工件磨削装置的制作方法

文档序号:3391656阅读:131来源:国知局
专利名称:工件磨削装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种工件磨削装置,它至少带有一个使工件相对磨轮产生振荡运动的机构,该机构具有至少一个超声换能器和一个在超声换能器与工件之间的振荡传递件。
这种类型的装置已在杂志“Werkstattechnik-Zeitschrift fur industrielle Fertigung”第60期(1970)第10号第621页的文章“借助超声振荡磨削磁体合金”中进行了描述,这在下面还要进一步说明。
众所周知,工件磨削用于获得要生产的工件所期望的形状的尺寸精度以及特定的表面质量,其中、根据工件的几何形状的使用目的有外圆磨削、内圆磨削、圆周磨削、端面磨削等。
为了获得期望的表面质量,要用相当高的切削速度进行加工。尽管使用金刚石磨轮,但磨轮还是很快磨损,从而使工件必要的加工时间明显提高。特别是陶瓷材料工业应用的增长,对这些工件磨削装置提出了高要求,因为其所希望的形状及尺寸精度以及表面质量一般都非常高。
这种特殊要求出现在特别用于介质润滑压缩机活塞的陶瓷滑动轴承的表面加工中。其中需要通过相应的磨削加工达到一个表面质量,它保证滑动轴承在实际使用时滑动面具有非常小的表面摩擦。
由DE-Ps915769可知一种机床,在加工过程中工件通过一个压电或磁致超声换能器高频振荡变位,该振荡也可以垂直于加工方向。通过工件的附加振荡运动刀具的寿命得以提高,降低了工件加工的时间,且提高了加工工件的表面质量。
由JP-63-312051A可知,在陶瓷材料磨削时,工件在进给方向高频振荡变位。
在JP-61-61759A中给出了一种录相机磁头磨削装置,其中、通过一个压电超声换能器而使工件垂直于加工方向振荡位移。在此,压电振荡器的运动由一个传动杆传递到工件上。这种公知装置的缺点是工件振荡的振幅较小,它基本上等于压电振荡器振荡运动的振幅。
由上述杂志“Werkstattechnik-Zeitschrift fur industrielle Fertigung”第60期(1970)中引用的文章“借助超声振荡磨削磁体合金”可知一种按照权利要求1前序部分的装置,它借助超声振荡、特别用于磨削磁体合金。其中,工件的振荡方向垂直于加工方向。工件夹在一个固体件和一个顶杆之间,该顶杆与一个磁致超声换能器连接并将振荡传递到工件之上。该装置的缺点也是工件的振荡运动的振幅基本等于磁致超声振荡器振荡运动的振幅,就是说相当小。
本发明的任务是改进权利要求1前序部分所述的装置,以使该装置提高磨削效率和可再现的磨削工件的表面质量。
根据在发明,上述任务由下述方案来完成,即振荡传递件是一个振荡杆,且在超声换能器与振荡杆之间至少设有一个超声共振腔。
在振荡传递杆和超声换能器之间的超声共振腔中实现振荡振幅的转换,该振荡由超声换能器产生并经超声共振腔传导到振荡传递件上。由于振荡传递件是一个振动杆,所以就产生一个附加的振幅转换。振荡杆一方面能提高超声振荡的振幅,一方面可使振荡准确定向。迄今已知的出现在超声振荡中的振荡传递件不是在前述的一个确定的方向上振荡,而是在多个方向振荡,这不是磨削所希望的,因为工件应当仅垂直于加工方向振荡。根据本发明,工件仅在一个精确的方向以高振幅振荡,这可明显提高装置的磨削效率。
通过磨削工件(它可以与磨轮旋转同向或反向回转),一种这样的、例如在外圆磨削时垂直于旋转磨轮切向速度分量的振荡运动,可以使各磨粒质点产生的轨迹为一个正弦形轨迹,这样就可以使相邻磨粒的磨迹重叠,而不会在工件的表面产生突出的凹痕,并因此使被磨削工件表面的表面质量提高到传统磨削方法所不能达到的程度。
各磨粒的载荷方向不再保持在切削方向不变,而是在一个振荡周期中变过一个给定的加载角度,因此、例如在制造陶瓷滑动轴承时,可以使由本发明装置加工出的滑动轴承表面具有极少量的“摩擦面积单元”,它们象“岛式”的分布在滑动轴承的表面。
上述陶瓷滑动轴承在实际使用时,在各摩擦面之间形成“气垫”式的表面区,从而使产生的总表面摩擦大大降低。
在个别情况所要产生的振荡频率,特别是取决于工件表面所期望的外形结构、特定材料的性质、磨轮的切削速度等,其中,振荡运动可被叠加到工件相对磨轮的旋转运动之上。
工件振荡运动的振幅通常取决于在具体情况下所选择的磨轮的切削速度,一般是该振幅大约等于磨轮行程的一半。
特别是在外圆磨削时,激发能被沿轴向输到在轴向可移动支承着的磨削工件上。
其中有利的方式是在工件的至少一个端侧区域实现激发能的输入。
从属权利要求的特征构成了本发明有利的结构。
在本发明装置按照权利要求3的有利的结构中,产生工件振荡运动的机构具有两个超声共振腔,该共振腔与至少一个超声换能器相接,其中,第一个共振腔填有液体,第二个共振腔充有气体,一个隔膜将第一共振腔与第二共振腔分开。
在此,更有利的是权利要求4,给产生工件振荡运动的机构设置一个外壳,在该外壳内设有所述的至少一个超声换能器、所述的至少两个超声共振腔、所述隔膜以及振荡杆,其中、外壳在其避开振荡杆的一端具有一个连接件,用于与磨削装置相连,特别是该连接件可以这样构成,即可以固定安装在磨削装置的尾座或床头上。
在本发明装置的另一个结构中,所述的至少一个超声换能器是一个压电陶瓷换能器,这在一定的使用条件下当两个超声换能器在工件振荡运动机构的外壳内顺序安装时,可能是有利的。
如前所述,与超声换能器基本上直接相接的第一共振腔填充有一种液体,最好是一种预聚合液体,这样一种预聚合液体最通常的是理解为一种具有大分子结构的液体,它具有完全确定的给定的表面张力。在第一共振腔中的这种预聚合液体主要用于在超声换能器产生的选定的超声波频率范围内进行振幅的转换。
正如前面已经提到的,必要时可以推荐将两个相同形式的、特别是两个压电陶瓷或磁致换能器串联,因为通过这样一种措施可简单地获得所期望的超声波能量的基波振幅。此外,由超声换能器的几何结构基本确定了在特定情况下选择的超声波频率,该频率按使用情况可特别位于约50HZ至40MHZ的频率范围内。
根据本发明装置另外的有利结构,超声共振腔、也即特别是充有液体的第一共振腔和与其相连并充有空气或气体的第二共振腔可共同构成一个旋转抛物线面的形式,以使产生的超声波得到必要振幅增强,其中,所产生的抛物线腔的焦点最好位于将上述超声共振腔分开的隔膜与上述至少一个超声换能器的安装平面之间。
在这样一种抛物线腔的情况下,充有液体的第一共振腔的抛物线形状由一个预定的安装于外壳之内的内壳的一段所构成,而位于上述隔膜之后的充有空气或气体的第二共振腔则由振荡杆的一个端面构成。
此外,本发明的装置还有另外一种有利的结构,即在装于外壳之内的内壳的另外一段之内,于轴向顺序装有两个轴承,用于可回转且无间隙地支承振荡杆。
此外,该振荡杆最好具有一个由产生工件振荡运动的机构伸出的端部,该端部特别用于与工件夹紧装置的一个附加的端部进行可分连接。
因此,在前述本发明的工件磨削装置中为使工件产生振荡运动,至少使用了一个超声波源,其超声波能量用作工件的激发能。在此,最好由两个串装的压电陶瓷超声换能器在上述预聚合液体中产生给定频率,例如1MHZ的超声波,所述预聚合液体充满连于超声换能器之后的第一共振腔。然后,超声波由相应振荡的隔膜传递到后续充有空气的第二共振腔。第二共振腔的气垫将其超声波能量传递到直接与第二共振腔相邻的振动杆上,振荡杆大致为一个杆状件,它由高声导率的材料制成,例如陶瓷材料或淬火钢。
振荡杆由两个从属的在轴向顺序安装的轴承可回转且无间隙地支承着,特别是第一个轴承由一个盖(外加螺母)压靠在装于外壳之内的内壳上,而第二个轴承则借助一个拧在振荡杆上的、更精确地说是拧在振荡杆伸出,产生工件振动机构端部的锁紧螺母靠住上述外加螺母而固定。如上所述,由于振荡杆的这个端部与要磨削工件的夹紧装置的一个附加端部相连,由振荡杆传递的超声波能量则以给定的频率转变成跟随的工件相应的振荡运动。
由于两共振腔基本呈抛物线结构,从而可保证所产生的超声波能量的振幅得到必要的增强。
没有经振荡杆转换为相应的机械振荡并传递到工件上的剩余超声波能量,由于直接同振荡杆串联的两共振腔的抛物面形状(其实际相同于一个抛物面反射镜)不被转换成热能,而是被反射到第一共振腔预聚合液体内的一个焦点上并被预聚合液体吸收,从而预聚合液体变热。
在本发明的另一个结构中,产生工件振荡运动的机构还与至少一个冷却装置及所属的冷却通道相组合,以使第一共振腔内的预聚合液体循环和冷却,从而保证温度不变。
下面参照附图及实施例对本发明作进一步描述。


图1为按照本发明的装置用于工件外圆磨削的结构示意图。
图2是使要磨削的工件产生一个振荡运动的机构的剖视示意图。
图3是用于磨削的本发明装置的一个部分剖视的示意图,其中、在尾座和床头之间夹紧的工件的两侧各有一个相应于图2所示机构的使工件产生振荡的机构。
图1中主要示出了借助本发明的装置,对由陶瓷材料构成的工件23进行外圆磨削的原理,其中、示意性地部分画出了一个磨轮24,它可以绕水平旋转轴A1在旋转方向pf1旋转。
磨轮24最好是一种金刚石磨轮,工件23直接安置在磨轮24之下,工件23可绕一个平行于轴A1的轴A2旋转,其旋转方向由箭头pf2表示。
显然,在工件表面的磨削加工中,磨轮24和工件23是绕其各自的旋转轴A1和A2呈相反方向转动的。磨轮24旋转时,其几何形状不确定的刃口以相当高的切削速度相对于工件23运动。此外,磨轮24还以通常方式进行摆动,如图1中箭头pf4和pf5所示。通过磨轮的这种摆动,磨轮24同时沿着要磨削工件23的表面来回进给。
与工件23的一个端侧相对,装有一个机构20,它实际上是一个振荡发生器,用于使要磨削的工件23相对于磨轮24的刃口产生一个振荡运动。机构20实际上是提供一种激发能,如图1中箭头EA所示的,该激发能被接入工件23中并由此而使工件23在磨削加工过程中按照双箭头pf3方向于轴向来回振荡。工件23的这样一种振荡运动、特别是具有高频率的振荡运动实际上是与它相对于磨轮24的旋转运动相重叠的。工件振荡运动的频率最好在50HZ和40MHZ之间。其振幅应这样调节,即它大致相当于磨削过程中磨轮24摆动行程的一半。
用于使工件产生振荡运动的机构20最好是一个超声波发生器,其超声能用作工件23的激发能EA。下面还要根据图2和图3对其作进一步说明。
图2示出了由标号20表示的机构的一个优选的实施例,它用于使图1所示工件23相对于图1中磨轮24的刃口产生一个振荡运动。
因此,图2中的机构20事实上与图1中的机构20一样。在实际中,该机构20是安装在磨床内工件23的夹紧区域的。
在图2中产生工件振荡运动的机构20,一般具有一个圆形外壳11,在外壳11内包含有下列部件两个直接顺序安装的超声换能器1,其最好是压电陶瓷超声换能器,与其相接的是一个由两部分共振腔2′和2″构成的第一超声共振腔2,一个第二超声共振腔4与部分共振腔2″相连,一个隔膜3将第一共振腔2与第二共振腔4分开,一个振动杆5的一端直接与第二共振腔4相连,而另一端则与一个图3中所示的工件23的夹紧装置22相连。在避开振动杆5的区域,外壳11延伸成一个大致为杆状的连接件12,连接件12用于将机构20与磨床的一个尾座或一个床头相连,这还要在下面根据附图2予以详细描述。
在外壳11的内部,可移动地装有一个带有两个内壳段8a和8b的内壳8,隔膜3夹在两内壳段8a和8b之间并由内壳段8b粘住。直接位于两个压电陶瓷超声换能器1之后的第一共振腔2的分共振腔2′和2″中填有预聚合(prepolymeren),液体而隔膜3之后的第二共振腔4则仅包含空气,在第一共振腔2中的聚合物液体是一种具有大分子结构的液体,它主要用于在两压电陶瓷超声换能器1产生的超声波频率范围内进行振幅转换。由两压电陶瓷超声换能器1的特定的几何结构来预先确定在实际应用的特定条件下所必需的超声波频率,如1MHZ。两压电陶瓷超声换能器1(如图2所示)各经过一条导线40和41与电源42相连,例如其每个施加的电压为2000伏。由此,压电陶瓷超声换能器1被激发而在超声波范围内产生振荡,其振幅大小为每个换能器0.023mm。
由图2可进一步看到,两个顺序连接的第一和第二超声共振腔2和4大致共同呈一个旋转抛物线面形,其中生成的抛物面共振腔的焦点45,最好位于隔膜3和压电陶瓷超声换能器1之间。借助该抛物线腔体结构实现由压电陶瓷超声换能器1所产生的超声波必要的振幅增强。由于第一个共振腔2的抛物线壁(更精确地说是分共振腔2″的抛物线分壁)是由内壳段8b所构成的,那么与其相接的第二共振腔4的抛物线壁4′则由邻近的振动杆5的端侧表面构成。
基本呈杆状且旋转对称的振动杆5可转动且无间隙地支承在机构20的内壳8之内,为此目的,在内壳段8a之内于轴间顺序地装有两个轴承,即在图2中从右向左方向的第一轴承6b和第二轴承6a,它们由一个置入内壳段8a之内的隔离或密封环44相互分开。第一轴承6b借助一个可由外拧到内壳段8a上的外加螺母7压靠在内壳段8a上,第二轴承6a则借助一个可拧到振动杆5之上且特别是可拧到由机构20向左伸出的振动杆5的端部5′之上的锁紧螺母9,靠住外加螺母7而固定。
振动杆5的端部5′,由图3可更清楚地看到,与要加工工件23的夹紧装置22的一个附加的端部22a可拆卸地连接。
由于这种连接,由振动杆5传递的超声波能量在给定的频率下被转变成按照箭头pf3的工件23的相应的振荡运动。此外,没有经振动杆5转换成相应的机械振动和传递到工件23上的多余的超声波能量,由于两共振腔2和4的抛物面结构、特别是由于与振动杆5直接相连的充有空气的共振腔4的抛物面,将不转换成热能,而是反射到焦点上,例如在第一共振腔2中的预聚合液体内的焦点45,然后该能量由液体吸收,液体变热。尽管能够保持这些液体为常温,但还是采取了特别的冷却措施,这些措施特别是包括机构20(其同样可从图3中看到)经过入口与出口通道10,以及连接管路28和28′与一个冷却机构27相连,这样,就能够使在第一超声波共振腔2内的预聚合液体连续循环和冷却(液体流量例如为4 l/min)。
此外,在图3中示出了一个完整的磨床,用于对上述陶瓷材料的工件23进行外圆磨削,其中,工件23具有表面23′。可旋转支承的金刚石磨轮24用于材料磨除,它可以绕其轴线A1在箭头pf1的方向旋转位移。
所以,几何形状不确定的金刚石磨轮24的磨刃25将以给定的高切削速度(例如30m/s)相对于工件23运动。同时(如前面已根据图1所述的)工件23在磨削过程中按照箭头pf3进行振荡运动。为了实现上述操作,按照图3,磨床的尾座21与一个产生工件23振荡运动的第一机构20相连,此外,工件夹紧装置22一方面与第一机构20相连,另一方面与第二机构30相连。
前述的使工件23产生振荡运动的两个机构20和30在结构上完全相同于已在图2描述的机构20,所以在两个机构20和30中所有一致的部件用相同的标号来表示。机构20和30在图3的磨削装置中以如下形式构成,即一方面第一机构20的振动杆5向左伸出的端部5′与工件夹紧装置22的一个附加段22a固定连接,另一方面,在工件夹紧装置22相对的一侧,第二机构30的振动杆5向右伸展的端部5′有间隙地伸入工件夹紧装置22附加的端部22b内,以允许相对运动。
为此目的,在工件夹紧装置22的端部22b内设置了一个这样尺寸的凹槽31,它不仅可以实现相对于振动杆5的端部5′的旋转,而且还能使工件夹紧装置22及工件23在轴向A2具有一定的轴向位移。
包含在两机构20和30中的压电陶瓷超声换能器1的激发是通过相应设置的,但因简单而未在图3中示出的电压源来实现的。在此,借助相应的线路转换措施可以使机构20和30中的两面的压电陶瓷超声换能器1实现Π相位移控制。
这样,超声波能量通过一定的相位差被传递到机构20和30中两面的振动杆5上,以便振荡方向与在两面对置的相同机构20和30中的超声波能量相协调。
在图3中还进一步示出,磨削装置的床头26与驱动装置43相连,以使床头26能够按箭头pf2的方向旋转。在图3左侧的第二机构30的外壳11还带有一个连接机构12′,它用于将机构30与床头26可旋转地刚性连接。
相类似,在相对的一端第一机构20的外壳11通过附加其上连接机构12与尾座21刚性连接。
在工件夹紧装置22的左侧,在那里的端部22b经过一个(没有示出的)转矩同步器与第二机构30相连接。为此目的,特别设置了一个(图3中未示出)这样的“鸡心夹头”,当床头相应地旋转位移时,工件夹紧装置22能够与第二机构30的外壳11一起旋转。从而通过床头26的旋转传动在图3的磨削装置中实现了下列旋转运动在所示第二机构30的左侧外壳11的旋转,即相对于可旋转地支承其内的振动杆5的转动;经过上述“鸡心夹头”与机构30相连的工件夹紧装置22包含工件23在内的旋转;与工件夹紧装置22的右端部22a刚性连接的第一机构20的振动杆5的旋转,其中,振动杆5能够相对于第一机构20的外壳11自由转动,正如根据图1已详细描述的那样。
由于在图3右侧的第一机构20的外壳11与磨削装置的固定尾座21固定连接,因此可容易地接出各种配线等。
特别是,包含在第一机构20的第一共振腔2内的液体在外面被冷却。为此,经过设置在壳体11之内的入口和出口通道10以及相应设置的通到冷却装置27的连接管路28和28′,能够实现必需的液体循环。
在另一端安装的第二机构30也设有相应的液体入口及出口通道10′。
对图3所示的磨削装置的结构,还可以进行进一步地变化,即在左侧使工件23产生振荡运动的第二机构30,不具有超声换能器1,而在充有液体的第一机构20和第二机构30的共振腔2之间设置一个连接管道29,从而使在两侧的机构20和30内的共振液体永久地保持相互连通,这样,由第一机构20中的超声换能器1产生的超声波能可以经过管道29中的液体传递到第二机构30的共振腔2中。
考虑到由液体内的减震而引起的λ/2相位差,连接管道29这样确定,即由渡越时间延迟产生一个相对的超声波相位差Π。这样,就可根据相位移对第一和第二机构20和30进行控制,这与前述的实施例相似。
对前述的图3装置的结构还能够作出进一步的改变,即设置一个电磁活动线圈代替用于使工件23产生振荡运动的第二机构30,电磁活动线圈一方面与工件夹紧装置相连,另一方面与床头相连。
在这种变化下,仅在图3的右侧有一个使工件23产生振荡运动的机构20,如根据图2所述的那样。
此外,还可以在图3的磨削装置中将产生工件23振荡运动的第一和/或第二机构20和30各由一个磁致伸缩振荡器取代。在这种情况下,例如尾座21可以与一个第一磁致伸缩振荡器相连,床头26与一个第二磁致伸缩振荡器相连。然后,更进一步地将工件夹紧装置22一方面与第一磁致伸缩振荡器相连,另一方面与第二磁致伸缩振荡器相连,以使在工件夹紧装置22内的工件23以根据图1和图3所述的类似方式在尾座21与床头26之间的区域振荡变位。
此外,上述发明不仅可用于外圆磨削,而且可用于平面磨削或线磨削,并特别适用于陶瓷材料工件的磨制。
权利要求
1.用于磨削工件(23)的装置,它至少带有一个使工件(23)相对一个磨轮(24)产生振荡运动的机构(20),机构(20)至少具有一个超声换能器(1)和一个在超声换能器(1)与工件(23)之间的振荡传递件(5),其特征在于,振荡传递件(5)是一个振荡杆,并且在超声换能器(1)和振荡杆(5)之间至少设有一个超声共振腔(2,4)。
2.按照权利要求1的装置,其特征在于,所述的至少一个超声换能器(1)是一个压电陶瓷或磁致伸缩换能器。
3.按照权利要求1或2的装置,其特征在于,在超声换能器(1)和振荡杆(5)之间装有一个第一和一个第二超声共振腔(2,4),一个隔膜(3)将第一和第二共振腔(2,4)相互分开,第一共振腔(2)充有液体,而第二共振腔(4)充有空气或气体。
4.按照权利要求3的装置,其特征在于,它包括一个外壳(11),超声换能器(1)、超声共振腔(2,4)、隔膜(3)以及振荡杆(5)均位于外壳(11)内,外壳(11)在其避开振荡杆(5)的一端具有与磨削装置连接的连接件(12,12′)。
5.按照权利要求1至4之一的装置,其特征在于,在外壳(11)内顺序装有两个超声换能器(1)。
6.按照权利要求3或4的装置,其特征在于,第一共振腔(2)充有预聚合液体。
7.按照权利要求3或4的装置,其特征在于,共振腔(2,4)一起至少部分具有旋转抛物线面的形式,以实现所产生的超声波振幅的增强,其中,旋转抛物线面的焦点位于隔膜(3)和超声换能器(1)之间。
8.根据权利要求7的装置,其特征在于,第一共振腔(2)的抛物线壁由装于外壳(11)内的内壳(8)的一个第一内壳段(8b)构成,第二共振腔(4)的抛物线壁由振动杆(5)的端面构成。
9.按照权利要求8的装置,其特征在于,装于外壳(11)内的内壳(8)的第二内壳段(8a)中于轴间顺序地设有用于振荡杆(5)可转动且无间隙支承的轴承(6a,6b)。
10.按照权利要求1至9之一的装置,其特征在于,机构(20)与至少一个冷却装置(27)及所属的冷却通道(10,28,28′)相结合,以便循环和冷却超声共振腔(2)中的液体。
11.按照权利要求1至10之一的装置,其特征在于,振荡杆(5)具有一个与机构(20)伸出的端部(5′),它尤其用于同工件(23)的夹紧装置(22)的一个端部(22a,22b)的可分连接。
12.用于磨削工件的装置,特别是外圆磨削装置,根据权利要求1至10的任一权利要求,其特征为下述特征的组合a)一个尾座(21),与一个产生工件(23)振荡运动的第一机构(20)相连,机构(20)具有至少一个超声换能器(1)和一个在超声换能器(1)和工件(23)之间的振荡传递件(5)b)一个床头(26),它与一个产生工件(23)振荡运动的第二机构(30)相连,机构(30)与第一机构(20)具有相同的结构;c)一个工件夹紧装置(22),它一方面可与第一机构(20)相连,另一方面可与第二机构(30)相连,从而使夹持在夹紧装置(22)中的工件(23)在尾座(21)和床头(26)之间振荡变位。
13.按照权利要求12的装置,其特征在于,在第一机构(20)和第二机构(30)的填充有液体的共振腔(2)之间设置一个代替超声换能器(1)的连接管路(29),作为产生工件振荡运动的第二机构(30)。
14.按照权利要求13的装置,其特征在于,连接管路(29)这样确定,即通过它对应于一个相对的超声-相位差Π产生一个渡越时间延迟,从而可根据相位移对第一和第二机构(20)和(30)进行控制。
15.根据权利要求12至14之一的装置,其特征在于,可用一个电磁活动线圈代替使工件(23)产生振荡运动的第二机构,该电磁活动线圈一方面与夹紧装置(22)相连,一方面与床头(26)相连。
全文摘要
一种利用磨轮(24)或类似物磨削工件、特征是磨削由陶瓷材料构成的工件的装置,在磨削时,工件(23)垂直于加工方向附加地具有一个振荡运动,产生工件(23)振荡运动的机构(20)具有至少一个超声换能器(1),其超声波能量用作工件(23)的激发能。在超声换能器(1)和一个将振荡传到工件(33)上的振荡杆(5)之间设有用于振幅转换的超声波共振腔(2,4)。
文档编号B24B1/04GK1078676SQ9310252
公开日1993年11月24日 申请日期1993年2月6日 优先权日1992年2月6日
发明者G·佩什尔 申请人:Ppv-管理有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1