技术总结
本发明提供一种基于表面快速热处理高纯致密氧化镁靶材的制备方法，包括以下步骤：以氧化镁粉末为原料，以氧化锆球为介质，对原料进行行星球磨，研磨后的粉末进行200目筛分；将筛后粉末进行冷等静压成型得到氧化镁压坯；将氧化镁压坯进行真空烧结，真空烧结结束后，根据所需靶材尺寸进行进行表面精密机加工至靶材表面粗糙度≤0.8μm，得到氧化镁靶材；将氧化镁靶材进行表面研磨，然后进行清洗，最后在真空条件下用连续波激光热处理法、扫描电子束法或非相干宽带频光源法进行表面快速热处理，得到基于表面快速热处理高纯致密氧化镁靶材。本发明制备的氧化镁靶材纯度高、致密度好、表层与内层组织一致，且制备方法简单，工期短，绿色环保节能。
技术研发人员：王海燕
受保护的技术使用者：东莞市佳乾新材料科技有限公司
文档号码：201710036875
技术研发日：2017.01.18
技术公布日：2017.05.31