一种线性蒸发源及蒸镀装置的制作方法

文档序号:14906099发布日期:2018-07-10 22:04阅读:125来源:国知局

本发明涉及有机电致发光领域,特别涉及一种线性蒸发源及蒸镀装置。



背景技术:

目前,在oled产线中,应用线性蒸发源对基板进行蒸镀形成膜层的过程中,当发生异常情况不能蒸镀时,对坩埚进行降温以结束蒸镀,但坩埚温度较高,降温时间较长,导致在坩埚降温过程中,线性蒸发源的腔室内依然在消耗材料等待蒸镀,造成了材料的浪费,增加了生产成本。



技术实现要素:

本发明提供了一种线性蒸发源及蒸镀装置,该线性蒸发源中通过第一挡板组件将喷嘴的出料口密封,连接组件将第一坩埚本体的内腔与第二坩埚本体的内腔连通,气化的蒸镀材料在非加热状态的坩埚本体的内腔中固化沉积,避免了蒸镀材料的浪费,提高了产能,节约了生产成本。

为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:

一种线性蒸发源,包括:

坩埚组件,所述坩埚组件包括第一坩埚本体和第二坩埚本体,所述第一坩埚本体和所述第二坩埚本体间设有至少一个用于控制所述第一坩埚本体的内腔与所述第二坩埚本体的内腔连通或断开的连接组件;

设置于所述坩埚组件顶部的盖体,所述盖体上设有多个用于喷射蒸镀材料的喷嘴,所述喷嘴包括至少一个与所述第一坩埚本体的内腔连通的第一喷嘴和至少一个与所述第二坩埚本体的内腔连通的第二喷嘴,所述第一喷嘴和所述第二喷嘴处均设有用于阻止蒸镀材料喷射的第一挡板组件。

上述线性蒸发源中,设置有可控制第一坩埚本体的内腔与第二坩埚本体的内腔连通或断开的连接组件、和用于控制所述喷嘴与外界连通或断开的第一挡板组件,当本线性蒸发源工作时,第一坩埚本体和第二坩埚本体中:一个处于加热状态,另一个处于非加热状态,例如低温状态或常温状态,此时,第一坩埚本体与第二坩埚本体间不连通,当发生异常情况不能蒸镀时,由于降温时间过长,加热状态的坩埚的内腔中依然在消耗材料等待蒸镀,此时,通过第一挡板组件将喷嘴的出料口密封,避免蒸镀材料喷射至外界中造成浪费,同时,连接组件将第一坩埚本体的内腔与第二坩埚本体的内腔连通,等待蒸镀的气化的蒸镀材料流动至非加热状态的坩埚本体的内腔中,并在非加热状态的坩埚本体的内腔中固化沉积,避免了坩埚组件内压力过大产生安全隐患,同时实现了对气化的蒸镀材料的收集,避免了蒸镀材料的浪费,提高了产能,节约了生产成本;

另外,当在蒸镀过程中,加热状态的坩埚中蒸镀材料不足时,非加热状态的坩埚本体可作为备用坩埚,对非加热状态的坩埚本体进行加温,即将固化沉积在非加热状态的坩埚本体中的蒸镀材料升温,对显示基板继续进行蒸镀,以保证蒸镀的正常进行,例如在蒸镀过程中,当第一坩埚本体中的蒸镀材料不足时,对用于备用的第二坩埚本体加热,利用沉积在第二坩埚本体中的蒸镀材料,对显示基板继续蒸镀,以保证蒸镀的正常进行。

优选地,所述连接组件包括:

用于将所述第一坩埚本体的内腔与所述第二坩埚本体的内腔连通的多个连接管;

与所述连接管一一对应的第二挡板组件,每一对相互对应的所述连接管和所述第二挡板组件中,当所述第二挡板组件处于闭合状态时,所述连接管封闭以断开所述第一坩埚本体的内腔与所述第二坩埚本体的内腔,当所述第二挡板组件处于打开状态时,所述连接管开启以连通所述第一坩埚本体的内腔与所述第二坩埚本体的内腔。

优选地,每一对相互对应的所述连接管和所述第二挡板组件中,所述第二挡板组件包括用于对所述连接管的端口密封的第二挡板和用于驱动所述第二挡板运动的第二驱动部件。

优选地,所述第二驱动部件为电磁阀。

优选地,每一对相互对应的所述连接管和所述第二挡板组件中,所述第二挡板组件包括设置于所述连接管一端的第一子挡板和设置于所述连接管另一端的第二子挡板。

优选地,每一个所述第二挡板组件具有的第一子挡板和第二子挡板中,当所述第一子挡板和第二子挡板均处于关闭状态时,所述第一子挡板和所述第二子挡板带有相反极性的磁性。

优选地,每一对相互对应的所述喷嘴和所述第一挡板组件中,所述第一挡板组件包括用于对所述喷嘴的出料口密封的第一挡板和用于驱动所述第一挡板运动的第一驱动部件。

优选地,所述第一驱动部件为电磁阀。

优选地,所述连接管由金属钛制成,所述连接管的内壁设有镀铜层。

本发明还提供了一种蒸镀装置,包括上述技术方案中所述的任意一种线性蒸发源。

附图说明

图1为本发明提供的线性蒸发源的结构示意图。

图标:1-第一坩埚本体;2-第二坩埚本体;3-盖体;4-第一喷嘴;5-第二喷嘴;6-第一挡板组件;7-连接组件;71-连接管;72-第二挡板组件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

请参考图1,本发明实施例提供的线性蒸发源,包括:

坩埚组件,坩埚组件包括第一坩埚本体1和第二坩埚本体2,第一坩埚本体1和第二坩埚本体2间设有至少一个用于控制第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔连通或断开的连接组件7;

设置于坩埚组件顶部的盖体3,盖体3上设有多个用于喷射蒸镀材料的喷嘴,喷嘴包括至少一个与第一坩埚本体1的内腔连通的第一喷嘴4和至少一个与第二坩埚本体2的内腔连通的第二喷嘴5,第一喷嘴4和第二喷嘴5处均设有用于阻止蒸镀材料喷射的第一挡板组件6。

上述线性蒸发源中,设置有可控制第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔连通或断开的连接组件7、和用于控制喷嘴与外界连通或断开的第一挡板组件6,当本线性蒸发源工作时,第一坩埚本体1和第二坩埚本体2中:一个处于加热状态,另一个处于非加热状态,例如低温状态或常温状态,此时,第一坩埚本体1与第二坩埚本体2间不连通,当发生异常情况不能蒸镀时,由于降温时间过长,加热状态的坩埚的内腔中依然在消耗材料等待蒸镀,此时,通过第一挡板组件6将喷嘴的出料口密封,避免蒸镀材料喷射至外界中造成浪费,同时,连接组件7将第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔连通,等待蒸镀的气化的蒸镀材料流动至非加热状态的坩埚本体的内腔中,并在非加热状态的坩埚本体的内腔中固化沉积,避免了坩埚组件内压力过大产生安全隐患,同时实现了对气化的蒸镀材料的收集,避免了蒸镀材料的浪费,提高了产能,节约了生产成本;

另外,当在蒸镀过程中,加热状态的坩埚中蒸镀材料不足时,非加热状态的坩埚本体可作为备用坩埚,对非加热状态的坩埚本体加热,即,将固化沉积在非加热状态的坩埚本体中的蒸镀材料升温,对显示基板继续进行蒸镀,以保证蒸镀的正常进行,例如在蒸镀过程中,当第一坩埚本体中的蒸镀材料不足时,对用于备用的第二坩埚本体加热,利用沉积在第二坩埚本体中的蒸镀材料,对显示基板继续蒸镀,以保证蒸镀的正常进行。

具体地,坩埚组件与盖体密封连接。

上述盖体设在坩埚组件的顶部,且盖体水平方向的截面面积大于坩埚本体水平方向的截面面积,使得盖体上可设置多个喷嘴,以提高对显示基板蒸镀的效率。

具体地,盖体上设有多个第一喷嘴和多个第二喷嘴,第一喷嘴的数量范围为2个-10个,第二喷嘴的数量范围为2个-10个,本实施例中,优选地,盖体上第一喷嘴和第二喷嘴各设置有9个。

上述第一喷嘴和第二喷嘴的数量各设置9个,在对显示基板进行蒸镀时,保持较高的蒸镀效率。

具体地,连接组件7包括:

用于将第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔连通的多个连接管71;

与连接管71一一对应的第二挡板组件72,每一对相互对应的连接管71和第二挡板组件72中,当第二挡板组件72处于闭合状态时,连接管71封闭以断开第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔,当第二挡板组件72处于打开状态时,连接管71开启以连通第一坩埚本体1的内腔与第二坩埚本体2的内腔。

上述连接组件7中,设置多个连接管71提高了气化的蒸镀材料进入非加热状态的坩埚本体中的速度,进而提高了对气化蒸镀材料固化的效率;

另外,第二挡板组件设置在连接管的端口处,当第一坩埚本体与第二坩埚本体需要连通时,第二挡板组件打开,使连接管的一端与第一坩埚本体的内腔连接,连接管的另一端与第二坩埚本体的内腔连接;当第一坩埚本体与第二坩埚本体间需要断开内腔的连接时,第二挡板组件将连接管的两个端口进行密封,使得第一坩埚本体与连接管、第二坩埚本体与连接管断开连接。

具体地,每一对相互对应的连接管71和第二挡板组件72中,第二挡板组件72包括用于对连接管71的端口密封的第二挡板和用于驱动第二挡板运动的第二驱动部件。

上述第二挡板组件72中,通过第二驱动部件驱动第二挡板运动,从而实现通过第二挡板对连接管71的密封或打开。

具体地,第二驱动部件为电磁阀。

具体地,每一对相互对应的连接管71和第二挡板组件72中,第二挡板组件72包括设置于连接管71一端的第一子挡板和设置于连接管71另一端的第二子挡板。

上述第二挡板组件72中,第一子挡板设置在连接管71的一端,且连接有用于控制第一子挡板运动的第一电磁阀,第二子挡板设置在连接管71的另一端,且连接有用于控制第二子挡板运动的第二电磁阀,通过第一子挡板和第二子挡板的配合,实现第一坩埚本体1和第二坩埚本体2的连通和断开。

具体地,每一个第二挡板组件72具有的第一子挡板和第二子挡板中,当第一子挡板和第二子挡板均处于关闭状态时,第一子挡板和第二子挡板带有相反极性的磁性。

上述第二挡板组件72中,当第一子挡板和第二子挡板处于关闭状态时,由于第一子挡板与第二子挡板带相反极性的磁性,第一子挡板与第二子挡板间存在吸引力,提高了第一子挡板和第二子挡板对连接管71的密封效果。

具体地,上述第一子挡板和第二子挡板的面积大于连接管端口的开口面积,以提高第一子挡板与第二子挡板对连接管的密封效果,防止气化的蒸镀材料在正常蒸镀过程中流动至非加热状态的坩埚本体中,影响蒸镀效率。

具体地,每一对相互对应的喷嘴和第一挡板组件6中,第一挡板组件6包括用于对喷嘴的出料口密封的第一挡板和用于驱动第一挡板运动的第一驱动部件。

上述第一挡板组件6中,第一驱动部件驱动第一挡板运动,实现第一挡板对喷嘴的出料口的密封和打开。

具体地,上述第一挡板的面积大于喷嘴的出料口处的开口面积,以提高第一挡板对喷嘴的密封作用,当蒸镀过程中出现异常情况时,对喷嘴进行密封,避免蒸镀材料的浪费。

具体地,第一驱动部件为电磁阀。

具体地,连接管71由金属钛制成,连接管71的内壁设有镀铜层。

上述连接管71的内壁采用镀铜层,由于铜具备良好的热传导性,可有效防止蒸镀材料在连接管71中固化造成连接管71堵塞,提高了装置的稳定性和安全性。

具体地,上述连接管的截面面积为方形、椭圆形或圆形,由于截面周长相等时,圆形截面的面积最大,优选地,连接管的截面面积为圆形,提高气化的蒸镀材料的通过速率,以提高气化蒸镀材料的固化效率。

本发明实施例还提供了一种蒸镀装置,包括上述实施例中的任意一种线性蒸发源。

显然,本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

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