一种真空镀膜机用机腔衬板的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机零部件技术领域，具体为一种真空镀膜机用机腔衬板。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材，现有技术中，真空镀膜机在工作时，喷射的靶材会有大量飞溅到机腔衬板上，且不可回收，从而造成靶材的浪费，为此，本实用新型提出了一种真空镀膜机用机腔衬板。

技术实现要素：

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机用机腔衬板，具备回收靶材、节约资源等优点，解决了真空镀膜机在工作时，喷射的靶材会有大量飞溅到机腔衬板上，且不可回收，从而造成靶材的浪费的问题。

（二）技术方案

为实现上述回收靶材、节约资源的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机用机腔衬板，包括机腔衬板主体，所述机腔衬板主体的底部固定安装有固定支杆，所述机腔衬板主体的内部固定安装有加热电网，所述机腔衬板主体的顶部固定安装有防粘隔膜，所述机腔衬板主体的中部固定安装有回流管，所述机腔衬板主体的顶部且位于回流管的左右两侧均固定安装有安装座，两个所述安装座相对的一侧固定安装有气动伸缩杆，两个所述气动伸缩杆相对的一端固定安装有旋转马达，两个所述旋转马达输出轴的表面均固定安装有夹持板，两个所述夹持板相对的一侧均固定安装有夹持针，所述气动伸缩杆的内部固定安装有控制器，所述固定支杆的表面固定安装有支撑座，所述支撑座的顶部固定安装有气缸。

优选的，所述机腔衬板主体的材质为烤陶瓷，机腔衬板主体的形状为弧形，机腔衬板主体的中部开设有与回流管对应的管孔以及与加热电网对应的安装槽，固定支杆的数量为两个，固定支杆为方形条。

优选的，所述加热电网的材质为紫铜，加热电网的数量为两个，两个加热电网均为弧形。

优选的，所述安装座的材质为铝合金，安装座的侧视形状类似直角三角形，安装座的表面固定安装有与防粘隔膜相同材质的隔膜。

优选的，所述支撑座的侧视形状为直角梯形，支撑座的材质为铝合金，支撑座的数量为两个，两个支撑座分布在两个固定支杆相背的一侧，气缸通过气管与气动伸缩杆固定连接。

优选的，所述夹持板的材质为铝合金，夹持板的形状为圆形，夹持板的数量为两个，两个夹持板相对的一侧等距固定安装有三个不锈钢材质的夹持针，控制器的数量为两个，两个所述控制器型号相同，控制器与旋转马达电连接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种真空镀膜机用机腔衬板，具备以下有益效果：

该真空镀膜机用机腔衬板，整个机腔衬板主体为弧形，当靶材飞溅到机腔衬板主体的时候，弧形的机腔衬板主体有利于汇集在一起，并且在机腔衬板主体的表面安装了防粘隔膜，避免了靶材粘附，此外，在机腔衬板主体的内部安装了加热电网，加热电网能够对机腔衬板主体加温，从而有效的保证机腔衬板主体表面的靶材始终为液体状态，更加利于靶材流动汇集到中部，并从回流管中导出，从而实现了回收靶材的目的，有效的节省了靶材消耗，另外，通过夹持针夹持基片，减少了遮挡面积，能够使得镀膜更加全面，且旋转马达可控制夹持板进行旋转，进一步提升镀膜的全面性，故此本实用新型提出了一种真空镀膜机用机腔衬板。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1机腔衬板主体、2固定支杆、3加热电网、4防粘隔膜、5回流管、6安装座、7气动伸缩杆、8旋转马达、9夹持板、10夹持针、11控制器、12支撑座、13气缸。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种真空镀膜机用机腔衬板，包括机腔衬板主体1，机腔衬板主体1的底部固定安装有固定支杆2，机腔衬板主体1的内部固定安装有加热电网3，加热电网3的材质为紫铜，加热电网3的数量为两个，两个加热电网3均为弧形，机腔衬板主体1的顶部固定安装有防粘隔膜4，机腔衬板主体1的中部固定安装有回流管5，机腔衬板主体1的材质为烤陶瓷，机腔衬板主体1的形状为弧形，机腔衬板主体1的中部开设有与回流管5对应的管孔以及与加热电网3对应的安装槽，固定支杆2的数量为两个，固定支杆2为方形条，机腔衬板主体1的顶部且位于回流管5的左右两侧均固定安装有安装座6，安装座6的材质为铝合金，安装座6的侧视形状类似直角三角形，安装座6的表面固定安装有与防粘隔膜4相同材质的隔膜，两个安装座6相对的一侧固定安装有气动伸缩杆7，两个气动伸缩杆7相对的一端固定安装有旋转马达8，两个旋转马达8输出轴的表面均固定安装有夹持板9，两个夹持板9相对的一侧均固定安装有夹持针10，气动伸缩杆7的内部固定安装有控制器11，夹持板9的材质为铝合金，夹持板9的形状为圆形，夹持板9的数量为两个，两个夹持板9相对的一侧等距固定安装有三个不锈钢材质的夹持针10，控制器11的数量为两个，两个控制器11型号相同，控制器11与旋转马达8电连接，固定支杆2的表面固定安装有支撑座12，支撑座12的顶部固定安装有气缸13，支撑座12的侧视形状为直角梯形，支撑座12的材质为铝合金，支撑座12的数量为两个，两个支撑座12分布在两个固定支杆2相背的一侧，气缸13通过气管与气动伸缩杆7固定连接。

综上所述，该真空镀膜机用机腔衬板，整个机腔衬板主体1为弧形，当靶材飞溅到机腔衬板主体1的时候，弧形的机腔衬板主体1有利于汇集在一起，并且在机腔衬板主体1的表面安装了防粘隔膜4，避免了靶材粘附，此外，在机腔衬板主体1的内部安装了加热电网3，加热电网3能够对机腔衬板主体1加温，从而有效的保证机腔衬板主体1表面的靶材始终为液体状态，更加利于靶材流动汇集到中部，并从回流管5中导出，从而实现了回收靶材的目的，有效的节省了靶材消耗，另外，通过夹持针10夹持基片，减少了遮挡面积，能够使得镀膜更加全面，且旋转马达8可控制夹持板9进行旋转，进一步提升镀膜的全面性，故此本实用新型提出了一种真空镀膜机用机腔衬板。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。