一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体是一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置。

背景技术：

扩散膜主要是指应用于lcd模组的背光光源部分，可修正光线成均匀面光源以达到光学扩散的效果，扩散膜在生产过程中，需要通过真空镀膜对膜进行加工，真空镀膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提高膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力，真空镀膜装置在工作时会产生大量的热量，需要及时的进行冷却，进而确保真空镀膜装置能够正常工作。

公开号为cn209456547u的中国专利公开了一种真空镀膜装置，该专利技术能够通过冷却水对腔壁上的热量进行冷却，增加了与热量的接触面积，能够迅速将内室中的热量消散，但是，热气传递到较冷的腔壁上容易产生水珠，水珠在自身重力的作用下会滴落在膜体上，降低了镀膜质量，而且，水珠长时间依附在腔壁上容易对腔内的设备进行腐蚀，减少了设备的使用寿命。因此，本领域技术人员提供了一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱和冷却箱，所述镀膜箱的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构和用于扩散膜输送的滑台，所述冷却箱固定在所述镀膜箱的右侧，所述滑台滑动在所述镀膜箱和所述冷却箱的内壁，所述冷却箱的内部固定连接有内箱，所述内箱的内部具有冷却腔，所述内箱通过所述冷却腔与所述镀膜箱相连通，且所述冷却箱和所述内箱之间具有流动腔，所述冷却箱的上下两端分别固定连接有交叉分布的进水管和排水管，所述进水管、排水管均贯穿所述冷却箱与所述流动腔相连通，所述流动腔的内壁固定连接有输气管，所述输气管位于所述进水管的一侧，且所述输气管与所述冷却腔相连通，位于所述冷却箱的顶部的所述输气管上设有引风机，所述引风机的输出端固定连接有连接块，且所述连接块的另一端固定在所述输气管的内部，所述引风机与外部电源电性连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却腔的内壁左侧开设有进料口，所述冷却腔通过所述进料口与所述镀膜箱相连通。

作为本实用新型再进一步的方案：所述冷却腔的右侧与所述进料口对应的位置开设有出料口。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接块上开设有螺纹槽，所述连接块通过所述螺纹槽螺接固定在所述引风机的输出端。

作为本实用新型再进一步的方案：所述连接块的底部固定连接有延伸管，所述延伸管固定在所述输气管的内壁，且所述连接块通过所述延伸管与所述输气管相连通。

作为本实用新型再进一步的方案：所述延伸管的外壁固定连接有螺纹圈，所述延伸管通过所述螺纹圈螺接固定在所述输气管的内壁。

作为本实用新型再进一步的方案：所述内箱的材质为导热板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中输气管分别位于进水管和排水管的一侧，且输气管与冷却腔相连通，在使用时，镀膜箱中产生的热量通过导热板材质的内箱和冷却箱导出，冷却水从进水管进入流动腔中，并在流动腔中循环后从排水管流出，降低了内箱和冷却箱中的热量，从而对镀膜箱的外部进行降温，同时，引风机工作引动外部的空气进入冷却腔中，对冷却腔中冷却后的空气进行吹动，让冷却后的空气进入镀膜箱中，增加了镀膜箱中的空气流动的速度，从而对镀膜箱的内部进行降温，可以通过风冷和水冷同时对镀膜箱进行降温，提高了镀膜箱的冷却速度，也避免了水珠依附在腔壁上对设备造成腐蚀的情况出现，实用性强。

附图说明

图1为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置的结构示意图；

图2为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置中冷却箱内部的结构示意图；

图3为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置中冷却箱、内箱和输气管的结构示意图；

图4为一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置中连接块的结构示意图。

图中：1、镀膜箱；11、镀膜机构；12、滑台；2、冷却箱；201、流动腔；202、进料口；203、出料口；21、内箱；211、冷却腔；22、进水管；23、排水管；24、输气管；25、引风机；26、连接块；261、螺纹槽；262、延伸管；263、螺纹圈。

具体实施方式

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种用于扩散膜生产的真空镀膜装置，包括镀膜箱1和冷却箱2，镀膜箱1的内部具有用于扩散膜镀膜的镀膜机构11和用于扩散膜输送的滑台12，冷却箱2固定在镀膜箱1的右侧，滑台12滑动在镀膜箱1和冷却箱2的内壁，冷却箱2的内部固定连接有内箱21，内箱21的内部具有冷却腔211，内箱21通过冷却腔211与镀膜箱1相连通，且冷却箱2和内箱21之间具有流动腔201，冷却箱2的上下两端分别固定连接有交叉分布的进水管22和排水管23，进水管22、排水管23均贯穿冷却箱2与流动腔201相连通，流动腔201的内壁固定连接有输气管24，输气管24位于进水管22的一侧，且输气管24与冷却腔211相连通，位于冷却箱2的顶部的输气管24上设有引风机25，引风机25的输出端固定连接有连接块26，且连接块26的另一端固定在输气管24的内部，引风机25与外部电源电性连接。

在图1和图2中：在使用时，先由镀膜机构11对膜进行镀膜加工，再由滑台12对膜进行输送，镀膜机构11和滑台12的使用原理与公开号为cn209456547u的文件中第25段和第28段中的使用原理相同(蒸发装置产生的蒸镀材料能够通过出气口覆盖在被镀膜基片上，再让转动件能够绕与连接件的连接点转动，即当前一个被镀膜基片的一侧被吸附，另一侧进行镀膜，待镀膜完成后，转动件向下一个转动件转动90度，下一个转动件向上述的转动件转动90度，并吸附在被镀膜基片已镀膜的一侧，待吸附完全后再次转动回复初始状态，以完成被镀膜基片另一侧的镀膜操作)，镀膜完成后，滑台12从进料口202进入冷却腔211中进行冷却，在从出料口203出排出，同时，冷却水从进水管22进入流动腔201中，并在流动腔201中循环后从排水管23流出，降低了内箱21和冷却箱2中的热量，镀膜箱1中产生的热量通过导热板材质的内箱21和冷却箱2导出，从而对镀膜箱1的外部进行降温，同时，引风机25(型号为y5-47)工作引动外部的空气进入冷却腔211中，对冷却腔211中冷却后的空气进行吹动，让冷却后的空气进入镀膜箱1中，增加了镀膜箱1中的空气流动的速度，从而对镀膜箱1的内部进行降温，可以通过风冷和水冷同时对镀膜箱1进行降温，提高了镀膜箱1的冷却速度，也避免了水珠依附在腔壁上对设备造成腐蚀的情况出现，实用性强。

在图1、图3和图4中：在使用时，连接块26通过螺纹槽261固定在引风机25的输出端，再通过螺纹圈263将延伸管262固定在输气管24的内部，从而使连接块26与输气管24相连通，便于引风机25引动外部的空气进入冷却腔211中。

本实用新型的工作原理是：在使用时，先由镀膜机构11对膜进行镀膜加工，再由滑台12将膜从进料口202处输送进入冷却腔211中进行冷却，冷却完成后从出料口203出排出，同时，冷却水从进水管22进入流动腔201中，并在流动腔201中循环后从排水管23流出，降低了内箱21和冷却箱2中的热量，镀膜箱1中产生的热量通过导热板材质的内箱21和冷却箱2导出，从而对镀膜箱1的外部进行降温，同时，引风机25工作引动外部的空气进入冷却腔211中，对冷却腔211中冷却后的空气进行吹动，让冷却后的空气进入镀膜箱1中，增加了镀膜箱1中的空气流动的速度，从而对镀膜箱1的内部进行降温，可以通过风冷和水冷同时对镀膜箱1进行降温，提高了镀膜箱1的冷却速度，也避免了水珠依附在腔壁上对设备造成腐蚀的情况出现，实用性强。

以上所述的，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。