玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置。
【背景技术】
[0002]一般来说，玻璃基板是经过从玻璃原料生成熔融玻璃后，使熔融玻璃成形为玻璃基板的步骤而制造。在所述步骤中，包括去除熔融玻璃所内包的微小气泡的步骤(以下也称为澄清)。澄清是通过如下方式而进行:一边加热澄清管的主体，一边使调配了澄清剂的熔融玻璃通过该澄清管主体，利用澄清剂的氧化还原反应，将熔融玻璃中的泡去除。更具体来说，进一步提高粗熔解的熔融玻璃的温度，使澄清剂发挥功能而使泡浮起消泡之后，使温度降低，由此，使熔融玻璃吸收未彻底消泡而残留的相对较小的泡。即，澄清包括使泡浮起消泡的处理(以下也称为消泡处理或消泡步骤)以及使熔融玻璃吸收小泡的处理(以下也称为吸收处理或吸收步骤)。
[0003]与成形前的高温熔融玻璃接触的部件的内壁需要根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。例如，已知构成所述澄清管主体的材料通常使用铂族金属的单质或合金(专利文献I)。铂族金属的熔点高，且对熔融玻璃的耐蚀性也优异。
[0004][【背景技术】文献]
[0005][专利文献]
[0006][专利文献I]日本专利特开2010-111533号公报
【发明内容】
[0007][发明要解决的问题]
[0008]如果熔融玻璃通过在内壁面使用铂族金属的处理装置，那么在与经加热的内部表面的气相空间(含氧的氛围)接触的部分，铂族金属会作为氧化物而挥发。另一方面，铂族金属的氧化物在处理装置的温度局部降低的位置被还原，经还原的铂族金属附着至内壁面。有附着至内壁面的铂族金属落下并混入至消泡步骤中的熔融玻璃中，从而作为异物混入至玻璃基板的担忧。
[0009]本发明的目的在于提供一种可抑制铂族金属被氧化而挥发且制造品质高的玻璃基板的玻璃基板的制造方法以及制造装置。
[0010][解决问题的技术手段]
[0011]为了解决所述问题，本发明的第一形态是一种玻璃基板的制造方法，其特征在于:使用处理熔融玻璃的处理装置来处理熔融玻璃，且
[0012]当处理熔融玻璃时，
[0013]以在熔融玻璃的液面的上部形成气相空间的方式，对内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料的处理装置的内部供给熔融玻璃，
[0014]通过从连接所述气相空间与所述处理装置的外部空间的排气口抽吸所述气相空间内的气体，使对铂族金属不活泼的气体流入至所述气相空间，
[0015]测量从所述排气口抽吸的气体中的氧浓度，
[0016]以使所述氧浓度成为5.0%以下的范围的方式，调节所述对铂族金属不活泼的气体朝所述气相空间的流入量。
[0017]这里，对铂族金属不活泼的气体是指在处理装置中处理熔融玻璃时的气相空间的温度下对铂族金属不活泼的气体、与铂族金属的反应性比氧气低的气体，例如氮气(N2)、稀有气体(例如氩气(Ar))、一氧化碳(CO)等。
[0018]优选以使所述氧浓度成为5.0%以下的范围的方式调节从所述排气口的抽吸压力。进而，优选以使所述氧浓度成为0.1%以上且3.0%以下的范围的方式调节所述对铂族金属不活泼的气体的供给量。
[0019]优选对所述处理装置从所述熔融玻璃的上游侧及下游侧对所述气相空间供给所述对铂族金属不活泼的气体。
[0020]优选使从所述熔融玻璃的上游侧供给的所述对铂族金属不活泼的气体比从所述熔融玻璃的下游侧供给的所述对铂族金属不活泼的气体多。
[0021]优选在使所述对铂族金属不活泼的气体流入至所述气相空间之前将其进行预热。例如优选在使所述对铂族金属不活泼的气体流入至所述气相空间之前将其预热至500°C以上。
[0022]优选所述处理装置是澄清所述熔融玻璃的澄清处理装置，且
[0023]所述澄清处理装置中的所述熔融玻璃的最高温度为1600?1720°C。
[0024]本发明的第二形态是一种玻璃基板的制造装置，其特征在于使用对熔融玻璃进行澄清处理的澄清处理装置来处理熔融玻璃，且包括:
[0025]澄清处理装置，内壁的至少一部分包含含有铂族金属的材料，内部被供给熔融玻璃，并且在所述熔融玻璃的液面的上部形成气相空间；
[0026]气体供给装置，对所述气相空间供给除氧气以外的气体；
[0027]排气口，连接所述气相空间与所述澄清处理装置的外部空间；
[0028]抽吸装置，通过从所述排气口抽吸所述气相空间内的气体，使除氧气以外的气体流入至所述气相空间；
[0029]氧浓度计，测量从所述排气口抽吸的气体中的氧浓度；以及
[0030]控制装置，根据所述氧浓度计的测量结果，以使所述氧浓度成为特定范围的方式调节从所述排气口的抽吸压力。
[0031][发明效果]
[0032]根据本发明，通过以使从排气口抽吸的气体中的氧浓度成为特定范围的方式调节从排气口的抽吸压力，可将处理装置内的气相空间中的氧浓度调节为所需范围。由此，可抑制因气相空间的氧浓度变高而引起的铂族金属的挥发，从而减少挥发的铂族金属的析出量。
【附图说明】
[0033]图1是表示玻璃基板的制造方法的流程的图。
[0034]图2是玻璃基板的制造装置的概略图。
[0035]图3是图2所示的澄清管的概略图。
[0036]图4是澄清管的长度方向的铅垂剖视图。
【具体实施方式】
[0037]以下，对本发明的玻璃基板的制造方法以及玻璃基板制造装置进行说明。
[0038]此外，本发明的“处理装置”包括熔解槽、澄清管、搅拌槽或成形装置、以及在这些装置间移送熔融玻璃的移送管、对这些装置供给玻璃的供给管。处理装置中的“处理”包括玻璃的熔解处理、熔融玻璃的澄清处理、搅拌处理、成形处理、以及熔融玻璃的移送处理、供给处理。
[0039](玻璃基板的制造方法的整体概要)
[0040]图1是表示本实施方式的玻璃基板的制造方法的步骤的一例的图。玻璃基板的制造方法主要包括熔解步骤(STl)、澄清步骤(ST2)、均质化步骤(ST3)、供给步骤(ST4)、成形步骤(ST5)、缓冷步骤(ST6)、及切割步骤(ST7)。此外，也可具有磨削步骤、研磨步骤、清洗步骤、检查步骤、捆包步骤等。也可视需要在捆包步骤中将所制造的玻璃基板积层，并搬送给买方业者。
[0041]在熔解步骤(STl)中，通过加热玻璃原料而制造熔融玻璃。熔融玻璃的加热可通过通电加热来进行，所述通电加热是使熔融玻璃自身通电而使其发热从而加热。进而，也可利用燃烧器的火焰辅助加热而使玻璃原料熔解。
[0042]此外，熔融玻璃含有澄清剂。作为澄清剂，已知有氧化锡、亚砷酸、锑等，但并无特别限制。然而，就减轻环境负荷的方面来说，优选将氧化锡用作澄清剂。
[0043]在澄清步骤(ST2)中，通过使熔融玻璃升温，产生含有熔融玻璃中所含的氧、0)2或SO2的泡。该泡吸收因澄清剂的还原反应所产生的氧而成长，浮起并释放至熔融玻璃的液面。之后，在澄清步骤中，通过使熔融玻璃的温度降低，而使因澄清剂的还原反应而获得的还原物质发生氧化反应。由此，熔融玻璃中所残存的泡中的氧气等气体成分被再吸收至熔融玻璃中，而使泡消失。利用澄清剂的氧化反应及还原反应是通过控制熔融玻璃的温度而进行。
[0044]此外，澄清步骤也可使用使存在于熔融玻璃的泡在减压氛围中成长而消泡的减压消泡方式。减压消泡方式在不使用澄清剂的方面有效。然而，减压消泡方式会导致装置复杂化及大型化。因此，优选采用