一种高效率纳米材料真空镀膜机的制作方法

本发明涉及机械设备领域，具体为一种高效率纳米材料真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，传统的蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，具体可以调控的因素有许多，譬如基片材料与靶材的晶格匹配程度、基片表面温度、蒸发功率与速率、真空度等，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好，从而对镀膜产品的质量以及生产效率造成一定的影响。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种高效率纳米材料真空镀膜机，解决了现有的生产效率低、产品组分均匀性不好的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵、排气机构与机身，所述机身的下端活动安装有万向轮，且机身的前端外表面中间位置处设置有操作面板，所述操作面板的外表面固定安装有主泵开关，所述操作面板的外表面靠近主泵开关的一侧设置有辅助泵开关，且操作面板的外表面靠近主泵开关的另一侧设置有急停按钮，所述主泵固定安装在机身的上端外表面，所述主泵的上端外表面固定安装有玻璃钟罩，且主泵的下端外表面固定安装有辅助泵，所述主泵的一侧外表面固定安装有一号不锈钢波纹管，且主泵的一侧外表面靠近玻璃钟罩的上方固定安装有主泵真空表，所述一号不锈钢波纹管的下方设置有三通阀门，所述玻璃钟罩的下端外表面靠近主泵的一侧固定安装有单向阀门，且玻璃钟罩的内部中间位置处设置有基板，所述玻璃钟罩靠近下端的四周固定安装有维修孔，相邻两组所述维修孔之间设置有蒸发电极，所述蒸发电极通过嵌入式对称安装在玻璃钟罩的内部，所述维修孔的一侧分别设置有真空计孔与真空密封孔；

所述机身的内部靠近辅助泵的一侧设置有蒸发电源，所述排气机构设置在机身的内部靠近辅助泵的另一侧，所述蒸发电源的前端外表面设置有蒸发电源开关，所述蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的一侧固定安装有蒸发电源提手，且蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的另一侧固定安装有显示屏，所述蒸发电源的前端外表面靠近蒸发电源开关的下方设置有散热孔，所述蒸发电源的前端外表面靠近显示屏的下方设置有参数调节键，所述排气机构的下方设置有底座，且排气机构的下端设置有脚轮，所述机身的后端外表面靠近排气机构的位置处固定安装有排气口。

可选的，所述万向轮的数量为四组，且其平行设置，所述万向轮的内部均设置有制动片。

可选的，所述操作面板的四周均设置有固定螺栓，且操作面板通过固定螺栓与机身固定连接，所述操作面板外表面靠近上方的位置处固定安装有设备铭牌，所述泵开关、辅助泵开关与急停按钮的上方均设有与之对应的指示灯。

可选的，所述辅助泵的一侧外表面固定安装有辅助泵真空表，且辅助泵的另一侧外表面设置有二号不锈钢波纹管，所述二号不锈钢波纹管与一号不锈钢波纹管的出口端与三通阀门连接。

可选的，所述排气口的下端设置有排气管，且排气口通过排气管与排气机构相连接。

可选的，所述蒸发电源的外表面设置有防护外壳，且蒸发电源通过防护外壳安装在机身的内部，所述蒸发电极与蒸发电源电性连接。

可选的，所述脚轮的数量为四组，所述蒸发电源通过脚轮与底座活动连接。

可选的，所述主泵与辅助泵的中心线在同一水平面，且主泵与辅助泵、主泵与玻璃钟罩的连接处均设置有完好的密封。

（三）有益效果

本发明提供了一种高效率纳米材料真空镀膜机，具备以下有益效果：

（1）、该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置的蒸发电源与蒸发电极的追加，通过电阻式加热方式使靶材快速升温加热，有效的加快了靶材的蒸发速度，并且可以实现同时蒸镀和多层蒸镀，极大的提高了镀膜的效率，特别适合用于小基板尺寸的基础研究开发。

（2）、该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置的主泵与辅助泵同时运转，一方面可以使玻璃钟罩内部保持一个较高的真空度，保障了镀膜的质量，另一方面可以避免主泵停止运转，有效的延长了设备的使用寿命，以及减小了设备出现故障的概率，方便了工人后期的维护工作。

（3）、该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置玻璃钟罩，操作人员可以清楚的看到钟罩内部的镀膜情况，方便人员掌控整个镀膜过程，有效的提高了改真空镀膜机的操作性能。

（4）、该高效率纳米材料真空镀膜机，通过对排气机构采用安装脚轮的设计，方便了排气机构的移动，相较于传统的排气机构固定安装在机身内部，脚轮的设计方便了人员对排气机构的拆卸维护与检修。

附图说明

图1为本发明一种高效率纳米材料真空镀膜机的整体结构正视图；

图2为本发明一种高效率纳米材料真空镀膜机的侧视图；

图3为本发明一种高效率纳米材料真空镀膜机的蒸发电源结构示意图；

图4为本发明一种高效率纳米材料真空镀膜机玻璃钟罩的内部剖视图。

图中：1、万向轮；2、操作面板；3、辅助泵真空表；4、单向阀门；5、玻璃钟罩；6、一号不锈钢波纹管；7、三通阀门；8、主泵开关；9、辅助泵开关；10、急停按钮；11、辅助泵；12、主泵；13、蒸发电源；14、维修孔；15、蒸发电极；16、二号不锈钢波纹管；17、排气口；18、排气机构；19、脚轮；20、底座；21、基板；22、真空密封孔；23、真空计孔；24、蒸发电源开关；25、蒸发电源提手；26、散热孔；27、显示屏；28、参数调节键；29、主泵真空表；30、机身。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种高效率纳米材料真空镀膜机，包括主泵12、排气机构18与机身30，机身30的下端活动安装有万向轮1，且机身30的前端外表面中间位置处设置有操作面板2，操作面板2的外表面固定安装有主泵开关8，操作面板2的外表面靠近主泵开关8的一侧设置有辅助泵开关9，且操作面板2的外表面靠近主泵开关8的另一侧设置有急停按钮10，主泵12固定安装在机身30的上端外表面，主泵12的上端外表面固定安装有玻璃钟罩5，且主泵12的下端外表面固定安装有辅助泵11，主泵12的一侧外表面固定安装有一号不锈钢波纹管6，且主泵12的一侧外表面靠近玻璃钟罩5的上方固定安装有主泵真空表29，一号不锈钢波纹管6的下方设置有三通阀门7，玻璃钟罩5的下端外表面靠近主泵12的一侧固定安装有单向阀门4，且玻璃钟罩5的内部中间位置处设置有基板21，玻璃钟罩5靠近下端的四周固定安装有维修孔14，相邻两组维修孔14之间设置有蒸发电极15，蒸发电极15通过嵌入式对称安装在玻璃钟罩5的内部，维修孔14的一侧分别设置有真空计孔23与真空密封孔22，机身30的内部靠近辅助泵11的一侧设置有蒸发电源13，排气机构18设置在机身30的内部靠近辅助泵11的另一侧，蒸发电源13的前端外表面设置有蒸发电源开关24，蒸发电源13的前端外表面靠近蒸发电源开关24的一侧固定安装有蒸发电源提手25，且蒸发电源13的前端外表面靠近蒸发电源开关24的另一侧固定安装有显示屏27，蒸发电源13的前端外表面靠近蒸发电源开关24的下方设置有散热孔26，蒸发电源13的前端外表面靠近显示屏27的下方设置有参数调节键28，排气机构18的下方设置有底座20，且排气机构18的下端设置有脚轮19，机身30的后端外表面靠近排气机构18的位置处固定安装有排气口17，万向轮1的数量为四组，且其平行设置，万向轮1的内部均设置有制动片，操作面板2的四周均设置有固定螺栓，且操作面板2通过固定螺栓与机身30固定连接，操作面板2外表面靠近上方的位置处固定安装有设备铭牌，泵开关8、辅助泵开关9与急停按钮10的上方均设有与之对应的指示灯，辅助泵11的一侧外表面固定安装有辅助泵真空表3，且辅助泵11的另一侧外表面设置有二号不锈钢波纹管16，二号不锈钢波纹管16与一号不锈钢波纹管6的出口端与三通阀门7连接，排气口17的下端设置有排气管，且排气口17通过排气管与排气机构18相连接，蒸发电源13的外表面设置有防护外壳，且蒸发电源13通过防护外壳安装在机身30的内部，蒸发电极15与蒸发电源13电性连接，脚轮19的数量为四组，蒸发电源13通过脚轮19与底座20活动连接，主泵12与辅助泵11的中心线在同一水平面，且主泵12与辅助泵11、主泵12与玻璃钟罩5的连接处均设置有完好的密封。

综上所述，该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置的蒸发电源13与蒸发电极15的追加，通过电阻式加热方式使靶材快速升温加热，有效的加快了靶材的蒸发速度，并且可以实现同时蒸镀和多层蒸镀，极大的提高了镀膜的效率，特别适合用于小基板尺寸的基础研究开发。

该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置的主泵12与辅助泵11同时运转，一方面可以使玻璃钟罩5内部保持一个较高的真空度，保障了镀膜的质量，另一方面可以避免主泵12停止运转，有效的延长了设备的使用寿命，以及减小了设备出现故障的概率，方便了工人后期的维护工作。

该高效率纳米材料真空镀膜机，通过设置玻璃钟罩5，操作人员可以清楚的看到钟罩内部的镀膜情况，方便人员掌控整个镀膜过程，有效的提高了改真空镀膜机的操作性能。

该高效率纳米材料真空镀膜机，通过对排气机构18采用安装脚轮19的设计，方便了排气机构18的移动，相较于传统的排气机构18固定安装在机身30内部，脚轮19的设计方便了人员对排气机构18的拆卸维护与检修。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”，该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220v市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。