一种可以有效降温的分子蒸发装置的制作方法

文档序号:17159613发布日期:2019-03-20 00:29阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种可以有效降温的分子蒸发装置,属于超高真空有机分子技术领域。该分子蒸发装置,包括金属挡片、陶瓷压片、内坩埚、限位陶瓷、电阻丝、外坩埚、冷却台、热偶线、四电极法兰、冷却管、旋转导入器、空管、CF16的法兰、铜螺栓、螺母和旋转导入器的长螺杆。本装置能有效加热沉积样品;本装置可实现有效的降温,并可以通液氮降温,经过测试可以降到‑90℃并可正常使用;本装置可以实现在通入液氮流量较为稳定的情况下,通过电阻丝加热,维持在设定的温度;本装置结构原理简单,部件容易更换、升级,易于修理;本装置成本较低。

技术研发人员:卢建臣;张辉;蔡金明;蔡晓明;叶乾旭;闫翠霞
受保护的技术使用者:昆明理工大学
技术研发日:2018.11.26
技术公布日:2019.03.19
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