1.一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备，其特征在于：包括靶棒、沉积室、外包层喷灯、中包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯、吊杆、排气管、上部沉积腔体和石墨加热电阻炉；沉积室上部设置有上部沉积腔体，上部沉积腔体内装有吊杆，吊杆设置有挂钩，吊杆与提升机构相连，靶棒悬挂在与提升机构相连的吊杆的挂钩上，在沉积室下部一侧依次装有外包层喷灯、中包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯，在沉积室上部一侧设置有排气管，用于排除沉积室内废气；
石墨烧结炉包括石英吊杆、密封组件、盖板、石英炉芯管、石墨炉芯管、气体管路、靶棒、粉末体、石墨加热体和气体质量流量控制器；粉末体通过靶棒与石英吊杆相连接，烧结过程中，石英吊杆上下移动，并自转；气体管路上安装有气体质量流量控制器；粉末体置于石英炉芯管，由上而下通过由石墨加热体产生的高温区，石英炉芯管在石墨炉芯管内，石墨加热体围绕在石墨炉芯管外，通过盖板进行密封石英炉芯管，石英吊杆穿过密封组件。
2.根据权利要求1所述的一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备，其特征在于：密封组件内设置4层隔离，每层中由密封组件气体管路通入N2进行气封。
3.根据权利要求1所述的一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备，其特征在于：在掺F烧结过程中，由气体质量流量控制器控制He和含氟化合物混合气，通入石英炉芯管的气体管路位于石墨加热体中上部区域。