技术特征：
技术总结
本公开提供一种真空蒸镀设备及蒸发源装置，涉及真空蒸镀技术领域。本公开的蒸发源装置应用于包括蒸镀腔室的镀膜设备，且该蒸发源装置包括：具有第一开放端的容置腔，所述容置腔朝向所述蒸镀腔室，并且所述第一开放端连接于所述蒸镀腔室的外壁；坩埚，至少部分设于所述容置腔内；喷嘴，连通于所述坩埚，且位于所述容置腔外。本公开的蒸发源装置通过将坩埚部分设置于蒸发腔室外，增加了蒸发源的尺寸，延长了蒸发源的更换周期，生产周期缩短，并可提高产品的产量。
技术研发人员：黄春泉;周文炎;邹以慧;包立强;丁度泽
受保护的技术使用者：华夏易能（广东）新能源科技有限公司
技术研发日：2018.07.25
技术公布日：2018.10.16