所述掩膜5通过点焊固定于插条3上，焊点7位于插条3上；
[0036]具体的，所述插条3的上表面的宽度小于所述插条3位于所述沟槽11内的宽度，以使焊接于所述插条3上的掩膜5的张力最大程度分散传递至掩膜框架I上，来保证插条3不形变及掩膜5受力均匀。
[0037]具体地，所述插条3的形状与所述沟槽11的内部空间相适应，所述插条3与所述沟槽11在尺寸上形成紧密配合。
[0038]具体地，所述沟槽11位于所述掩膜边框I的每条边的中部，所述沟槽11凹陷于所述掩膜边框I的上表面。
[0039]每条沟槽11下方设有至少两个第一通孔13，所述插条3对应所述第一通孔13设有一第一螺纹孔33 ;—第一螺钉91穿过所述第一通孔13锁合于第一螺纹孔33内，从而将所述插条3固定于所述沟槽11内。
[0040]具体地，所述插条3的横截面为多边形或带有圆弧的多边形。
[0041]优选地，在该第一实施例中，所述插条3的横截面为梯形。
[0042]具体地，所述插条3与所述掩膜边框I均为金属材料。
[0043]请同时参阅图7至图8，为本发明的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板的第二实施例的结构示意图，与第一实施例的不同之处在于，所述沟槽11位于所述掩膜边框I的每条边的外周，所述沟槽11形成形成于所述掩膜边框I的上表面与外侧面之间；插条3位于掩膜边框I的外周，方便安装及拆除。
[0044]本实施例中，插条外侧无掩膜框本体进行限制，故除从下方进行固定外，还需从侧面进行固定，从而加强固定。因此，每条沟槽11下方设有至少两个第一通孔13，所述插条3对应所述第一通孔13设有第一螺纹孔33 ;且每条插条3在其宽度方向上设有至少两个第二通孔35，所述沟槽11侧方对应所述第二通孔35设有第二螺纹孔15 ;—第一螺钉91穿过所述第一通孔13锁合于第一螺纹孔33内，一第二螺钉92穿过所述第二通孔35锁合于第二螺纹孔15内，从而将所述插条3固定于所述沟槽11内。
[0045]采用上述结构，当所述掩膜5变形需要更换时，仅需将插条3取下进行抛光处理即可，而不需要将整个掩膜边框I运输到有大型抛光磨床的厂家进行研磨抛光，操作简单，省时省力，避免了因抛光引起的掩膜边框I厚度变薄及由于对掩膜边框I多次抛光导致的报废；当所述插条3经多次抛光，厚度不合格时，更换新的插条3即可，而不需要将整个掩膜边框I报废，从而使掩膜边框I能够重复多次使用，减少掩膜边框I的报废量，延长掩膜边框的使用周期，提高掩膜边框I的利用率，节约材料及生产成本；且插条3的上表面的宽度小于插条3的宽度，则掩膜3的张力最大程度可以分散传递至掩膜框架I上，从而保证了插条3不形变及掩膜5受力均匀。
[0046]上述OLED材料真空热蒸镀用掩膜板应用于OLED有机材料以及氟化锂(LiF)等无机材料的蒸镀。当然，该掩膜板也可应用于其它真空热蒸镀领域。
[0047]综上所述，本发明的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，在掩膜边框的四条边上分别设置沟槽，将插条固定于沟槽内，将掩膜通过点焊固定于插条上；当掩膜变形需要更换时，仅需要将插条取出并进行抛光处理即可，而不需要将整个掩膜边框运输到有大型抛光磨床的厂家进行研磨抛光，操作简单，省时省力，避免了因抛光引起的掩膜边框厚度变薄及由于对掩膜边框多次抛光导致的报废；当插条经多次抛光，厚度不合格时，更换插条即可，而不需要将整个掩膜边框报废，从而掩膜边框能够重复多次使用，减少掩膜边框的报废量，提高掩膜边框的利用率，同时能够减少掩膜边框的备份数量，只需多备份几套插条即可，节约材料及生产成本；插条的上表面的宽度小于其位于沟槽内的宽度，从而掩膜的张力最大程度分散传递至掩膜框架上，以保证插条不形变及掩膜受力均匀。
[0048]以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，包括掩膜边框(I)、固定于所述掩膜边框⑴上的插条(3)、及固定于所述插条(3)上的掩膜(5); 所述掩膜边框(I)包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜(5)的开口 ；将所述掩膜边框(I)靠近掩膜(5) —侧的表面定义为上表面，掩膜边框(I)的每条边上均设置一沟槽(11); 所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内，所述插条(3)的上表面与所述沟槽(11)的上表处于同一平面上；所述掩膜(5)通过点焊固定于插条(3)上，焊点(7)位于插条(3)上； 所述插条(3)的上表面的宽度小于所述插条(3)位于所述沟槽(11)内的宽度。2.如权利要求1所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述沟槽(11)位于所述掩膜边框(I)的每条边的中部，所述沟槽(11)凹陷于所述掩膜边框(I)的上表面。3.如权利要求2所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，每条沟槽(11)下方设有至少两个第一通孔(13)，所述插条(3)对应所述第一通孔(13)设有一第一螺纹孔(33); 一第一螺钉(91)穿过所述第一通孔(13)锁合于第一螺纹孔(33)内，从而将所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内。4.如权利要求1所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述沟槽(11)位于所述掩膜边框(I)的每条边的外周，所述沟槽(11)形成于所述掩膜边框(I)的上表面与外侧面之间。5.如权利要求4所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，每条沟槽(11)下方设有至少两个第一通孔(13)，所述插条(3)对应所述第一通孔(13)设有螺纹孔(33);每条插条(3)在其宽度方向上设有至少两个第二通孔(35)，所述沟槽(11)侧方对应所述第二通孔(35)设有第二螺纹孔(15);—第一螺钉(91)穿过所述第一通孔(13)锁合于第一螺纹孔(33)内，一第二螺钉(92)穿过所述第二通孔(33)锁合于第二螺纹孔(15)内，从而将所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内。6.如权利要求1所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述插条(3)与所述沟槽(11)在尺寸上形成紧密配合。7.如权利要求6所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述插条(3)的横截面为多边形或带有圆弧的多边形。8.如权利要求7所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述插条(3)的横截面为梯形。9.如权利要求1所述的OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，其特征在于，所述插条(3)与所述掩膜边框(I)均为金属材料。
【专利摘要】本发明提供一种OLED材料真空热蒸镀用掩膜板，包括掩膜边框(1)、固定于所述掩膜边框(1)上的插条(3)、及固定于所述插条(3)上的掩膜(5)；所述掩膜边框(1)包括四条边，该四条边围拢出一对应掩膜(5)的开口；将所述掩膜边框(1)靠近掩膜(5)一侧的表面定义为上表面，掩膜边框(1)的每条边上均设置一沟槽(11)；所述插条(3)固定于所述沟槽(11)内，所述插条(3)的上表面与所述沟槽(11)的上表处于同一平面上；所述掩膜(5)通过点焊固定于插条(3)上，焊点(7)位于插条(3)上；所述插条(3)的上表面的宽度小于所述插条(3)位于所述沟槽(11)内的宽度。
【IPC分类】C23C14/04
【公开号】CN105088135
【申请号】CN201510299297
【发明人】匡友元
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年6月3日