缓蚀剂及其制备方法与流程

文档序号:24160895发布日期:2021-03-05 16:42阅读:来源:国知局

技术特征:
1.缓蚀剂,其特征在于,包括以下重量份数的组分:10 ~20份的硼酸、20~40份的乙二醇、15~25份的二氧化钛、10~20份的二氧化锆、5~15份的氧化铈及50~100份的去离子水。2.制备权利要求1所述的缓蚀剂的方法,其特征在于,按配方量取乙二醇、二氧化钛、二氧化锆及部分去离子水依次投入反应釜,室温下搅拌30~60分钟,后加入硼酸、氧化铈及剩余去离子水室温下搅拌30~40分钟即得。3.根据权利要求2所述的缓蚀剂的方法,其特征在于,加入硼酸、氧化铈室温下搅拌时控制反应釜内物料ph为7~8。
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