颗粒111及金属网层112所构成之石灰质复合层11系可为单层或复数 层。
请参阅图1、 2、 6、 7、 7A、 8、 8A、 8B、 8C,如图所示，系为本发明之另一 实施例之散热结构，所述散热结构1系包含至少一碳质复合层11具有复数碳 质颗粒111及至少一金属网层112,各该等碳质颗粒111外部披覆有至少一层金 属镀层llll，所述金属网层112具有复数网格1121,所述金属网层112系可选 自于由铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组，且前述该等碳质颗 粒111选择地卡固于所述金属网层112之网格1121内(如图6所示)或受所述 金属网层112覆盖固定(如图3A所示)，并该石1^"颗粒111系可选自于钻石及 石墨所组成之群组，及所述金属镀层1111系可选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag) 等材料所组成之群组，另者，所述散热结构1可与至少一金属制基体12搭配， 所述金属制基体12系为一散热器(如图7、 7A所示)，所述碳质复合层11附着 于所述金属制基体12—侧表面；再者，所述散热结构1更可与一具有腔室121 之金属制基体12搭配，所述金属制基体12系为一热管或一平板式热管之状态 (如图8、 8A、 8B、 8C所示)，所述碳质复合层11系附着于前述金属制基体12 之腔室121表面，另者，前述由复数表面披覆有金属镀层1111之碳质颗粒111 及至少一金属网层112所构成之碳质复合层11系可为单层或复数层彼此堆栈， 再将所述碳质复合层11披覆于欲搭配之金属制基体12表面或具有腔室121之 金属制基体12之腔室121表面。
请参阅图1、 2、 9、 9A、 10、 IOA、 IOB、 IOC，如图所示，系为本发明之另 一实施例之散热结构，所述散热结构l系包含至少一碳质复合层11具有复数 碳质颗粒111及至少一金属网层112及复数高导热金属颗粒113，所述高导热金 属颗粒113系可选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组，系以 铜(Cu)为较佳，所述金属网层112具有复数网格1121，所述金属网层112系可 选自于铜(Cu)及铝(Al)及4艮(Ag)及4臬(Ni)所组成之群组，且前述该等碳质颗 粒111与前述高导热金属颗粒113均匀混合，并由所述金属网层112覆盖固定，石墨所组成之群组，另者，所述碳质复合层
11可与至少一金属制基体12搭配，所述金属制基体12系为一散热器(如图9、 9A所示)，所述碳质复合层11附着于所述金属制基体12 —侧表面；再者，所述 碳质复合层11更可与一具有腔室121之金属制基体12搭配，所述金属制基体 12系为一热管或一平板式热管之状态(如图10、 IOA、 IOB、 IOC所示)所述碳 质复合层11系附着于前述金属制基体12之腔室121表面；前述金属制基体12 表面及具有腔室121之金属制基体12的腔室121表面所披覆的碳质复合层11 系可为单层或复数层。
请参阅图1、 2、 U、 IIA、 12、 12A、 12B、 12C，如图所示，系为本发明之 另一实施例之散热结构，所述散热结构l系包含至少一碳质复合层ll,具有 复数碳质颗粒111及至少一金属网层112及复数高导热金属颗粒113,该等碳质 颗粒111外部披覆有至少一层金属镀层1111,且前述该等碳质颗粒111与前述 高导热金属颗粒113系均匀混合，并由所述金属网层llll覆盖固定；所述高导 热金属颗粒113系可选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组， 系以铜(Cu)为较佳，所述金属网层112具有复数网格1121,所述金属网层112 系可选自于铜(Cu)及铝(/U)及银(Ag)及镍(Ni)所组成群组之其中任一，并该 碳质颗粒1U系可选自于钻石及石墨所组成之群组，及所述金属镀层llll系可 选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)所组成之群组，另者，所述碳质复合层11 可与至少一金属制基体12搭配，所述金属制基体12系为一散热器(如图11、 IIA所示)，所述碳质复合层11附着于所述金属制基体12—侧表面；再者，所 述碳质复合层11更可与一具有腔室121之金属制基体12搭配，所述金属制基 体12系为一热管或一平板式热管之状态(如图12、 12A、 12B、 12C所示)所述 碳质复合层11系附着于前述金属制基体12之腔室121表面；前述金属制基体 12表面及具有腔室121之金属制基体12的腔室121表面所披覆的碳质复合层 11系可为单层或复数层。
上述实施例中之碳质复合层11中的复数碳质颗粒111及金属网层112及复 数高导热金属颗粒113系透过粉末冶金烧结之方式结合，烧结是指粉末在一定 外界的条件和低于主要元素熔点的烧结温度下，所发生颗粒表面减少、孔隙体 积降低的过程，将其结合在一起，使其具有复合材料特性，故可于烧结后之结 构中得到多孔隙性质之结构，可作为热管内部毛细结构，另者，亦可于烧结时 同时施以高温度高压力，令所述结构体中无孔隙。
由于工业钻石之热传导性高达2300 (WAn. K),铜之热传导性也有401 (W/tn. K),故两者之热传导性皆远大于其它金属，所以，使得本发明之散热结 构1具有良好之热传导性，同时可改善现有技术散热结构整体以工业钻石所制 成之高成本的缺点。另者，前述各实施例中的各该等碳质颗粒111大小范围系为ljum - 2咖， 而又以lOOym-150ym为较佳范围，前述各实施例的金属网层112之各该等网 格1121面积系小于或等于1 - 2mm,最佳又以小于100 ju m-150 ju m为较佳范 围，前述各实施例中之各该等碳质颗粒111之部分粒径稍大于所述金属网层112 之网格1121之面积之状态，所述该等石M颗粒lll系以卡固之方式卡制于所述 金属网层112之各该等网格1121中，当然亦可采用碳质颗粒111整体粒径大于 所述金属网层112之网格1121之面积的状态，再由所述金属网层112覆盖固定 所述碳质颗粒111。
请参阅图5、 5A、 5B、 5C、 8、 8A、 8B、 8C、 10、 IOA、 IOB、 IOC、 12、 12A、 12B、 12C,系为本发明之实施例之散热结构，所述散热结构系为金属制基体12 与碳质复合层11之组合，所述金属制基体12系为一热管及一平板式热管之状 态，所述金属制基体12结构中之毛细结构之应用状态系可为前述各实施例中之 碳质复合层ll之结构状态，所述毛细结构系具有至少一碳质复合层11，并所述 碳质复合层11可选择为单层或为复数层堆栈所构成，所述碳质复合层11系包 含复数碳质颗粒111及至少一金属网层112,所述金属网层112具有复数网格 1121,所述各该等碳质颗粒111选择地卡固于所述金属网层112之网格1121内 或受所述金属网层112覆盖固定，并各该等石 颗粒111系可与复数高导热金 属颗粒113混合再均布于金属制基体12名欠4皮覆之部位，再由前述金属网层112 覆盖固定于所述金属制基体12，所述碳质复合层11中具有复数孔隙13，故所 述碳质复合层11可取代现有热管金属制基体12中之毛细结构，并可藉由碳质 颗粒111高导热系数之特性加速热管导热之效能。
请参阅图4、 4A、 7、 7A、 9、 9A、 11、 11A,系为本发明之实施例之散热结 构，所述散热结构系为金属制基体12与碳质复合层11之组合，所述金属制基 体12系为散热器，所述金属制基体12结构具有至少一受热部122及至少一散 热部123，所述受热部122系与至少一发热源(图中未表示)接触以传导热源， 于本实施例中之金属制基体12的受热部122之结构之状态系可为应用前述各实 施例中之碳质复合层11之结构状态，所述受热部122具有至少一碳质复合层11， 并所述石 复合层11可选择为单层或为复数层堆栈所构成，所述碳质复合层11 系包含复数碳质颗粒111及至少一金属网层112,并所述金属网层112具有复数 网格1121，前述各该等》錯颗粒111选择地卡固于所述金属网层112之网格1121 内或受所述金属网层112覆盖固定，所述受热部122藉由该碳质复合层11之石灰 质颗粒111之高导热系数之特性提升金属制基体12之散热效能。
请一并参阅图1、 2、 3B、 4、 4A、 5、 5A、 5B、 5C、 13、 14、 17,系为本发 明之散热结构之制造方法示意图，前述散热结构之制造方法系包含下列步骤
步骤41:提供至少一金属制基体及至少一金属网层及复数碳质颗粒；
14此步骤提供至少一金属制基体12及至少一金属网层121及复数碳质颗粒111, 所述金属制基体12系可选择为一散热器(如图4)或一热管(如图5)或一平 板式热管(如图5B)其中任一状态。
前述碳质颗粒lll大小范围系为ljLim-2mm，其中以100 jum-150 jam为较佳 范围。前述各实施例金属网层112之各该等网格1121面积系小于或等于ljam-2mm,其中又以小于100lim-150jim为较佳范围。
步骤42:将所述石1^颗粒压入前述金属网层之网格中构形成一石M复合层； 此一步骤系将前述碳质颗粒111均布于所述金属网层112上，并透过对所述石灰 质颗粒111施加压力之方式使所述碳质颗粒111卡固于所述金属网层112之网 格1121中(如图17所示)，令所述金属网层112之网格1121紧束所述该等碳 质颗粒lll，并构形成所述碳质复合层11。
步骤43:将前述碳质复合层披覆于前述金属制基体一侧表面，并以烧结之 方式令所述碳质复合层与金属制基体紧固贴合；此步骤系将前述碳质复合层11 (由碳质颗粒111及金属网层112所构成)披覆于欲附着之部位，并对所述碳 质复合层11及金属制基体12施以压力及加热烧结之动作，令所述碳质复合层 11可与所述金属制基体12紧固贴合。
另外如图14所示，在步骤41与步骤42之间，进一包括步骤44:在碳质颗 粒外部披覆至少一金属镀层；此一步骤将增加碳质颗粒111与其它金属烧结之 附着性。
再者，在步骤41与步骤44之间，进一包括步骤45:在该碳质颗粒表面披 覆碳化层；此步骤系增加金属镀层1111披覆碳质颗粒111外部之附着度。
又，在步骤44与步骤42之间，进一包含步骤46:将前述碳质颗粒与高导 热金属颗粒均匀混合。
请参阅图1、 2、 3A、 3B、 4、 4A、 5、 5A、 5B、 5C、 15、 16、 18,系为本发 明之散热结构之另一制造方法示意图，本发明之散热结构之制造方法系包含下 列步骤
步骤51:提供至少一金属制基体及至少一金属网层及复数碳质颗粒；此步 骤系提供至少一金属制基体12及至少一金属网层112及复数碳质颗粒111,所 述金属制基体12系可选择为一散热器(如图4)或一热管(如图5)或一均热 板(如图5B)其中任一状态。
所述各该等碳质颗粒111大小范围系为1 jam - 2mm,而又以100 jum-150 jn ffl为较佳范围，前述各实施例散热结构1的金属网层112之各该等网格1121面 积系小于或等于ljum - 2mm，其中又以小于100/a m-150 ju m为较佳范围。
步骤52:将所迷碳质颗粒均布前述金属制基体欲沉积之部位；前述步骤52 系将碳质颗粒111均布于所述金属制基体12欲附着碳质复合层11之处。步骤53:再由所述金属网层覆盖固定构形成一碳质复合层；此步骤系由所 述金属网层112覆盖所述碳质颗粒111 (如图18所示)，且因所述金属网层112 之网格1121面积小于所述碳质颗粒111之粒径，令所述金属网层112包覆覆盖 于所述金属制基体12均布碳质颗粒111之处并使碳质颗粒111不脱落。
步骤54:以烧结之方式令所述碳质复合层与金属制基体紧固贴合；所述步 骤54系同时对所述金属网层112及金属制基体12进行烧结工作，令所迷由金 属网层112及碳质颗粒111所构成之碳质复合层11可附着于前述金属制基体12 上，并且与所述金属制基体12紧固贴合。
另外如图16所示，在步骤51与步骤52之间，进一包括步骤55:在所述碳质颗 粒外部披覆至少 一金属镀层。
再者，在前述步骤51与步骤55之间，进一包括步骤56:在碳质颗粒表面披覆 至少一碳化层。
又，在前述步骤52与步骤55之间，进一包括步骤57:将所述复数碳质颗粒与 复数高导热金属颗粒两者混合。
前述各步骤所迷之碳化层1112、金属镀层llll、,友质颗粒1U、高导热金属 颗粒113的材质如下所迷
碳化层1112系选自于由铬(Cr)及钛(Ti)及鎢(W)及钼(Mo)及硅(Si)及钒(V) 所组成之群组。
金属镀层llll系选自于由铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)所组成之群组。 碳质颗粒l 11系选自于钻石及石墨所组成之群组。
高导热金属颗粒113系选自于铜(Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群 组，其中以铜(Cu)为较佳选择。
需声明的是，以上所述仅为本案之较佳实施例，并非用以限制本发明，若 依本发明之构想所作之改变，在不脱离本发明精神范围内，例如对于构形或 布置型态加以变换，对于各种变化，纟务饰与应用，所产生等效作用，均应包含 于本案t〖又利范围内。
权利要求
1.一种散热结构，其特征是包含至少一碳质复合层，具有复数碳质颗粒及至少一金属网层，所述金属网层具有复数网格，且各该等碳质颗粒选择地卡固于所述金属网层之网格内或受所述金属网层覆盖固定。
2. 根据权利要求1所述的一种散热结构，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及石 墨所组成之群组。
3. 根据权利要求1所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金属 制基体，所述碳质复合层覆盖于所述金属制基体一侧表面。
4. 根据权利要求l所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金属 制基体，所述金属制基体具有至少一腔室，所述碳质复合层附着于前述金属 制基体之腔室表面。
5. 根据权利要求1所述的一种散热结构，其特征是所述金属网层系选自于铜 (Cu )及铝(A 1)及银(Ag)及镍(N i)所组成之群组。
6. —种散热结构，其特征是包含至少一碳质复合层，具有复数碳质颗粒及至 少一金属网层，各该等碳质颗粒外部披覆有至少一层金属镀层，所述金属网 层具有复数网格，且前述该等碳质颗粒选择地卡固于所述金属网层之网格内 或受所述金属网层覆盖固定。
7. 根据权利要求6所述的一种散热结构，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及石 墨所组成之群组。
8. 根据权利要求6所述的一种散热结构，其特征是金属镀层系选自于铜(Cu) 及铝(Al)及银(Ag)所组成之群组。
9. 根据权利要求6所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金属制基体，所述碳质复合层覆盖于所述金属制基体一侧表面。
10. 根据权利要求6所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金 属制基体，所述金属制基体具有至少一腔室，所述碳质复合层附着于前述金 属制基体之腔室表面。
11. 根据权利要求6所述的一种散热结构，其特征是所述金属网层系选自于铜 (Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组。
12. —种散热结构，其特征是包含至少一碳质复合层，具有复数碳质颗粒及至 少一金属网层及复数高导热金属颗粒，所述金属网层具有复数网格，且前述 该等碳质颗粒与前述高导热金属颗粒均匀混合，并由所述金属网层覆盖固定。
13. 根据权利要求12所述的一种散热结构，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及 石墨所组成之群组。
14. 根据权利要求12所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金 属制基体，所述碳质复合层覆盖于所述金属制基体一侧表面。
15. 根据权利要求12所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金 属制基体，所述金属制基体具有至少一腔室，所述碳质复合层附着于前述金 属制基体之腔室表面。
16. 根据权利要求12所述的一种散热结构，其特征是所述金属网层系选自于铜 (Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组。
17. —种散热结构，其特征是包含至少一^灰质复合层，具有复凄t碳质颗粒及至 少一金属网层及复数高导热金属颗粒，各该等碳质颗粒外部披覆有至少一层 金属镀层，所述金属网层具有复数网格，且前述该等碳质颗粒与前述高导热 金属颗粒均匀混合，并由所述金属网层覆盖固定。
18. 根据权利要求17所述的一种散热结构，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及 石墨所组成之群组。
19. 根据权利要求17所述的一种散热结构，其特征是金属镀层系选自于铜(Cu) 及铝(Al)及银(Ag)所组成之群组。
20. 根据权利要求17所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金 属制基体，所述碳质复合层覆盖于所述金属制基体一侧表面。
21. 根据权利要求17所述的一种散热结构，其特征是所述散热结构更具有一金 属制基体，所述金属制基体具有至少一腔室，所述碳质复合层附着于前述金 属制基体之腔室表面。
22. 根据权利要求17所述的一种散热结构，其特征是所述金属网层系选自于铜 (Cu)及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组。
23. —种散热结构之制造方法，其特征是至少包括如下步骤 提供至少 一金属制基体及至少 一金属网层及复数碳质颗粒； 将所述石1^颗粒压入前述金属网层之网格中构形成一石 复合层；及 将前述碳质复合层披覆于前述金属制基体一侧表面，并以烧结之方式令所述 碳质复合层与金属制基体紧固贴合。
24. 根据权利要求23所述的制造方法，其特征是将各该等碳质颗粒压入前述金 属网层之网格之步骤前，更包括于所述碳质颗粒外部披覆至少 一金属镀层。
25. 根据权利要求24所述的制造方法，其特征是提供表面披覆有金属镀层之复 数碳质颗粒之步骤前，更包括于碳质颗粒表面披覆碳化层之步骤。
26. 根据权利要求25所述的制造方法，其特征是该碳化层系选自于铬(Cr)及钬 (Ti)及鴒(W)及钼(Mo)及硅(Si)及钒(V)所组成之群组。
27.根据权利要求24所述的制造方法，其特征是金属镀层系选自于铜(Cu)及 铝(Al)及银(Ag)所组成之群组。
28. 根据权利要求23所述的制造方法，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及石墨 所组成之群组。
29. 根据权利要求23所述的制造方法，其特征是将所述碳质颗粒压入前述金属 网层之网格中构形成一碳质复合层之步骤前，更包括将所述碳质颗粒与高导 热金属颗粒均匀混合之步骤。
30. —种散热结构之制造方法，其特征是至少包括如下步骤 提供至少 一金属制基体及至少 一金属网层及复数碳质颗粒； 将所述-友质颗粒均布前述金属制基体欲沉积之部位； 再由所述金属网层覆盖固定形成一碳质复合层；及以烧结之方式令所述碳质复合层与金属制基体紧固贴合。
31. 根据权利要求30所述的制造方法，其特征是碳质颗粒系选自于钻石及石墨 所组成之群组。
32. 根据权利要求30所述的制造方法，其特征是将所述碳质颗粒均布前述金属 制基体欲沉积之部位之步骤前，更包括于所述碳质颗粒外部披覆至少一金属 镀层。
33. 根据权利要求32所述的制造方法，其特征是金属镀层系选自于铜(Cu)及 铝(Al)及银(Ag)所组成之群组。
34. 根据权利要求30所述的制造方法，其特征是所述金属制基体具有至少一腔 室，所述碳质复合层附着于前述金属制基体之腔室表面。
35. 根据权利要求30所述的制造方法，其特征是所述金属网层系选自于铜(Cu )及铝(Al)及银(Ag)及镍(Ni)所组成之群组。
36. 根据权利要求30所述的制造方法，其特征是将所述石友质颗粒均布前述金属 制基体欲沉积之部位之步骤中，更包括先将前述碳质颗粒与高导热金属颗粒 均匀混合之步骤。
37. 根据权利要求32所述的制造方法，其特征是所述碳质颗粒外部披覆至少一 金属镀层之步骤前，更包括于碳质颗粒表面披覆碳化层之步骤。
全文摘要
一种散热结构及其制造方法，所述散热结构系包含至少一碳质复合层，具有复数碳质颗粒及至少一金属网层，所述金属网层具有复数网格，且各该等碳质颗粒系可选择卡固于所述金属网层之网格内或由所述金属网层以覆盖固定所述碳质颗粒其中任一状态，前述碳质复合层系可与一金属制基体搭配组合；并透过烧结将所述碳质复合层固定于前述金属制基体；根据前述散热结构及其制造方法不仅可提升散热效率进者更可改善碳质颗粒附着度不佳之缺点。
文档编号C23C24/00GK101578030SQ200910147698
公开日2009年11月11日 申请日期2009年6月12日 优先权日2009年6月12日
发明者陈伟恩, 陈盈同 申请人:陈伟恩;陈盈同