技术总结
本实用新型一种制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备涉及的是一种采用气相沉积法获得的粉末体，在包层中进行掺氟来制备纯硅芯包层掺氟的超低损耗光纤预制棒的设备。所述的设备包括靶棒、沉积室、外包层喷灯、中包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯、吊杆、排气管、上部沉积腔体和石墨加热电阻炉；沉积室上部设置有上部沉积腔体，上部沉积腔体内装有吊杆，吊杆设置有挂钩，吊杆与提升机构相连，靶棒悬挂在与提升机构相连的吊杆的挂钩上，在沉积室下部一侧依次装有外包层喷灯、中包层喷灯、辅助喷灯、芯层喷灯；石墨烧结炉包括石英吊杆、密封组件、盖板、石英炉芯管、石墨炉芯管、气体管路、靶棒、粉末体、石墨加热体和气体质量流量控制器。
技术研发人员：吴椿烽;沈一春;钱宜刚
受保护的技术使用者：中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司
文档号码：201620461105
技术研发日：2016.05.19
技术公布日：2016.12.14