一种蒸发镀膜的均匀性挡板的制作方法

技术总结
本实用新型公开了一种蒸发镀膜的均匀性挡板，包括支座、安装在支座上的挡板轴、设置在挡板轴上的挡板；所述支座为多个，支座分别安装在蒸发系统腔室内壁，每个支座分别连接有一根挡板轴一端端部，且多个挡板轴另一端伸展到在腔室中部。采用本实用新型能够满足多种材料的遮挡要求。

技术研发人员：韩志龙
受保护的技术使用者：成都海威华芯科技有限公司
文档号码：201621108631
技术研发日：2016.10.10
技术公布日：2017.03.08