一种石英晶体定位镀膜治具的制作方法

文档序号:24866723发布日期:2021-04-30 09:35阅读:116来源:国知局
一种石英晶体定位镀膜治具的制作方法

本实用新型涉及石英晶体、电子元件制造装置领域,具体为一种石英晶体定位镀膜治具。



背景技术:

现有技术下石英晶体会需要经过溅射镀膜工艺,将制作好的石英晶体载放夹具上,图2所提供的镀膜夹具适用于溅射镀膜工艺,由于溅射镀膜工艺需要有一个托架,镀膜夹具需要通过螺栓固定的方式固定在托架上,而托架是方形结构,因此,谐振器生产厂家在使用镀膜夹具,一个托架通常承载多片镀膜夹具,这种夹具同样造成成本的上升而且效率提升明显。所以需要一种提高镀膜效率的夹具,如现有技术中的cn201821952266.6一种磁控溅射镀膜治具,包括支架,支架两端设有安装槽,支架本体中间均匀开有若干镀膜孔,镀膜孔边缘设有卡紧阶梯,镀膜边缘设有若干压槽,压槽一侧对应设有卡槽,压槽内部压紧有卡墩,卡墩内部固定有弹簧,弹簧内插有螺杆,螺杆底部与压槽底部固定,螺杆顶端旋紧有螺母,螺母下端与弹簧过盈贴合,结构简单,操作方便,能有效的固定镜片,大大提高了镀膜效率,较为实用。



技术实现要素:

本实用新型设计的目的是提供一种石英晶体定位镀膜治具,定位插放能力强,能提高镀膜生产效率,具有多种用途的适应能力,能自我隔开距离。

本实用新型是通过下述技术方案实现的:一种石英晶体定位镀膜治具,包括托架和镀膜夹具;其中:所述托架整体呈板状,包括载放底座,所述载放底座上设有若干条均匀设置的滑插安装条,所述滑插安装条两两之间形成滑插槽,所述滑插槽中设置有若干对磁石定位块,磁石定位块与磁石定位块之间的距离≠0cm,镀膜夹具底部插入每对磁石定位块形成的夹缝中被立直固定;

所述镀膜夹具包括山字架、t字夹板,l字夹板,所述山字架设置至少一个或多个阵列整体塑形连接;山字架的中央竖向塑形设置t插枝板,两个边侧设置l插枝板,所述t字夹板通过夹合螺丝正反设置t字夹板形成t字夹滑槽架,所述l插枝板通过夹合螺丝正反设置l插枝板形成侧边夹滑槽架,t字夹滑槽架和侧边夹滑槽架插接设置石英载放阵列板。

作为优选,所述石英阵列板包括固定板和面盖板,所述固定板和所述面盖板之间自下而上依次贴合有下电极板、晶片限位板和上电极板;所述晶片限位板上开设有多个晶片限位孔,所述上电极板和所述下电极板在与所述晶片滑插槽对应处设有电极孔。

作为优选,所述镀膜夹具沿着所述滑插槽安装到所述托架上。

作为优选,所述晶片限位孔与与其相对应的上下电极板的电极孔组成一个石英晶片镀膜工位。

作为一种优选的方案,所述滑插安装条的宽度≤10mm。由于在每次镀膜时滑插安装条都会镀上金属,因此本方案通过限定安装条的宽度,降低镀膜材料的无效耗用率。

作为优选,所述镀膜夹具可以设置横向插入托架中,也可以是纵向插入托架中。

作为优选,所述山字架高度为22cm,山字架的两相对的t字夹板所述晶片滑插槽的宽度为10.5cm。

作为优选,所述滑插安装条为不锈钢钢条。

作为优选,至少位于两端的滑插安装条的顶端设有倒角。

作为优选,所述滑插安装条的数量为4条,t字夹板两条,l字夹板两条。

通过采用上述技术方案,本实用新型的有益效果是:通过采用滑槽的方式,在实际安装石英晶片镀膜夹具时,只需将石英晶片镀膜夹具沿着滑插安装条的滑插槽下滑至底部即可完成安装,在需要卸下石英晶片镀膜夹具时,只需将石英晶片镀膜夹具沿着滑插安装条的滑插槽上滑出取出即可,无需担心安装过程中会出现遮挡镀膜夹具上的电极孔,便于操作者快速装卸镀膜夹具,且保证了镀膜质量,本镀膜夹具能适应多种石英载放阵列板,进行跟换磁石定位块的规格更换调整即可,石英载放阵列板的规格可以进行快速的调整,所以本专利既能应用于蒸镀镀膜方式,又能应用于溅射镀膜方式,降低了生产成本。

附图说明

图1为整体结构立体图。

图2为托架结构俯视图。

图3为整体结构侧面图。

图4为整体结构解剖面图。

图5为镀膜夹具结构图。

图6为石英载放阵列板结构图。

图中:托架(1)、镀膜夹具(2)、载放底座(3)、滑插安装条(4)、滑插槽(5)、山字架(6)、t字夹板(21)、l字夹板(7)、t插枝板(8)、l插枝板(9)、夹合螺丝(10)、t字夹滑槽架(11)、侧边夹滑槽架(12)、石英载放阵列板(13)、固定板(14)、面盖板(15)、下电极板(16)、晶片限位板(17)、上电极板(18)、晶片限位孔(19)、磁石定位块(20)、螺丝夹合固定安装孔(22)。

具体实施方式

下面通过实施例,结合附图,对本实用新型的技术方案作作为优选具体首先如图1所示的一种石英晶体定位镀膜治具,包括托架(1)和镀膜夹具(2);其中:所述托架整体呈板状,包括载放底座(3),所述载放底座(3)上竖向设有若干条均匀设置的滑插安装条(4),每两条滑插安装条(4)之间的间距为10cm,这样就形成了所述滑插安装条(4)两两之间形成滑插槽(5),也就是说滑插槽(5)是10cm宽,所述滑插槽(5)中设置有若干对磁石定位块(20),每对磁石定位块与磁石定位块之间的距离为2cm,这个2cm的宽度就是镀膜夹具的最大厚度,我们这里一般设计成1.9cm;

进一步的如图1所示,在滑插槽(5)我们一般设置4对,并且两对成为1组,它们之间的距离要小于石英载放阵列板的宽度至少2cm,这样方便我们确定石英载放阵列板插入镀膜夹后的观看磁石定位块(20)和石英载放阵列板、镀膜夹具三者之间的位置即可大致了解相对插接的位置是否准确了;此外磁石具有吸力能帮助固定位置;

如图4、5所示本实施例中:所述镀膜夹具包括不锈钢制作的山字架(6)、t字夹板(6),l字夹板(7),如图5所示所述山字架设置1个大阵列会整体塑形3个一体连接;山字架的中央竖向塑形设置t插枝板(8),两个边侧设置l插枝板(9),也就是多个e字形状的架构,滑插安装条的数量为4条,t字夹板(6)两条,l字夹板(7)两条,所述t字夹板(6)通过夹合螺丝(10)正反夹合在t字夹板(6)的外壁上,t字夹板(6)会比t插枝板(8)大,比例为1:1.2,这样前后夹上以后就会形成间距,这个间距就会形成一个槽体,这就是两者形成t字夹滑槽架(11)结构,t字夹滑槽架(11)形成的滑槽中间可以用来夹物件,也就是我们后面所述的石英阵列板,所述l插枝板(9)通过夹合螺丝(10)正反设置l插枝板(9)形成侧边夹滑槽架(12),t字夹滑槽架(11)和侧边夹滑槽架(12)插接设置石英载放阵列板(13);所有这种滑槽结构能迅速的插接载放石英载放阵列板。

如图6所示,所述石英载放阵列板(13)包括固定板(14)和面盖板(15),所述固定板(14)和所述面盖板(15)之间自下而上依次贴合有下电极板(16)、晶片限位板(17)和上电极板(18);所述晶片限位板上开设有多个晶片限位孔(19),所述上电极板(18)和所述下电极板(16)在与所述晶片滑插槽(5)对应处设有电极孔(19)秒,最后这个多层结构会因为上述板都设置有螺丝夹合固定安装孔(22),利用工字螺母窜行夹合连接固定即可。石英载放阵列板和现有技术的结构基本类似,需要适应不同厚度的石英晶片的时候本技术中的石英载放阵列板因为是多载片形式的,所以我们只需要继续让如多层下电极板(16)和上电极板(18)即可实现厚度的控制,非常方便。在进行工艺的时候我们将石英载放阵列板插入t字夹滑槽架(11)形成的滑槽中间夹住,或者t字夹滑槽架和侧边夹滑槽架形成的滑槽中即可,如图4所示,我们可以多层堆叠,也可以只插入1层石英载放阵列板,操作也比较自由,可以先插入石英载放阵列板安装好镀膜夹具的组成结构,再将载放有石英载放阵列板的镀膜夹具从滑插槽的开口反向插入即可完成安装,安装完后将整个镀膜治具放入镀膜器中即可。

作为优选,所述镀膜夹具沿着所述滑插槽(5)安装到托架上。

作为优选,所述晶片限位孔与其相对应的上、下电极板的电极孔组成一个石英晶片镀膜工位。这样的定位方法也能用肉眼实现定位。

作为优选,所述镀膜夹具可以设置横向插入托架中,也可以是纵向插入托架中。

作为优选,所述山字架高度为22cm,山字架的两个相对的t字夹板所述晶片滑插槽的宽度为10.5cm。

作为优选,所述滑插安装条为不锈钢钢条。

作为优选,至少位于两端的滑插安装条的顶端设有倒角。倒角一般是梯形或弧形,这样可以防止尖锐割伤,也便于有一定的间隙便于取出。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利。

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