技术总结
本实用新型涉及显示器制备技术领域，公开了一种蒸镀设备，用以减少遮挡板上的有机材料进入蒸发源和坩埚内现象的发生，提高蒸发源的使用寿命和坩埚内材料的品质。蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，位于蒸镀腔室内的蒸发源，位于蒸发源内的坩埚，位于蒸镀腔室内、且可绕自身轴线旋转的转轴，与转轴固定连接的遮挡板，遮挡板可旋转至蒸发源的上方；还包括：位于遮挡板朝向坩埚的一侧的棘轮机构，棘轮机构中的棘爪与转轴固定连接，棘轮机构中的棘轮盘枢装于转轴；与棘轮机构的棘轮盘固定连接的托盘。
技术研发人员：付文悦;张鑫狄
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司
文档号码：201621421395
技术研发日：2016.12.21
技术公布日：2017.06.13