专利名称：硅烷制备的分子筛提纯装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种化工产品的制备装置，特别是一种硅烷制备的分子筛提纯装 置，适合于硅烷提高纯度。
背景技术：
目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业 发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和 产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如硅烷)，尤其是高纯 电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随 着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如硅烷)的纯度要求已经提 高到了 6N级(99. 9999% )，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉 睫。而有能力生产6N级以上高纯电子气体的只有少数国家，而高纯气体在电子产品、航空 航天、高效太阳能电池、军事工业方面有着广泛的应用，硅烷的制备技术尚未完善，制作方 法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多， 只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子 技术的发展。
发明内容本实用新型所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供了一种硅烷制备的 分子筛提纯装置。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高纯度打下了基础。本实用新型采用的技术方案是纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样 口、u管柱、4A分子筛吸附柱、5A分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水 封池、油封按其系统功能通过其中间连接的阀门。压力表的连接管线组装一体而构成。使 用时，粗硅烷由粗硅烷进入口进入本装置，经过滤器过滤，打开所需阀门，4A分子筛吸附柱 主要吸附粗硅烷气体中分子直径为4A的杂质性气体如NH3等。5A分子筛吸附柱主要吸附 分子直径为5A的杂质性气体如IIIA、vA族元素的氢化物和碳氢化合物等。吸附柱可以多次重复使用，且洁净度会愈来愈高。当5Α分子筛终端在线检测出现 乙硅烷时，说明分子筛的吸附能力已接近饱和，必须进行分子筛的重新活化。经分子筛吸附提纯，经U管柱和蛇管柱从纯硅烷出口)流出的气流是硅烷与氢气 的二元混合气。02、N2、C0、C02、CH4、H20等杂质均可降到10_6，IIIA、vA族元素的氢化物含量 均可降到10_9以下。从而制备出高纯度5N(纯度达99. 9999%)以上的硅烷气产品。本实用新型的有益效果是，设计合理，使用方便，是硅烷产品提高纯度的理想装 置。
以下结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。[0009]
图1为本实用新型的结构示意图。附图编号为1、纯硅烷出口，2、过滤器，3、纯尾气出口，4、蛇管柱，5、取样口，6、U 管柱，7、4A分子筛吸附柱，8、5A分子筛吸附柱，9、粗硅烷进入口，10、流量计，11、真空泵接 口，12、放空水封池，13、油封，14、连接管线，15压力表，16、阀门。
具体实施方式
参照
图1，纯硅烷出口(1)、过滤器(2)、纯尾气出口(3)、蛇管柱(4)、取样口(5)、 U管柱(6)、4A分子筛吸附柱(7)、5A分子筛吸附柱(8)、粗硅烷进入口(9)、流量计(10)、真 空泵接口(11)、放空水封池(12)、油封(13)按其系统功能通过其中间连接的阀门(16)、压 力表(15)的连接管线(14)组装一体而构成。使用时，粗硅烷由粗硅烷进入口(9)进入本 装置，经过滤器(2)过滤，打开所需阀门，4A分子筛吸附柱(7)主要吸附粗硅烷气体中分子 直径为4A的杂质性气体如NH3等。5A分子筛吸附柱(8)主要吸附分子直径为5A的杂质性 气体如IIIA、νΑ族元素的氢化物和碳氢化合物等。吸附柱可以多次重复使用，且洁净度会愈来愈高。当5A分子筛终端在线检测出现 乙硅烷时，说明分子筛的吸附能力已接近饱和，必须进行分子筛的重新活化。经分子筛吸附提纯，经U管柱(6)和蛇管柱(4)从纯硅烷出口(1)流出的气流是 硅烷与氢气的二元混合气。02、N2、C0、C02、CH4、H20等杂质均可降到10_6，IIIA、vA族元素的 氢化物含量均可降到10_9以下。从而制备出高纯度5N(纯度达99. 9999% )以上的硅烷气
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权利要求一种硅烷制备的分子筛提纯装置，其特征在于纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、U管柱、4A分子筛吸附柱、5A分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封通过其中间连接的阀门，压力表的连接管线组装一体而构成。
专利摘要本实用新型公开了一种硅烷制备的分子筛提纯装置，主要由纯硅烷出口、过滤器、纯尾气出口、蛇管柱、取样口、U管柱、4A分子筛吸附柱、5A分子筛吸附柱、粗硅烷进入口、流量计、真空泵接口、放空水封池、油封按其系统功能通过其中间连接的阀门。压力表的连接管线组装一体而构成。该装置不仅设计合理，制作简单，而且为硅烷提高纯度提供了理想的工具。
文档编号C01B33/04GK201686495SQ20102013419
公开日2010年12月29日 申请日期2010年3月18日 优先权日2010年3月18日
发明者李中元 申请人:天津市泰亨气体有限公司