一种具有磁力导向真空镀膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体属于一种具有磁力导向真空镀膜装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜技术作为薄膜设备的一种重要手段，在现代微电子技术和微器件设备中占有特殊重要的地位，这种技术是指在真空环境下利用物理或化学手段在工件表面沉积一层具有特殊用途膜层的表面处理方法。镀膜设备是比较常用的设备，尤其在半导体器件工艺的电极制作工艺中更是应用广泛。真空镀膜机分为常温镀膜及高温镀膜，在高温镀膜的工况条件下，需要在真空镀膜箱中对被镀基片加热。现在用于真空镀膜的加热装置多种多样，但是现有用于真空镀膜的加热装置大多有加热效率不高，被镀基片受热不均等问题；要保证镀膜工艺的顺利进行及设备的安全运行。常用的观察窗一般采用挡板来保护观察玻璃不被污染。但由于结构简单，在镀膜过程中，仍然会有少量沉积物附着在观察玻璃上。同时，在长期使用观察窗观察镀膜实时情况后，观察玻璃会被沉积上污染物变得模糊不清，甚至无法观察真空腔室内的工作情况。在这种情况下，往往需要拆卸观察窗，卸下观察玻璃进行清理。由于观察窗直接连接真空腔室，频繁的拆卸会导致该部位密封性能变差，从而影响真空腔室的真空度及镀膜的质量。并且，对于采用金属密封垫圈的观察窗，每次拆卸都需要更换金属密封垫圈，成本较大。
【实用新型内容】
[0003]针对上述问题，本实用新型的目的是提供了一种具有磁力导向真空镀膜装置，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过放电电子束轰击接料板上镀膜材料使其蒸发进行镀膜；在固定台上端面和固定罩顶面分别设有磁极相对的磁铁块；通过磁力线导向作用使金属气体快速均匀分布到晶体谐振器上，同时在观察孔设有方便拆卸清理的玻璃罩，有效保护观察孔不被污染；同时晶体谐振器托盘呈伞形分布，提高了固定罩内空间利用率。
[0004]本实用新型采用的技术方案如下:
[0005]一种具有磁力导向真空镀膜装置，包括固定台，固定台上设有固定罩，所述的固定罩内设有固定架，固定架上端设有多个用于固定晶体谐振器托盘的夹具，多个夹具围绕圆周均匀分布，晶体谐振器托盘在多个夹具中呈伞形分布，固定架下端固装于固定台上，在固定架下端部中间设有接料板，在固定架外围上端部设有弧形放电管为铜管制成，放电管通过支撑杆支撑于固定台上，支撑杆下端部为绝缘塑料，接料板连接电源负极，放电管连接电源正极，通过放电电子束轰击接料板上镀膜材料使其蒸发进行镀膜；在固定台上端面和固定罩顶面分别设有磁极相对的磁铁块；所述的固定罩外侧设有液压升降缸控制其升降开启，所述的固定台下端连通抽气泵，固定罩壁上设有观察孔。
[0006]所述的固定罩上还设有真空计。
[0007]所述的观察孔在固定罩内壁一侧设有玻璃罩，玻璃罩与固定罩壁之间通过螺纹连接。
[0008]所述的固定罩下端外边缘设有多个导向杆。
[0009]与已有技术相比，本实用新型的有益效果如下:
[0010]本实用新型通过放电电子束轰击接料板上镀膜材料使其蒸发进行镀膜；在固定台上端面和固定罩顶面分别设有磁极相对的磁铁块；通过磁力线导向作用使金属气体快速均匀分布到晶体谐振器上，同时在观察孔设有方便拆卸清理的玻璃罩，有效保护观察孔不被污染；同时晶体谐振器托盘呈伞形分布，提高了固定罩内空间利用率。
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的结构示意图；
[0012]图2为本实用新型谐振器托盘在多个夹具布置俯视结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]参见附图，一种具有磁力导向真空镀膜装置，包括固定台1，固定台I上设有固定罩2，所述的固定罩2内设有固定架3，固定架3上端设有多个用于固定晶体谐振器托盘的夹具4，多个夹具围绕圆周均匀分布，晶体谐振器托盘5在多个夹具中呈伞形分布，固定架3下端固装于固定台I上，在固定架3下端部中间设有接料板6，在固定架3外围上端部设有弧形放电管7为铜管制成，放电管7通过支撑杆701支撑于固定台上，支撑杆701下端部为绝缘塑料，接料板6连接电源负极，放电管连接电源正极，通过放电电子束轰击接料板上镀膜材料使其蒸发进行镀膜；在固定台I上端面和固定罩2顶面分别设有磁极相对的磁铁块
8;所述的固定罩2外侧设有液压升降缸9控制其升降开启，所述的固定台I下端连通抽气泵10，固定罩2壁上设有观察孔201，所述的固定罩2上还设有真空计202，所述的观察孔201在固定罩内壁一侧设有玻璃罩11，玻璃罩11与固定罩2壁之间通过螺纹连接，在观察孔设有方便拆卸清理的玻璃罩，有效保护观察孔不被污染；同时晶体谐振器托盘呈伞形分布，提高了固定罩内空间利用率；所述的固定罩2下端外边缘设有多个导向杆203。
[0014]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种具有磁力导向真空镀膜装置，包括固定台，固定台上设有固定罩，其特征在于:所述的固定罩内设有固定架，固定架上端设有多个用于固定晶体谐振器托盘的夹具，多个夹具围绕圆周均匀分布，晶体谐振器托盘在多个夹具中呈伞形分布，固定架下端固装于固定台上，在固定架下端部中间设有接料板，在固定架外围上端部设有弧形放电管为铜管制成，放电管通过支撑杆支撑于固定台上，支撑杆下端部为绝缘塑料，接料板连接电源负极，放电管连接电源正极，通过放电电子束轰击接料板上镀膜材料使其蒸发进行镀膜；在固定台上端面和固定罩顶面分别设有磁极相对的磁铁块；所述的固定罩外侧设有液压升降缸控制其升降开启，所述的固定台下端连通抽气泵，固定罩壁上设有观察孔。
2.根据权利要求1所述的一种具有磁力导向真空镀膜装置，其特征在于:所述的固定罩上还设有真空计。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有磁力导向真空镀膜装置，其特征在于:所述的观察孔在固定罩内壁一侧设有玻璃罩，玻璃罩与固定罩壁之间通过螺纹连接。
4.根据权利要求3所述的一种具有磁力导向真空镀膜装置，其特征在于:所述的固定罩下端外边缘设有多个导向杆。
【专利摘要】本实用新型公开了一种具有磁力导向真空镀膜装置，包括固定台，固定台上设有固定罩，所述的固定罩内设有固定架，固定架上端设有多个用于固定晶体谐振器托盘的夹具，在固定架下端部中间设有接料板，在固定架外围上端部设有弧形放电管，在固定台上端面和固定罩顶面分别设有磁极相对的磁铁块；所述的固定罩外侧设有液压升降缸控制其升降开启，所述的固定台下端连通抽气泵，固定罩壁上设有观察孔。本实用新型克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过磁力线导向作用使金属气体快速均匀分布到晶体谐振器上，同时在观察孔设有方便拆卸清理的玻璃罩，有效保护观察孔不被污染；同时晶体谐振器托盘呈伞形分布，提高了固定罩内空间利用率。
【IPC分类】C23C14-30
【公开号】CN204529963
【申请号】CN201520080244
【发明人】达令, 项钰
【申请人】安庆市晶科电子有限公司
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2015年2月4日