一种二维纳米Ga2In4S9晶体材料的制备方法及产品与流程

文档序号:11275415阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种二维纳米Ga2In4S9晶体材料的制备方法,采用化学气相沉积法用单质硫和液态镓铟共晶合金为源物质,在衬底上沉积所需厚度的Ga2In4S9晶体;反应区域有上游温区、中心温区以及下游温区,单质硫放置于上游温区,液态镓铟共晶合金,由于其蒸发所需温度较高,将其放置于中心温区,衬底放置于下游温区;利用不同温区的温度差,单质硫蒸汽和镓铟合金蒸汽在中心温区发生反应生成Ga2In4S9,并通过载气带入下游温区,在衬底上沉积成为二维纳米Ga2In4S9晶体材料。利用本发明方法,制备出了厚度均匀形态一致的二维纳米Ga2In4S9晶体材料,在光电子器件的应用中具有广阔前景。

技术研发人员:张骐;高婷;翟天佑
受保护的技术使用者:华中科技大学
技术研发日:2017.06.20
技术公布日:2017.09.22
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