Oled材料真空热蒸镀用掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及有机发光二极管显示器的制作领域，尤其涉及一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板。
【背景技术】
[0002]有机发光二级管显示器(Organic Light Emitting D1de，0LED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它具有十分优异的显示性能，特别是自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于TFT-1XD，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。目前OLED已处于大规模量产的前夜，随着研究的进一步深入，新技术的不断涌现，OLED显示器件必将有一个突破性的发展。
[0003]OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机发光层和阴极。OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜通过真空热蒸镀工艺制备，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属掩膜板(Mask)的开孔沉积在玻璃基板上。掩膜板的作用是使OLED材料蒸镀到设计的位置，因此掩膜板的开孔位置、形状以及表面平整度都相当重要。
[0004]如图1所示，现有掩膜板包括掩膜框架100和通过激光电焊固定在掩膜框架100上的掩膜200，焊点300位于掩膜框架100上。掩膜在使用一段时间后，上边会沉积一定厚度的OLED材料，在重力作用下容易导致掩膜下垂变形，而且OLED材料也可能堵塞开孔，或者使开孔有效尺寸变小。所以，掩膜在使用一定的时间后，就需要进行清洗，甚至要更换一张新的掩膜。
[0005]当需要更换一张新的掩膜时，需要把原来的掩膜与掩膜边框分离，去掉掩膜，并对掩膜边框表面进行研磨抛光。因为原来的点焊位置应该有凸起，需要将掩膜边框表面研磨成平面(平面度在50微米内)。同时，在原来的点焊位置，焊接时的热量也等于是给焊点位置进行了热处理，导致点焊位置硬度变大，所以这一层硬化层也需要研磨去掉，以便不影响下一片掩膜的点焊效果，每对掩膜边框的焊接面进行一次打磨，就要消耗一定厚度(0.1 -1mm) ο
[0006]这样的情况下，如图2、图3所示，多次更换掩膜后，掩膜边框100经过多次抛光，厚度会逐渐变薄，中部下垂，不仅影响到边框的结构强度，使用时基板与掩膜存在一定空隙，也会影响到掩膜200在蒸镀设备里的对位位置，导致OLED发光元件出现混色等品质不良。所以，掩膜边框经过研磨抛光一定的厚度后就需要报废，并且掩膜边框需要运输到有大型抛光磨床的厂家进行研磨抛光，比较耗时，所以需要制作多块掩膜边框备用，导致生产成本增加。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其掩膜边框能够重复多次使用，减少掩膜边框的报废量，提高掩膜边框的利用率，同时能够减少掩膜边框的备份数量，节约材料及生产成本。
[0008]为实现上述目的，本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，包括掩膜边框、固定于所述掩膜边框上的插条、及固定于所述插条上的掩膜；
[0009]所述掩膜边框包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜的开口；将所述掩膜边框靠近掩膜一侧的表面定义为上表面，掩膜边框的每条边上均设置一沟槽；
[0010]所述插条固定于所述沟槽内，所述插条的上表面与所述沟槽的上表处于同一平面上；所述掩膜通过点焊固定于插条上，焊点位于插条上；
[0011]所述插条的上表面的宽度小于所述插条位于所述沟槽内的宽度。
[0012]所述沟槽位于所述掩膜边框的每条边的中部，所述沟槽凹陷于所述掩膜边框的上表面。
[0013]每条沟槽下方设有至少两个第一通孔，所述插条对应所述第一通孔设有一第一螺纹孔；一第一螺钉穿过所述第一通孔锁合于第一螺纹孔内，从而将所述插条固定于所述沟槽内。
[0014]所述沟槽位于所述掩膜边框的每条边的外周，所述沟槽形成于所述掩膜边框的上表面与外侧面之间。
[0015]每条沟槽下方设有至少两个第一通孔，所述插条对应所述第一通孔设有一第一螺纹孔；每条插条在其宽度方向上设有至少两个第二通孔，所述沟槽侧方对应所述第二通孔设有第二螺纹孔；一第一螺钉穿过所述第一通孔锁合于第一螺纹孔内，一第二螺钉穿过所述第二通孔锁合于第二螺纹孔内，从而将所述插条固定于所述沟槽内。
[0016]所述插条与所述沟槽在尺寸上形成紧密配合。
[0017]所述插条的横截面为多边形或带有圆弧的多边形。
[0018]所述插条的横截面为梯形。
[0019]所述插条与所述掩膜边框均为金属材料。
[0020]本发明的有益效果:本发明提供的一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，在掩膜边框的四条边上分别设置沟槽，将插条固定于沟槽内，将掩膜通过点焊固定于插条上；当掩膜变形需要更换时，仅需要将插条取出并进行抛光处理即可，而不需要将整个掩膜边框运输到有大型抛光磨床的厂家进行研磨抛光，操作简单，省时省力，避免了因抛光引起的掩膜边框厚度变薄及由于对掩膜边框多次抛光导致的报废；当插条经多次抛光，厚度不合格时，更换插条即可，而不需要将整个掩膜边框报废，从而掩膜边框能够重复多次使用，减少掩膜边框的报废量，提高掩膜边框的利用率，同时能够减少掩膜边框的备份数量，只需多备份几套插条即可，节约材料及生产成本；插条的上表面的宽度小于其位于沟槽内的宽度，从而掩膜的张力最大程度分散传递至掩膜框架上，以保证插条不形变及掩膜受力均匀。
[0021]为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0022]下面结合附图，通过对本发明的【具体实施方式】详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0023]附图中，
[0024]图1为现有的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的结构示意图；
[0025]图2为现有的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板正常情况下的剖面结构示意图；
[0026]图3为现有的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板经过多次打磨后的剖面结构示意图；
[0027]图4为本发明OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第一实施例的俯视示意图；
[0028]图5为本发明OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第一实施例的掩膜边框与插条的俯视不意图；
[0029]图6为本发明OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第一实施例中对应第一通孔处的剖面示意图；
[0030]图7为本发明OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第二实施例的掩膜边框与插条的俯视不意图；
[0031]图8为本发明OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第二实施例中对应第一通孔及第二通孔处的剖面示意图。
【具体实施方式】
[0032]为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
[0033]请同时参阅图4至图6，本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板第一实施例，包括掩膜边框1、固定于所述掩膜边框I上的插条3、及固定于所述插条3上的掩膜5 ;
[0034]所述掩膜边框I包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜5的开口 ；将所述掩膜边框I靠近掩膜5 —侧的表面定义为上表面，掩膜边框I的每条边上均设置一沟槽11 ;
[0035]所述插条3固定于所述沟槽11内，所述插条3的上表面与所述沟槽11的上表处于同一平面上；