一种气相沉积炉尾气除焦装置的制作方法

本发明涉及一种用于气相沉积炉尾气除焦处理的专用装置。

背景技术：

对于真空炉形式的气相沉积炉，为保证炉内真空状态真空发生泵会一直工作。进气后与产品发生化学反应会产生焦油，此焦油呈奶油状。为防止焦油进入真空发生泵中损坏真空泵，就需要在排气管道中加装过滤网，在抽排过程中焦油会粘黏在过滤网及管道壁上，虽然定期更换过滤网能够去除部分焦油，但粘黏在管路上的焦油却难于清除。日积月累，管路孔径会越来越小从而影响抽排效果，一旦堵塞管路则会发生爆炸危险。拆卸管道清理费时费力，增加了维护成本。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是，提供一种气相沉积炉尾气除焦装置，用于及时清除排气管道内壁和过滤网上附着的焦油。

本发明采用了以下技术方案：

一种气相沉积炉尾气除焦装置，包括内端用于连接气相沉积炉炉腔的排气主管道和末端用于连接真空发生装置、前端与排气主管道末端相连接的排气副管道，排气副管道靠近排气主管道末端的一段与排气主管道走向相垂直，排气主管道与排气副管道的连接处通过油管连接有接油箱；在排气主管道中设有位于排气主管道中心位置的电阻加热管，电阻加热管外套有绝缘保护套；电阻加热管的根部与排气副管道的管壁相连接；气相沉积炉尾气除焦装置还包括安装在排气主管道中、绕电阻加热管螺旋设置且以电阻加热管为旋转中心的螺旋刮板，该螺旋刮板的前端靠近排气主管道的内端，螺旋刮板的后端连接有从动齿轮；从动齿轮通过轴承安装在电阻加热管上；与从动齿轮相啮合的主动齿轮与安装在排气副管道外侧的电机传动连接；所述齿轮和轴承均位于排气主管道与排气副管道的连接处内腔中。

作为本发明的进一步改进：排气副管道中安装有纳米级过滤网，该纳米级过滤网位于排气主管道与排气副管道之间并且网面与螺旋刮板的外沿相切。

作为本发明的进一步改进：电机的输出轴外端位于排气主管道与排气副管道的连接处内腔中，主动齿轮安装在电机的输出轴外端。

作为本发明的进一步改进：排气主管道与排气副管道的连接处的下侧通过油管连接位于该连接处下方的接油箱。

作为本发明的进一步改进：排气主管道与排气副管道的连接处的下侧通过油管连接位于该连接处下方的接油箱。

本发明的积极效果在于：

本发明在排气管道内加装电阻加热管，电阻加热管外套绝缘保护套。电阻加热管在通电后发热融化粘黏在排气管道内壁上的焦油，排气管道内安装的螺旋刮板由末端的电机驱动进行旋转，带动焦油向排气管道末端靠近并流到下方的接油箱中，及时清除了排气管道内壁附着的焦油。本发明还于排气管道弯头处加装纳米级过滤网用以防止部分液态焦油被抽排至真空发生泵中，螺旋刮板在旋转时同时会清理过滤网上粘附的焦油，以保证过滤网的通畅。

本发明有效地防止了管道堵塞问题，大大缩短了拆卸管道清理时间并节约了维护成本，进一步确保设备在运行过程中不发生故障或造成安全事故。

附图说明

图1是本发明实施例的整体外观示意图。

图2是本发明实施例的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明的实施例包括内端用于连接气相沉积炉炉腔的排气主管道1和末端用于连接真空发生装置、前端与排气主管道1末端相连接的排气副管道2，排气副管道2靠近排气主管道1末端的一段与排气主管道1走向相垂直。排气主管道1与排气副管道2的连接处的下侧通过油管连接有位于该连接处下方的接油箱4。

如图2，在排气主管道1中设有位于排气主管道1中心位置的电阻加热管5，电阻加热管5外套有绝缘保护套9。电阻加热管5的根部与排气副管道2的管壁相连接，电阻加热管5的引线穿过所述管壁。

仍如图2，本发明的实施例还包括安装在排气主管道1中并且绕电阻加热管5螺旋设置且以电阻加热管5为旋转中心的螺旋刮板6，该螺旋刮板6的前端靠近排气主管道1的内端，螺旋刮板6的后端连接有从动齿轮8。从动齿轮8通过轴承安装在电阻加热管5上。与从动齿轮8相啮合的主动齿轮7与固定安装在排气副管道2管壁外侧的电机3传动连接。所述传动连接的方式举例：电机3的输出轴位于管道内，主动齿轮7安装在电机3的输出轴上。所述齿轮和轴承均位于排气主管道1与排气副管道2的连接处内腔中。

仍如图2，排气副管道2中安装有纳米级过滤网10，该纳米级过滤网10位于排气主管道1与排气副管道2之间并且网面与螺旋刮板6的外沿相切。螺旋刮板6旋转时从纳米级过滤网10上刮下附着的焦油。

本发明工作时，在电机3驱动下螺旋刮板6旋转，将排气主管道1内壁附着的焦油和纳米级过滤网10上附着的焦油刮下，被刮下的焦油落入到接油箱4中。

技术特征：

技术总结
本发明是一种气相沉积炉尾气除焦装置，排气主管道与排气副管道的连接处连接有接油箱；在排气主管道中设有外套有绝缘保护套的电阻加热管；还包括安装在排气主管道中绕电阻加热管螺旋设置的螺旋刮板，该螺旋刮板的后端通过轴承安装有从动齿轮；与从动齿轮相啮合的主动齿轮与电机传动连接。本发明能够有效地防止管道堵塞问题，大大缩短了拆卸管道清理时间并节约了维护成本，进一步确保设备在运行过程中不发生故障或造成安全事故。

技术研发人员：历建政
受保护的技术使用者：烟台银河新材料有限公司
技术研发日：2017.12.23
技术公布日：2018.04.06