专利名称：用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于真空热蒸镀技术领域，具体涉及一种用于真空线源蒸发 镀膜设备的加热装置。
背景技术：
真空镀膜技术作为薄膜制备的一种重要手段，在现代微电子技术和微器 件制备中占有特殊重要的地位；这种技术是指在真空环境下利用物理或化学 手段在工件表面沉积一层具有特殊用途膜层的表面处理方法。一般将真空镀 膜技术分为两大类 一类是物理气相沉积，称为PVD;另一类是化学气相 沉积，称为CVD;其中最简单最常用的就是热蒸发，即利用物质受热后的 蒸发或升华将其转化为气态再沉积在基片表面。与此相应的真空镀膜设备一 般包括蒸镀室、转架系统、抽气系统、进气系统、电源系统、控制系统和加 热装置；所述加热装置一般包括蒸镀容器和加热器。使用时，先将基片固定 于所述转架系统上，将蒸镀材料置于蒸镀容器中，再利用加热器加热该蒸镀 容器，使其内的蒸镀材料转化为气态沉积在基片表面，从而达到蒸镀成膜的目的。
现有的蒸发镀膜设备中的蒸发源可以分为点状蒸发源和线状蒸发源，其 中，线状蒸发源主要用于大尺寸基片的蒸发镀膜，其相应的加热装置参见附 图1 2所示，这是选自美国发明专利US6367414B2,其公开了一种线状蒸镀 装置及加热工艺(LINEAR APERTURE DEPOSITION APPARATUS AND COATING PROCESS),所述蒸镀容器l呈长条状，其外围设有加热器2， 所述加热器2可以是复数个加热棒，也可以是环绕的加热线圈。为了防止这 种外加热结构的大量热量通过热辐射向外散发掉，提髙热能的有效利用率， 美国发明专利US6367414B2在加热器的外围设置了隔热层5和冷却层6。
然而，该结构使得蒸发镀膜设备的成本很高，价格非常昂贵，限制了其 推广应用。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置， 以降低设备的成本，并提高热能的有效利用率。
为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是 一种用于真空线 源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器和加热器，所述加热器的中心部 位设有至少一个长条状加热片；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长 条状加热片配合的导热槽。
上文中，所述蒸镀容器的底部向上凸起形成导热槽，是为了将加热器的 长条状加热片插入导热槽中进行加热，利用蒸镀容器将加热器的长条状加热 片包裹起来，从而防止了热辐射向外散发，使得绝大部分的热能都是用来加 热蒸镀容器，从而大大提高了热能的利用率；同时，正式由于这种"内热式" 的加热结构防止了热辐射向外散发，从而不需要在其外围设置隔热层和冷却 层，因而大大降低了设备的成本。所述导热槽和加热器的长条状加热片配合， 以接触面积最大最佳，以提高热传导面积。所述蒸镀容器是现有技术，其组 成材料可以是石英、石墨、氮化硼、氧化铝、钽、钼、钨、铜、不锈钢或其 它陶瓷和金属材料；所述加热器也是现有技术，其材料可以是钽、钼、钩、 或不锈钢。所述导热槽的数目与长条状加热片是一一对应的，以配合加热， 所述导热槽的数目根据实际情况确定。
进一步的技术方案，所述长条状加热片为2个，且并联连接，形成口字形。
进一步的技术方案，所述长条状加热片为3个，且并联连接，形成曰字形。
由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是 1、本实用新型的蒸镀容器底部向上凸起形成导热槽，从而可以将加热 器的长条状加热片插入导热槽中进行加热，利用蒸镀容器将加热器的长条状 加热片包裹起来，从而防止了热辐射向外散发，使得绝大部分的热能都是用 来加热蒸镀容器及其内部的蒸镀材料，从而大大提髙了热能的利用率；同时， 正式由于这种"内热式"的加热结构防止了热辐射向外散发，从而不需要在 其外围设置隔热层和冷却层，因而大大降低了设备的成本。2、 本实用新型的加热装置结构简单，且成本较低，适于推广应用。
3、 本实用新型的加热器是设置在蒸镀容器的底部，而不和蒸镀容器内 的材料直接接触，因而加热器可以反复使用，提高了利用率，同时也降低了 成本。
图1是背景技术中加热装置的结构示意图； 图2是图1的A-A'剖视图； 图3是本实用新型实施例一的主视图； 图4是本实用新型实施例一的俯视图； 图5是图3的B-B剖视图6是本实用新型实施例一中加热器的主视图 图7是本实用新型实施例一中加热器的俯视图； 图8是本实用新型实施例一中蒸镀容器的主视图； 图9是本实用新型实施例一中蒸镀容器的俯视图； 图IO是本实用新型实施例一中蒸镀容器的左剖图; 图11是本实用新型实施例二的立体图 图12是本实用新型实施例三的立体图。
其中1、蒸镀容器2、加热器；3、导热槽4、长条状加热片；5、 隔热层；6、冷却层。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述 实施例一
参见图3 10所示， 一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括 蒸镀容器1和加热器2,所述加热器2的中心部位设有至少一个长条状加热 片4;所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片4配合的导热 槽3。所述长条状加热片4为2个，且并联连接，形成口字形。
蒸镀容器有3个分室，所述加热器的中部形成一个"口"字形；蒸镀时，加热器按箭头方向嵌入蒸镀容器中。
上文中，所述蒸镀容器的底部向上凸起形成导热槽，是为了将加热器的 长条状加热片插入导热槽中进行加热，利用蒸镀容器将加热器的长条状加热 片包裹起来，从而防止了热辐射向外散发，使得绝大部分的热能都是用来加 热蒸镀容器，从而大大提髙了热能的利用率同时，正式由于这种"内热式" 的加热结构防止了热辐射向外散发，从而不需要在其外围设置隔热层和冷却 层，因而大大降低了设备的成本。所述导热槽和加热器的长条状加热片配合， 以接触面积最大最佳，以提髙热传导面积。所述蒸镀容器是现有技术，其组 成材料可以是石英、石墨、氮化硼、氧化铝、钽、钼、钨、铜、不锈钢或其 它陶瓷和金属材料所述加热器也是现有技术，其材料可以是钽、钼、钨、 或不锈钢。所述导热槽的数目与长条状加热片是一一对应的，以配合加热。
实施例二
参见图ll所示， 一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸 镀容器和加热器，所述加热器的中心部位设有至少一个长条状加热片；所述 蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片配合的导热槽3。所述长 条状加热片为3个，且并联连接，形成日字形。
实施例三
参见图12所示， 一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸 镀容器和加热器，所述加热器的中心部位设有一个长条状加热片；所述蒸镀 容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片配合的导热槽3。
权利要求1.一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器(1)和加热器(2)，其特征在于所述加热器(2)的中心部位设有至少一个长条状加热片(4)；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片(4)配合的导热槽(3)。
2. 根据权利要求1所述的用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，其 特征在于所述长条状加热片(4)为2个，且并联连接，形成口字形。
3. 根据权利要求1所述的用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，其 特征在于所述长条状加热片(4)为3个，且并联连接，形成日字形。
专利摘要本实用新型公开了一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器和加热器，所述加热器的中心部位设有至少一个长条状加热片；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片配合的导热槽。本实用新型大大提高了热能的利用率，并大大降低了设备的成本。
文档编号C23C14/24GK201406463SQ20092004533
公开日2010年2月17日 申请日期2009年5月15日 优先权日2009年5月15日
发明者廖良生, 李述汤 申请人:苏州大学