固化性树脂组合物、固化膜的形成方法和固化膜的制作方法

专利名称：：固化性树脂组合物、固化膜的形成方法和固化膜的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种含有特定树脂的固化性树B鎺，，舰该组，的间隔物(spacer)、层间绝缘膜、微透镜(microlens)或保护膜等固化膜的形成方法以及固化膜。io背景駄<关于间隔物的现有技》一直以来，在液晶显示元件中，为了使2±媳明繊间的间隔保^~定，fOT具有规定粒径的玻璃球、塑料球等间隔物粒子，但这些间隔物粒子存在的问题在于，由于絲玻璃繊等透明mJi呈无规散布，因此，当象素形成区15J^在间,粒子时，会发生间隔物粒子的映入J，，或使入射光散射，液晶显示元件的对比度陶氐。因此，为了解决这些问题，采用禾,照相平版印刷术形成间,的方銜例如参照特开2001-261761号公报)。该方法是在,上涂布方M线,性树月離合物，通过规定的掩模进微外线照射后进行显影，形成点械条状间隔物，20由于可以只在象素形成区域以夕卜的规定位置形成间隔物，因此，基本解决了上述问题。但是，现有的舰线敏感性树脂组合物在为了形成间隔物而进行烧结时产生的升华物可能会污染生产线或设备，因此希望有可M^升，产生的放射线敏感性树月離合物。25<关于层间乡，膜和^的现有^>在薄膜晶体管(以下记为"TFT")型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件中，通常为了^M状配置的配线间绝缘而设置层间绝缘膜。由于形成层间绝缘膜的材料,得到所要的图案^t^f需的工序数少且具有充分的平坦性的材料，因ltkT泛^ffi,线敏感性树脂组^I(参照30特开2001-354822号公报和特开2001-343743号公报)。^b悉电子部i牛中，例如TFT型液晶显示元件是经过在Ji^层间绝缘膜上形成透明电极膜，再在其上形成液晶取向膜的工序制造的，因此层间绝缘膜，明电极膜的形成工序中要暴高温斜牛下，或者置于用于形成电极图案的光刻胶的剥离液中，因此，需要对这些^f特充分的耐性。而且，蹄来TFT5型液晶显示元^特向大画面化、高亮度化、高精细化、高速应答化、薄型化等发展的趋势，这要求用于其的层间绝缘膜形成用组合物的灵敏度高的，要求形成的层间绝缘膜在介电常数、透光率等方面具有高于I见有膜的性能。另一方面，通常舰具有3100拜左右的纖径的^或将这样的多个M镜规则排列的M镜阵列作为传真机、电子复印机、固体摄像元件等晶10载彩色滤光片的成像光学系统^纤连接器的光学材料。m^或1tii^阵列的形成方法已知有在形成了与所要的it^W应的图案^g，将其进行加热鹏鹏鹏动，直接用作透镜的方法；将熔体流动好的纖图案作成掩模，禾,干嫩鹏透镜形状转印在基底上的方法等。在Jd^t^图案的形成中，广泛f顿TO线敏感性树月離合物(参照特开平6-1518702号公报和特开平6-136239号公报)。然后将形成如上戶瓶的^或^阵列的元<鞭供给如下工序，即为了除去作为配线形成部分的焊接区上的各种绝缘膜，涂布平坦化膜和，U用保护膜，用所需的掩微行曝光、显影，除去焊接区部分的防蚀涂层，然后il31嫩i滁去平坦化膜、各种乡條膜，露出焊接区部分的工序。因此，M^或微20纖阵列在平坦化膜和防蚀涂层的涂膜形成工序以及嫩lj工序中，需要有耐溶剂性、耐热性。为了形成这样的微皿而使用的放射线敏感性树J離^tl除了要求是高灵敏度的之外，还要求形成的镜具有所需的曲率半径，并且耐热性高、透光率高等。25另外，如上戶脱的层间^^膜、^t镜存在工序管理方面的问题艮P在形成这些的显影工序中，即使显影时间稍稍超过最佳时间，有时显影液也会浸透至图案和繊之间而容易发生剥离，因ltt^、须严鹏制显影时间。如上所述，由娜线敏感性树脂组合物形鹏间绝缘膜、mit^时，要求组合物是髙灵的，还要求在形成工序中的显影工序中，即^M影时间舰30规定时间时，也不会发生图案的剥离，显示出良好的密合性，且由其形成的层间绝缘膜耐热性高、耐翻雌高、介电常数低、透光率高等。在此基础上，形成鹏镜时，除了上述诸性能之外，要求具有作为微透镜的良好的iti^状(所需的曲率半径)、耐热性高、耐、皿u性高、透光率高，但目前还没有满足这样的要求的方，线敏感性树S離合物。5而且，在用于形鹏间绝缘膜、^而进疗烧结时产生的升糊可能会污染生产线、设备，希望有可M^升华物的产生的皿线敏感性树B彰且合物。〈关于微膜的现有胁在帝i腊LCD(液晶显示元件)、CCD(电荷,:^牛，ChaiBeCoupledDevice)、CMOS(互补型金属氧化物半导体，ComplementaryMetalOxideSemiconductor)io等光设备的工序中，由于显示元件要用翻U、酸、碱等进行浸渍处理，而且利用溅射形成配线电f媳时元件表面局部会暴露在高温下，因此，为了防止由于这样的处理而f顿示元件发生劣化或受至踬伤，通常在显示元件的表面设置可耐^^样的M的，膜。要求这样的傲户膜相对于要形成该保护膜的繊鹏层、以及形成于保护15膜上的层的密合性高。另外，要求保护膜自身具有如下性能平滑且强度高；具有高度透明性；耐热性和耐光性高，长时间^顿不会发生熟、变黄、泛白等顿；耐水性、ii)m^性、耐酸性和耐碱性好等性能。而且，用于形成具有战各种性能,娥膜的材料，特开平5-78453号公报公开了包含具有縮水甘油基的聚合物的热固性组合物。20将这样的保护膜用在LCD、CCD、CMOS传S^的彩色滤光片上时，要求可以将由形成于基底mh的彩色滤光片引起的高度差平坦化。另外，在彩色液晶显示元件，例如STN(超扭曲向列，SuperTwistedNematic)方式或TFTCTtoiFilmTransister)方式的彩色液晶显示元件中，为了保挣液晶层的盒间隙均匀，是将球状间隔物散布在保护膜上再与面板贴合，然后将片材进行热压接，由此将25液晶盒密封，但这时存在的问题在于，在这样的热和压力下，可以看到间隔物存在的部分的保护膜发生凹陷现象，盒间隙错乱。特别是在制造STN方式的彩色液晶显示元件时，必须以极高的精度严格J&it行彩色滤光片和对置基板的贴合，要求{，膜具有极高的高，平坦化性能和耐热耐压性能。另外，近年来还采用在彩色滤光片的保护膜上利用溅射将配线电极30(TTO:IndiumTinOxide)鹏，用强酸或强碱等将HO构图的方式。这时，{緣膜在鹏时表面局部会暴驗高温下，廳进行多种试剂处理。因而，要求其能耐，些M，还要求具有与,电极的密合性，以使rro在试剂M时不会从傲户歡剥离。在lcd面板中，以髙亮度化为目的，开发了将rro等透明电极和tft元5件通，明性高的层间绝缘膜作成积层结构，使开口面积增大的面板。另外，目前彩色滤光片和TFT元件是用另外的基板制作而成的，但也开发了在TFT元件上形成彩色滤光片的技术。而且，在这样的M背景下，希望开发耐热性高且将形成于基底基板上的彩色滤光片的高度差平坦化的性能(平坦化性能)好的做膜。10而且，随着蹄来面板鎌的鄉化，存在如下问题即在由热固性组合物形成保护膜的烧结工序中产生升糊，堆积在烧结炉内部，污染烘箱，4赚结条件难以控制，或堆积的升附着在面板上发生污染，引发显示不良等问题。^^色滤光片用保护膜的形成中，使用具有可以简便皿丽，好的15f默膜的优点的固化性树MI糊是合适的，但目前还没有育,繊腿明性割乍为保护膜的一般性能要求以外，还育嫩适应如上所述的各种新的高要求的保护膜的、且作为组合物的保存稳定性也优良的材料。
发明内容20本发明是基于上述瞎况誠的，其第一目的在于樹共一种固化性树月識合物，其具有高的感娜线灵敏度、^fJI率足够高、与繊、或者基底祉层的密合性优良，且可以抑帝ij^形成工序中烧结时产生升华物。i^固化性树脂组合物棚于形成间隔物时，提供图案微、压缩3雖和耐摩擦性优良的间,；25棚于形鹏间绝缘膜时，可以形成"显影容限竭像7—、:;;/)"大、且耐热性髙、it31性髙、介电常数低的层间绝缘膜，所述"显影容限"是在显影工序中即使^1S佳显影时间继续显影，仍能形成良好图案的指标；在用于形成镜时，可以形成具有高度显影容限、且具有髙透光率和良好熔30本发明的第二目的在于衝共一种固化性树月離，，其可以形成一种保护膜，该保护膜与繊、或者基底或上层的密合性优良、且可以抑制^成工序的烧结时产生升，，而且满足髙透明性、高耐热性及高表面硬度，同时在加热条4牛下的耐负荷性优良，而且将形成于基底基板上的彩色滤光片的高度差平坦化的性能优良。5本发明的第三目的在于衝共一种由Jd^任一种固化性柳離合物形成固化膜的方法。本发明的第四目的在于衝共一种禾,，方法形成的固化膜。根据本发明，本发明的Jd^第一目的M—种含有(A)聚合物的固化性树月旨组合物实现，所述(A)聚合物M过在下式(l)或下式(2)所示化^t/存在下的io活性自由驟合进行聚合，用繊渗透色谱法须i淀的聚苯乙烯换算的重均舒量(Mw)和数均^量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具，基以及环氧乙^S(oxiranyl)皿^fr教oxetanyl)的聚，，15(式(1)中，p为1或1以上的纖，^为織子、羧基、基团-RA、基团-ORA、基团-NR、、基团-COORA、基团-C(O)NR、、基团-P(0)R、基团-P(O)(0RA)2或基团-NRANRA-CH))RA，RA独^itk为卤原子、氰基、羟基、碳原Tlfe为l20的烷基、碳原预为220的烯基碳原子数为620的芳基碳原子数为720的芳職"l^》牛几基)繊原子与杂原子的射十原预为320的120价杂环基团，RA为烷基、烯基、芳基、芳烷基或杂环基团时，RA所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基^(代；p=l时，R1为氢原子、氰基、基团-RB、基团-ORB、基团-NRB2、基团-SRB，RB独忠也为碳原子数为120的烷基、碳原子数为320的1价脂环族烃基、碳原子数为220的烯基、碳原子数为620的芳基碳原子数为720的芳烷25基或碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环基团，RB所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基羟基、羧基或环氧乙'^S^代，其中，Z和W不同时为氢原子；p为2或2以上时，R1Ji^碳原子数为120的縱中除去p愧原子得到的p价基团、从碳原子数为620的芳烃中除去p个氢原子得到的p价基团、或从碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环化，中除去p个氢原子得到的p价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卣原子、氰基、羟基、羧基舰氧乙'^代)；(式(2)中，m为2或2以上的,Z2Ji^碳原子数为120的縱中除去m賴原子得到的m价基团、从碳原子数为620的芳烃中除去m个氢原子得至啲m价基团、从碳原子与杂原子的^i十原子数为320的1价杂环化，中io除去m^原子得到的m价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷Mt代，R2为氢原子、氰基、基团-Re、基团-ORe、基团-NR^、基团-SRe，Re独立地为碳原子数为120的烷基碳原子数为320的1价月P^族烃基、碳原子数为220的烯基、碳原子数为620的芳基碳原子数为720的芳烷基繊原子与杂原子的^i十原子15数为320的1价糾基团，Re所具有的氢原子中的1个或多个可以被卣原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷魏代)。iM合物iM用于间,的形成、层间绝缘膜就皿镜的形成、1^#保护膜的形成。本发明的上述第二目的通过一种含有(A')聚合物和(E)阳离子聚合性化合20物，用于形成保护膜的固化性树脂组合物实现，其中，所述(A，)聚合物是通过在战式(l)社賦(2)所示化^/存在下的活性自由^4行聚合，用}赚渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有环氧乙烷基或氧杂环丁基的聚合物。本发明的J^第三目的通过^ffi，任一种固化性组合吻的间隔物、层间25绝缘膜或^m或者微膜的形成方法实现。本发明的上鄉四目的fflil根据Ji^方法形成的间隔物、层间绝缘膜或微纖、或者微膜实现。图1是鄉际出间,的截面微的示意图。图2是表示^ii镜的截面微的示意图，(a)是半凸透镜靴，(b)是大致梯形微。具体实施方式個化性树月離激》本发明的固化性树月離，含有i^(A)聚合物爽A，)聚合物。(A)聚合物魏过在战式(1)^J^式(2)表示的化合物存在下的活性自由io皿^a行聚合，用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均^T量(Mw)与数均^T量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有羧基以及环氧乙烷基或氧^FT基的聚，。另一方面，(A，)聚溯是Mii在J^;(i)^m式(2)标的化合物雜下的活性自由錢合进行聚合，用;赚渗跪谱法测定的棘乙烯换算重均肝15量(Mw)与数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有环氧乙烷基或旨环丁基的聚，，iM分子中具有2个或2个以上环氧乙烷基或氧，丁基和选自缩醛结构、缩酮结构和叔丁氧基羰基结构中的至少一种结构的聚合物(以下称为"聚合顿A，1)，,或肝中具有2个或2个以上环氧乙烷基^f^环丁基且不具有羧基、羧酸酐基縮醛结构、縮酮结构和叔丁氧基羰基结构中20的任一种的共聚鲰以下称为"聚合物(A，2)")。i^f醛结构或缩酮结构是指如下所述的縮醛形成性基团或縮酮形成性基团与碳原合形成的结构。聚合物具有縮醛结构或縮酮结构是指如下所述的縮醛形成性基团^f酮形成性基团直接^131羰基等键结合在聚合物中的碳原子上的聚，。25可以形成縮醛结构的官能欧以下称为"縮醛形成性基团")例如有1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-异丙氧基乙氧基、1-正丁縫乙氧基1-异丁乙氧基、1-仲丁氧基乙氧基、1-叔丁氧基乙氧基、1-环戊氧基乙氧基、1-环己氧基乙氧基、1-降冰片氧基乙氧基、l孫片氧基乙氧基、1-苯氧基乙氧基、l-(l-織基)乙氧基、1-賴基乙氧基、1-苯乙氧基乙竊、(环30as)(甲氧基)甲竊、(环己基x乙氧萄甲氧基、(环己基x正丙氧萄甲氧基、(环ea)(异丙氧萄甲氧基、(环a^)(环己氧基)甲氧基、(环己基x苯氧萄甲氧基、(环BS)(賴萄甲氧基(苯基X甲氧基)甲氧基、(苯基X乙ft^)甲氧基、(苯基x正丙氧基)甲氧基、(苯基)(异丙氧基)甲氧基、(苯基x环己氧基)甲氧基、(苯基x苯氧基)甲氧基、(苯基)(^s)甲氧基(节基x甲fi^)甲氧基、(节基)(乙氧基)甲5氧基、(节基)(正丙氧萄甲氧基(节基)(异丙氧基)甲氧基、(节基)(环己氧萄甲氧基、(节基x苯f(S)甲縫、(节基x賴蜀甲氧基2-四氢呋喃基氧基、2-四氣吡喃基tt等。在这些缩醛形成性基团中，1-乙乙氧基、i-正丙氧基乙氧基、l-环己氧基乙縫、2-四割夫喃魏基或2-四都比喃基竊。另外，可以形成缩酮结构的官能团(以下称为"缩酮形成性基团")例如有10i-甲基i-甲氧基乙氧基i-甲基i-乙氧基乙氧基、i-甲基i-正丙氧基乙氧基、i-甲基i-异丙氧基乙竊、i-甲基i-正丁竊乙氧基、i-甲基i-异丁氧基乙氧基l-甲^i-仲丁氧基乙氧基、i-甲基i-叔丁氧基乙氧基、i-甲晷i-环戊氧基乙氧基i-甲募i-环己氧基乙氧基、i-甲基-i-降冰片氧基乙氧基、i-甲基-i-冰片氧基乙氧基、i-甲基i-苯氧基乙縫、l-甲基Hi-萘i^)乙氧基i-甲基i-15节氧基乙氧基、l-甲基-l-苯乙氧基乙氧基、l-环己基l-甲氧基乙氧基、1-环己基i-乙氧基乙氧基i-环己蟇i-正丙縫乙氧基、i-环练i-异丙氧基乙M、i-环己蟇i-环己氧基乙氧基、i-环己蟇i-魏基乙氧基i-环己蟇i-节氧基乙氧基、i-苯基i-甲氧基乙氧基、i-苯蟇i-乙氧基乙氧基i-苯吝i-正丙氧基乙氧基、i-苯基i-异丙氧基乙氧基i-苯基i-环己氧基乙氧基、i-苯基i-苯氧基20乙氧基、l-苯基l-豫基乙氧基、l-节基l-甲氧基乙竊、l-节基l-乙氧基乙氧基、l-节基-l-正丙氧基乙氧基、l-节蟇l-异丙氧基乙氧基、l-节蟇l-环己氧基乙氧基、l-节基l-苯氧基乙氧基、l-节基-l-节氧基乙氧基、1-甲氧基环戊氧基、1-甲氧基环己氧基、2<2-甲基四氢呋喃萄氧基、2<2-甲基四氢枇喃萄氧基等。在这些縮酮形成性官能团中，雌l-甲S4-甲氧基乙氧基或l-甲基l-25环己氧基乙氧基。(A)聚合物优选是含有(al)、(a2)以及(a3)的聚合性混合物在上述式(l)或上i2^(2)标的化糊的雜下进行活性自由錢合得至啲聚合物，其中，所述(al)为选自不饱和羧酸和不饱和羧酸断以下将这些总称为"化，(al)")中的至少一种；所述(a2)为含有环氧乙烷基或氧杂环丁基的不饱和化合物(以下称为30"化合物(a2)");所逸a3)为除(al)和(a2)以外的不饱和化合物，是M中没有缩醛结构、縮酮结构或叔丁氧基羰基结构的不饱和化合物(以下称为"化合物(a3)")。例如，(A)聚合物可以通过如下方法制备在适当的溶剂中，在聚合引发齐诉口上述式(1)或(2)表示的化合物的存在下，使含有化合物(al)、化合物(a2)和5化合物(a3)的聚合性混合物进行活性自由錄合。由此得到的(A)聚合物所具有的羧基来自化合,，环氧乙織或氧杂环丁基来自化糊(a2)。聚合物(A'1)雌魏过在适当的翻冲，在聚合弓1发齐卿上述式(1)爽2)表示的化合物的存在下，使含有化合物(a2)、化合物(a3)和化合物(a4)的聚合性混合物进行活性自由基聚合得至啲聚合物，其中，所述化合物(a4)为分子中具io有选自缩醛结构、缩酮结构和叔丁氧基羰基结构中的至少一种结构的不饱和化合物(以下称为"化合物(a4)")。另外，聚合物(A'2)雌在适当的翻忡，在聚合弓l发齐诉口上述式(l)爽2)标的化，的雜下，使含有化合物(a2)和化合物(a3)的聚合性混糊进fr活性自由錢合得到的聚，。i^化合物(al)(a4)都，是具有自由合性的化，。15下面，对用于制it(A)聚^^(A')聚合物的活性自由S^合进行说明。关于将聚合性不饱和化働或其混合物进行自由錢合的自由錢合弓l发剂体系，有多种提案，例如M.K.Georgesetal.，Macromolecules,1993，Vol.26，p.2987中公开了所谓的TEMPO体系；Matjjaszewski改al.，Macromolecules,1997，Vol.30，p.7348中公开了含有溴化铜和含溴酯化合物的组合的体系；20Hamasaki，S.etal,，Macromolecules,2002，Vol.35，p.2934中公开了含有四氯化碳和钌(II)络，的组合的体系；i)fi午3639859号(特表2000-515181号)、特表2002-500251号、特表2004-518773号、特表2002-508409号、特表2002-512653号、特表2003-527458号、特i午3634843号(特表2003-536105号公报)及,2005-503452号中公开了含有25链转移常数大于0.1的硫羰化，和自由基弓l发剂的组合的体系。但是，本发明人发现，含有某种聚合物的固化性树脂组，满足作为固化膜所要求的各种特性，且可以抑制膜形成工序中烧结时升华物的产生，从而完成了本发明，所述聚合物，过使用特定的硫羰化合物的活性自由基聚合得到的具有特定结构的聚，。30在合成本发明中4顿的聚合物的活性自由錢合中，鹏上述式(1)或(2)标的化糊。在j^:(i)中，p为i或i以上的皿，,为i4的m，更,为l或2。作为战式(1)中的Z的卤原子，例如可列举氯原于、溴原于、氟原子等；5作为碳原子数为120的織，例如可列举甲基、乙基正丙基异丙基正丁基异丁基仲丁基叔丁基正戊基l，l-二甲基丙基、新戊基、正己基、正庚基、正辛基、1,1-二甲^3，3-二甲基丁基、正壬基正癸基、正十二烷基、正十四烷基、正十7^烷基、正十八烷基、正二"h^等；作为碳原子数为220的烯基，例如可列举乙烯基、烯丙基、l-丙烯基、2-丙10烯基、异丙烯基、l曙丁烯基、2-丁烯基等；作为碳原子f^620的芳基搬呵列举苯基、l-織、2-萘基、l-蒽基、9-蒽基等；作为碳原子数为720的芳烷基，例如可列举节基、a-甲基节基、cm-二甲基节基、苯乙基等；15作为碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环基团，例如可列举环氧乙麟、吖丙啶基、2-呋喃基、3-呋喃基、2-四氢呋喃基3-四氢呋喃基、1-卩比咯基、2-吡咯基、3-吡咯基、l-吡咯院基、2-吡咯烷基、34i比咯烷基、吡阵l-基吡唑-3-基、2-四氢吡喃基、3-四氢吡喃基、4-四氢吡喃基、2-于7二几基、3-于7二Jl/基、4-于7二Jl/基、2-吡啶基、3-吡啶基、4-吡喷基、2-哌啶基、3-哌淀20基4-哌啶基、2-吗啉基、3-吗啉基、2-咪唑基、4-咪唑基、吲哚-l-基等。作为战式(l)中的Z1的雌具体例子，例如可列举氢原子、氟基、氯原子、羧基、十二離、十八烷基乙氧基、丁氧基羰基、苯基苯氧基、二甲基氮基、二乙基氨基、二甲基氨基羰基、二乙基氨基羰基、2-咪唑基、1-吡唑基l-柳維、基团-P(^OXOCft)2、基团-P(OXC晶)2、基团-P(OX0QH^、25基团-N(CA)N(CH》QK))CH2F、基团-N(QH^、基团-N(CeH5)CH3等。在J:iM(l)中，作为"l时的W的碳原子数为120的烷基、碳原子数为320的1价脂环族烃基、碳原子数为220的烯基、碳原子数为620的芳基碳原子数为720的芳烷基或碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价，基团和卤原子，可以列举与上述Z1的分别对应的基团或原子同样的基30团或原子。另外，作为碳原子数为320的1价脂环族烃基，例如可列举环戊基、环己基、环，基、环己烯基等。作为，式(l)中『l时的Ri的,具体例子，例如可列举氢原子、氰基、叔丁基、节基、2-(2-氰萄丙基2-縣乙基2-(2-羟萄丙基、2-羟基苯基、2<2-羧基)丙基、2<2-乙#^羰萄丙基、2<2-环氧乙'^^丙基等。5上^:(1)中p为2或2以上时R1为从碳原子数为120的烷烃中除去p愧原子得到的p价基团、从碳原子数为620的芳烃中除去p个氢原子得到的p价基团、或从碳原子与杂原子的^i十原子数为320的1价杂环化合物中除去p个氢原子得到的p价基团，作为il^碳原子数为120的烷烃，例如可列举甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷、异丁烷、正鹏、异鹏、新鹏、正己烷、io正庚院、正辛院、正壬烷、正癸院、正十二烷、正十四烷、正十六烷、正十八烷、正二十烷等；作为碳原子数为620的芳烃，例如可列举苯、1,4-二甲基苯、1，2,4,5-四甲基苯、1,2,3,4,5,6-六甲基苯、1,4-二异丙基苯、萘、蒽等；作为碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环化合物，例如可列举环15氧乙烷、吖丙啶、呋喃、四氢呋喃、吡咯、吡咯烷、吡唑、四氢吡喃、于7〉、吡啶、哌啶、吗啉等。另外，作为齒原子，可以列举和，力的卤原子同样的离原子。作为，式(l)中p=2时的R1的，具体例子，例如可列举下式g的2价基团等。20一c—ch2—c一II6mcni^(2)中，m为2或2以上的麟，雌为24的纖，更雌为2。J^(2)中的Z2为从碳原子数为120的烷烃中除去m个氢原子得到的m价基团、从碳原子数为620的芳烃中除去m个氢原子得到的m价基团、25或从碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环化合物中除去m个氢原子得到的m价基团，作为战碳原子数为120的烷烃、碳原子数为620的芳烃和碳原子与杂原子的合计原子数为320的1价杂环化合吻，可以列举和战式(l)中p为2或2以上时的R1的分另树应的化糊同样的化激。上述式(2)中p=2时Z2的雌具体例昔咖有1,4-棘基等。作为，式(2)中R2的碳原子数为120的烷基、碳原子数为320的1价月新族烃基、碳原子数为220的烯基、碳原子数为620的芳基、碳原子数为720的芳、碳原子与杂原子的^i十原子数为320的1价杂环基团5和卤原子，可以列举和i^:(l)中p=l时的R1的分别对应的基团或原子同样的基团或原子。作为战式(2)中R2的雌具体例子，可以列举和作为J^^(1)中p=l时的R1的雌具体例子的i^基团同样的基团。作为上述式(1)或战式(2)所示化合物的具体例子，可以列举下式(T-1)io(T-21)録的化，等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>这些硫羰基硫化合物既可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合使用。5Xt活性自由錢合中舰的自由錢合引发剂没有特别限制，可以舰通常作为自由基聚合引发剂已知的物质，例如有27-偶氮二异丁腈、2，2'-偶氮二(2,4-二甲基戊職、2，2，-偶氮二(4-甲氧蟇2，4-二甲基戊職等偶氮化合物；过氧化苯甲酰、过氧化月桂酰、l,l'-双(叔丁基过氧)环己烷、过氧化新戊酸叔丁酉旨等有机过氧化物；过氧化氢；含有这些过氧化物和还原剂的氧化还原类引发10剂等。这些自由基引发剂既可以賴虫使用，也可以将两种或两种以上混合使用。对于活性自由錢合中顿的翻IJ，只要活性自由基不失活就没有特另顺制，例如有丙二醇一甲基醚、丙二醇一乙基醚等丙二醇一^^化^th乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙^IB、二乙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二15醇乙基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二丙二醇乙基醚乙酸酯寧聚)亚皿二醇烷Si!乙酸酯化^th二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、二丙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二乙基醚寧聚)亚烷基二醇二皿醚化她20四氢卩夫喃等其它il化合物；甲基乙基酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮化合物；双丙酮斷即4-羟S4-甲基Zfe^-2-,、4-羟S4-甲基己烁2-酮等酮醇化合物；乳酸甲酯、学L酸乙酯等乳麟基酯化，；2-羟吝2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙25酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲蟇3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基3-甲錢丁基丙酸酯、乙酸乙酉旨、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯化，；5甲苯、二甲苯等芳烃化合吻；N-甲掛比咯烷酮、N,N-二甲基甲醐安、N,N-二甲基乙醐安等醐刻七^tl等。在这些翻J中，考虑到帝喊固化性树月離，时各成分的溶解性、鹏形成性等，雌丙二醇一甲基醚、乙二醇一甲基醚乙酸酯、丙二醇一甲繊乙酸酉旨、丙二醇一乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇二甲、二io乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二甲基醚、环己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酉旨、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙,戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。Jl^翻J既可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合使用。l5在活性自由錢合中，相对于全部不饱和化合物100重量份，战式(l)或战式(2)标的化合物的{顿量雌为0.150重量份，更雌为0.216重量份。相对于飾不饱和化合物100重量份，自由錢合引发齐啲^顿量优选为0.150重量份，更雌为0.120重量份。聚合鹏雌为0150。C，更雌为50120。C，聚合时间雌为10辦中20小时，更雌为30辦中206小时。为了合爽A)聚合物而^^使用的化合物(al)皿自具有自由合性的不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种。化^t/(al)例如有一元羧酸、二元羧酸、二元羧酸酐、多元羧酸的一[(甲萄丙烯酰氧基烷基]酯、两鄉分别具有羧凝啦基的聚合物的-i甲基)丙烯酸25酯、具有羧基的多环化^tl及其酸酐等。另外，在本说明书中，"(甲萄丙烯酸酯"是将丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯综合了的船。"(甲萄丙烯酰織"等其它类似的用语也应作同样的。作为它们的具体例子，可列举如下一元羧酸有例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等；30二元羧酸有例如马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣条二元羧酸酐有例如作为，二元羧,lj举的上述化合物的酸酐等；多元羧酸的一[(甲萄丙烯酰氧基烷萄酯有例如琥珀酸一[2"(甲萄丙烯酰氧基乙蜀酯、苯二甲酸一[2《甲萄丙烯酰氧基乙萄酯等；两末端分别具有羧凝啦基的聚合物的1甲萄丙烯酸酯有例如碰錢己内5酉旨1甲萄丙烯酸酯条具有羧基的多环化合物及其酸酐有例如5-羧基二环[2.2.1庚-2-烯、5，6-二羧基二环[2.2.1庚曙2-烯、5誦羧基5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二环[2.2.1]庚画2-烯、5-羧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5醫羧勒-乙基二环[2.2.1]庚醫2-烯、5，6>二羧基二环[2.2.1]庚-2-烯的酸酐等；10在这，质中，，f，一元羧酸、二元羧酸的酸酐，从共聚反应性、相对于碱性7jC溶液的溶解'隨容易获得的角度考虑，特别雌{顿丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐。这，质既可以单独使用，也可以组合使用。另外，在活性自由錢合时，可以在利用适当的^^^^战化^/(al)具有的羧基或酸酐基进行聚合后，进行脱傲户。15为了合贿A)聚合物爽A，)聚合物而雌4顿的化储(a2)是具有自由錢合性、且含有环氧乙烷基戯^jfr基的不饱和化合物。具有环氧乙烷基的化合物(a2)有例如丙烯酸縮7K甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸縮7jC甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮7jC甘油酯、丙烯酸3,4-环氧乙烷基丁酯、甲基丙烯酸3，4-环氧乙烷基丁20酯、a-乙基丙烯酸3，4-环氧乙烷基丁酯、丙烯酸6，7-环氧乙烷基庚酯、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚酯、a-乙基丙烯酸6，7-环氧乙烷基庚酯、丙烯酸p-甲基縮7jC甘油酯、甲基丙烯酸p-甲基縮水甘油酯、丙烯酸P"乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸P-乙基縮7jC甘油酯、丙烯酸P-正丙基縮7jC甘油酯、甲基丙烯酸IHE丙基縮水甘油酯、丙烯酸3,4-环氧乙烷餅己酯、甲基丙烯酸3,4-环氧乙烷fflF己25酉縛具有环氧乙織的羧酸酯化，；邻乙烯基节基缩7K甘油醚、间乙烯基节基縮水甘油醚、对乙烯基节水甘油,具有环氧乙烷基的醚化^l等。另外，具有氧杂5fT基的化合物(a2)有例如丙烯酸3-乙基3-氧糾丁酯、甲基丙烯酸3-乙蟇3-氧杂ifT酯等。30在这些化^tl(a2)中，从共聚反应性和提高得到的固4的强度方面考虑，优选甲基丙烯,7K甘油酯、甲基丙烯酸6，7-环氧乙^^庚酯、甲基丙烯酸3,4-环氧乙烷餅己酯、甲基丙烯酸P-甲基縮7K甘油酯、邻乙烯基节基縮水甘油醚、间乙烯基节基縮7jC甘油醚、对乙烯基节基縮7jC甘油醚、甲基丙烯酸3-乙基3-氧杂环丁酯等。5Jd^化合物(a2)既可以斜虫使用，也可以将两种或以上混合使用。为了合爽A)聚合物或(A')聚合物而，使用的化合物(a3)是斷al)和(a2)以夕卜的具有自由錢合性的不饱和化合物，是分子中没有縮醛结构、縮酮结构或叔丁氧基羰基结构的不饱和化，。化合物(a3)有例如甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸环烷基io酯、具有羟基的甲基丙烯酸酯、丙烯酸环烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳基酯、不饱和二元羧酸二酯、二环不饱和化合物、马来酰3BK化合物、不饱和芳香族化糊、共轭二麟。作为这些化，的具体例子，甲基丙烯M^酯有例如甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、15甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯^^癸酯、甲基丙烯酸正十二皿酯、甲基丙烯酸十三麟酯、甲基丙烯酸正十八驢酯等；丙烯麟基酯有例如丙烯酸甲酯、丙烯麟丙酯等；甲基丙烯酸环烷基酯有例如甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸2-甲,己酯、三环[5,2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯、三环[521伊6]癸烷-8-基氧基乙基甲基丙烯20酸酯、甲基丙烯^)K片萄々乂求口二^)酯等；具有羟基的甲基丙烯酸酯有例如甲基丙烯酸羟基甲酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸3-羟基丙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、二乙二醇一甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸2,3-二羟基丙酯、2-甲基丙烯酰氧乙基糖苷(2—y夕夕U口丰^工于^^U〕廿^卜0、甲基丙烯酸4-羟基苯酯、聚乙二醇一25甲基丙烯酸酯、聚丙二醇一甲基丙烯酸酯等；丙烯酸环^S酯有例如丙烯酸环己酯、丙烯酸2-甲餅己酯、三环[5.2丄0^6]癸烷國8-基丙烯酸酯、三环[5.2丄0^]癸烷-8-難基乙基丙烯酸酯、丙烯酸^ftK片基酯等；甲基丙烯酸芳基酯例如东甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯,酯導30丙烯酸芳基酯有例如丙烯酸苯酯、丙烯,酯等；不饱和二元羧酸二酯有例如马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；二环不饱和化合鹏例如二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基二环[2.2.1〗庚-2-烯、5-乙氧基1[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基二环[2.2.1〗庚-2-烯、5，6-二乙氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基5二环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己flS羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯f(S羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-r(叔丁氧基羰基)二环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-r(环B^竊羰基)二环[2.2.1]庚画2-烯、5<2，-羟基乙萄二环[2.2.1]庚-2-烯、5,6曙二羟基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羟基甲萄二环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2，-羟基乙萄二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟蟇5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟蟇5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲蟇5-10甲基二环[2.2.1]庚-2-,;马来M胺化合物有例如N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚氨募3-马来酰亚氨基苯甲酸酯、N-琥珀酰亚氨基"4-马来酰亚氨基丁酸酯(71^三卜7于k一卜)、N-琥珀酰亚氨S"6-马来M氨基己酸酯、N-琥珀StM氨蟇3-马来mM氨基丙酸酯、N《9-吖啶萄马来酰鹏等；15不饱和芳香族化糊有例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯等；共轭二烯有例如1，3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯等；其它不饱和化合物有例如丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯,、甲基丙烯,、乙酸乙烯酯、(甲萄丙烯酸四漏縛。20其中，使用甲基丙烯,基酯、甲基丙烯酸环烷基酯、具有羟基的甲基丙烯酸酯、二环不饱和化合物、不饱和芳香族化合物、共轭二烯，其中，从共聚反应性和相对于碱性7jC溶液的溶解性的角度考虑，特别雌苯乙烯、甲基丙烯酸叔丁酯、三环[5.2丄0^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯、对甲縫苯乙烯、丙烯酸2-甲基环己酯、1，3-丁二烯、聚乙二醇一甲基丙烯酸酯、聚丙二醇一甲基丙25烯酸酯、二环[2.2.1]庚-2-烯、甲基丙烯酸四氮糠酯。这些化合物物既可以单独使用，也可以组合使用。为了合成(A')聚合物而优选使用的化合物(a4)是分子中具有选自縮醛结构、缩酮结构和叔丁氧基羰基结构中的至少一种结构的不饱和化合物。化合物(a4)有例如具有选自缩醛结构、縮酮结构和叔丁氧基羰基结构中的30结至少一种构的降冰片烯类化合物(以下称为"特定降冰片烯类化合物")、具有选自縮醛结构和缩酮结构中的至少一种结构的(甲萄丙烯酸酯化合物(以下称为"特定(甲萄丙烯酸酯化合物")、(甲萄丙烯膨叔丁酯等。J^特定降冰片烯类化合物的具体例子有例如2,3-二(1-甲氧基乙氧基羰基"-降冰片烯、2,3-;1-叔丁氧基乙氧基羰萄画5-降冰片烯、2,3-ZXl-賴基乙5f(^羰基)-5-降冰片烯、2,3-1!(1-甲吝1-甲氧基乙氧基羰基>5-降冰片烯、2，3-二(1-甲基1-异丁氧基乙^^羰基)-5-降冰片烯、2，3-二((环己基)(乙氧蜀甲氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二((节基)(乙^^)甲錢羰基)~5-降冰片烯、2，3-ZX四氢呋喃-2-^(S羰基)-5-降冰片烯、2,3-ZX四都比膝2-基HS羰基"-降冰片烯、2，3-;叔丁氧基羰基)-5-降冰片,。ioJd^特定(甲萄丙烯酸酯化合物的具体例子有例如(甲萄丙烯酸1-乙氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-正丙氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-正丁氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-异丁氧基乙酯、(甲蜀丙烯酸K环戊氧基)乙酯、(甲萄丙烯酸1<环己氧萄乙酯、(甲萄丙烯酸l"(l，l-二甲基乙氧蜀乙酯、(甲萄丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酯等。15在这些化合物(a4)中，tt^特定(甲萄丙烯酸酯化^I或(甲萄丙烯酸叔丁酯，特别雌甲基丙烯酸1-乙乙酯、甲基丙烯酸1-异丁縫乙酯、甲基丙烯酸l-(环戊氧萄乙酯、甲基丙烯酸K环己氧基)乙酯、甲基丙烯酸l"(U-二甲基乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酯或甲基丙烯酸叔丁酯。这，选的化合物(a4)共聚反应性高，得到保存稳定性和平坦化性能优良的固化20性树月離，的同时，对提高得至啲固j機的耐热性、表面5顿是有效的。，不饱和化合物(a4)既可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合使用。如J^f述，(A)聚，雌是含有化合tKal)、化^l(a2)和化^t/(a3)的聚合性混合物&id^(l)爽2)所示的化合物存在下进fr活性自由S^合得到的聚25，o另一方面，作为(A，)聚，的雌方式之一的聚^;(A，i)雌是含有化合物(a2)、化合物(a3)和化合物(a4)的聚合性混合物在，式(l)爽2)所示的化合物存在下进行活性自由錢合得到的聚合物。另外，作为(A')聚合物的另一种优选方式的聚合物(A，2)，是含有化合物(a2)和化合物(a3)的聚合性混合物在上30述式(l)^(2)所示的化^J存在下进fi^活性自由,合得到的聚合物。在(A)聚合物中，以由化合物(al)、(a2)和(a3)銜生的结构单元总量为基准，由化合物(al)衍生的结构单元的含量优选为550重1%，更优选为10~40重M%，进一步优选为1030重量％。这时，如果该结构单元的含量低于5重量%，则得到的固化膜的强度赃、耐热性、耐化学药品性有降低的倾向，另一方面，5如果超过50重*%，贝陏时固化性树脂组合物的保存稳定性降低。以由化合物(al)、(a2)和(a3)衍生的结构单元总量为基准，本发明中使用的(A)聚合物含有由化化合物(a2)銜生的结构单元1070重量％,特别优选含有2060重量%。当该结构单元低于10重量%时，得到的固化膜的耐热性、表面硬度有降低的倾向，另一方面，当该结构单元的量超过70重量%时，固化性树脂组合物的保存稳定性有降低的倾向。以由化合物(al)、(a2)及(a3)衍生的全部结构单元为基准，本发明中使用的(A)聚合物优选含由化合物(a3)衍生的结构单元570重量％,更优选含有1060重量%，进一步i优选含有2050重量%。当该结构单元低于5重量%时，固化性树脂组合物的保存稳定性有降低氏的倾向，另一方面，当超过70重量%时，在形成固化膜的显影工序中，有时难以溶解于碱性水溶液。祖(A'1)聚合物中，相对于所有重复单元，来自化合物(a2)的重复单元的含量优选为1070重量％，特别优选为2060重量％。当来自化合物(a2)的重复单元的含量低于10重5%时，保护膜的耐热性、表面硬度有降低的倾向，另一方面，当超过70%时，组合物的保存稳定性有降低的倾向。(A，l)聚合物中来自化合物(a4)的重复单元的含量优选为5—0重量％，特别优选为1050重量％。通过将来自化合物(a4)的重复单元的含量设定在该范围内，可以实现保护膜的良好的耐热性和表面硬度。(A，l)聚合物中来自化合物(a3)的重复单元的含量为从100重量％中减去来自化合物a2)和化合物(a4)的重复单元的合计含量得到的量，相对于全部重复单元，其优选为1080重量％，更,为优选2060重量％。在(A'2)聚合物中，来自化合物(a2)的重复单元相对于所有重复单元的含量优选为190重量％，特别优选为4090重量％。当来自化合物a2)的重复单元的含量低于1重量％时，固化膜的耐热性、表面硬度有降低的倾向，另一方面，如果超过90重量,则组合物的保存稳定性有降低的倾向。(A'2)聚合物中来自化合物(a3)的重复单元的含量为从100重量％中减去来自化^(a2)的重复单元的含量得到的量。如JJf述，本发明中^ffl的(A)聚^tJ爽A')聚合物Ji3I31将不饱和化合物进疗活性自由基聚合得到的，在活性自由錢合时，将战式(l)或Jd^式(2)表示的化合物用作舒量控制剂。因此，(A)聚糊、(A，)聚合物中具有来自于上5^;(l)表示的化合物的下式(i)^的基团或来自于，式(2)表示的化，的下式00表示的基团。SII——C一S—(i)(式①中，Z和战攻l)中的定义相同，式(ii)中，2和m与上述式(2)中的定义io相同)。其中，上喊i)标的基团^t位于(A)聚合物魂A，谬，的^^0本发明中4顿的(A)聚合物爽A')聚^t/用繊渗跪谱法测定的聚苯乙烯换算重均肝量(以下称为"Mw")与棘乙烯换算数均舒量(以下称为"Mn")之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，优选为1.5或1.5以下。如果Mw/Mn1.7，15贝U有附寻到的固4鹏的耐热性不足。Mw雌为2X1031X105，更雌为5X1035X104。如果Mw低于2X103,则有时组合物的涂布性不够，或者得至啲固化膜的耐热性不足。另一方面，如果Mw超过lX105，则有时灵鹏或得到的固化膜的平坦化性能不够。MniM为1.2X1031X105，更雌为2.9X1W5X104。要说明的是，，比Mw/Mn应以2位有效数字(小数点以后201位)的精确;gi^ffi刊介。而且，本发明中f顿的(A)聚合物爽A')聚^tl滞赚渗跪谱法测定的残留单体量雌小于5.0%，更雌小于3.0%，特别雌小于2.0%。MiH顿这样的残留单体含量的共聚物，可以得到烧结时的升减少的固化性树脂组合物。25本发明的固化性树臌且，含有如上戶牖的(A)聚合物爽A')聚合物。在不影响本发明的效果的范围内，本发明的固化性树月離^)可以将(a:)聚，爽a，)聚合物的一部分用其它聚，代替。这时，在制备组合物时，可以将另外合成的其它聚合物混合j鲷，或者也可以在合爽a)聚合物爽a，)聚合物时，S31将Jd^(l)爽2)，的化合物和其它^^量控制剂，例如ct-甲基苯乙烯二聚物、5叔十二烷硫醇等一种或一种以上并用，将其它聚^t/与(A)聚，^(A，)聚合物—起合成而舰的方法。含有(a)聚合物的固化性树月彰且^tHM为:除了聚，(a)之外，还含有(B)聚合性不饱和化储和(c)鄉线鹏性聚合引发齐啲组^tl(以下有时称为"第一组合物")；除了(A)聚合物之外，还含有p)l》醌二叠氮化合物io(1，2—牛乂；^7^F化合物)的组，(以下有时称为"第二组糊")；或除了(a;)聚合物之外，还含有(e)阳离子聚合性化合物的组^tl(以下有时称为"第三组^tl")。第三组^^^含有(f)固化剂^(g)自生剂。另一方面，含有(a')聚合物的固化性树脂组合物，为除了(a')聚合物之外，还含有(e)阳离子聚合性化，的组合顿以下有时称为"第四组，")，15或者含有第一液和第二液的二液型固化性树脂组合物，所述第一液含有(a')聚合物和(e)阳离子聚合性化合物，所述第二液含有(io固化剂(以下有时称为"第五组，")。在此，作为(a，)聚，，碟四组合物中雌为上述(a，1)聚合物爽a，2)聚合物，在第五组合物中优选为上述(a，2)聚合物。第四组合物优选还含有(f)固化剂爽g),生剂。20下面对第一至第五组，依次进，明。<第一组^#>第一组合物雌为含有(a)聚合物、(B)聚合性不饱和化，和(c)娜线敏感性聚合弓l发剂的娜线idi性树脂组^Jo25作为用于第一组合物的(a)聚合物的tm具体例子，可列举例如苯乙烯/甲基丙烯酚三环[5.2.1伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯酶三环[5.2丄02'6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醵甲基丙烯酸缩水甘油酉i/l,3-丁二烯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯敏丙烯酶甲基丙烯酸节酚甲基丙烯酸正丁醱甲基丙烯酸3-乙基-3-氧杂环丁酯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯膨甲30基丙烯^f酉g/甲基丙烯酸四織酉^甲基丙烯酸甲基缩7K甘油酯共聚物等。第一组合物中伏选^的(B)聚合性不饱和化^Wt选2官能或2官能以上的(甲萄丙烯酸酯。作为2官能(甲萄丙烯酸酯，可列鄉咖乙二醇丙烯酸酯、乙二醇甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙5烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、)^氧基乙醇荷二丙烯酸酯、)51^乙,二甲基丙烯酸酯等。这样的2官能的(甲萄丙烯酸酯的市售品有例如7口二、:;夕义M-210、7口二、v夕乂M-240、7口二、v夕又M-6200(以上为东亚合成(株)制)、10KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR掘、UX陽2201、UX曙2301、UX-3204、UX-3301、UX4101、UX4101、UX-710KUX-810KMU-2100、MU400i(以上为日本化药(株)制)、匕7:n—卜260、匕x:i—卜312、匕7〕一卜335HP(以上为大阪有机化学IDlk(株)带J)等。3官能或3官能以上的(甲萄丙烯酸酯有例如三羟甲基丙^H丙烯酸酯、15三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、^戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙萄磷酸酯等，除Jlfct外，还有由具有1MM烷M鹏环结构且具有2个或2个以上异氰酸酯基20的化，与肝内具有1个或1个以上羟基且具有351X甲萄丙烯酰M的化糊反应得到的尿烷丙烯酸,urethaneacrylate诱化糊等。3官能或3官能以上的(甲萄丙烯酸酯的市售品有例如r口二y夕久M-309、7口二、:;夕又400、7口二y夕久402、7口二7夕久405、7口二、y夕又450、7口二y夕又-1310、7口二y夕又-1600、7口二、y夕又-251960、7口二"夕又-7100、7口二y夕又-8030、7口二、v夕又-8060、7口二y夕久-8100、7口二、V夕又-8530、7口二、V夕又-8560、f口二y夕又-9050、7口二、:;夕又TO-1450(以上为东亚合成(株)铜J)、KAYARADTMPTA、KAYARADDPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA-30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA-120、KAYARADMAX-3510(以上为日本化药30(株)制)、匕X〕一卜295、t:'7:3—卜300、匕Xn—卜360、tl'7〕一卜GPT、匕'7〕一卜3PA、匕7〕一卜400(以上为大阪有机化学工业(株)糊、作为尿烷丙烯酸酯类化合物的二工一7口:/于7R-1150(第一工业制药(株)鄉、KAYARADDPHA-40H(日本化药(株)帝ij)等。在本发明中，(B)聚合性不饱和化合物既可以单独使用，也可以将两种或5两种以上混合舰。相对于100重量^(A)聚^tl，第一组^/中(B)聚合性不^^口化^t/的使用量雌为10150錢份，进一步雌为20120重量份。当(B)聚合性不饱和化，的{顿量低于10重量份时，有形鹏厚均匀的涂膜变得困难的倾向，另一方面，如果^1150M份，则有其与的密合性斷氐的倾向。10第一组合物中优选使用的(C)放射线敏感性聚合引发剂是感应放射线而产生可以弓l发问聚合性不饱和化合物聚合的活性种的成分。这样的(C)放射线敏感性聚合弓l发剂可以^t使用例如放射线敏感性自由錄合引发剂。作为±^方謝线性自由錢合弓l发剂，可列鄉i洳丁二酮等a-二酮；15苯偶姻等偶姻；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙醚等偶姻醚；噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨H4遞酸、Z^甲酮、4,4，-观二甲基氨萄二苯甲酮、4,4，-双(二乙基氨蜀二苯甲酮等二苯甲酮类；苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、4-(叫，-二甲氧基乙酰氧萄二苯甲酮、27-二甲氧S"2-苯基苯乙酮、对甲氧基苯乙酮、2-甲基2-吗啉Hl-(4-甲硫基苯教methylthiophenyl》-l-丙酮、2-苄20蟇2-二甲基氨蟇K4-吗啉代苯基》丁烷-l-,苯乙,；蒽醌、1,4-萘醌等醌;苯甲酰甲基氯、三溴甲基苯基砜、三(三氯甲基)-s-三嗪等卣化物；2，4，6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦、双(2,4，6-三甲基苯甲酰)苯魏化,酰基氧4揚；二-叔丁基过氧化物等有机过氧化物等。25放射线敏感性自由基聚合引发剂的市售品有例如IRGACURE"124、IRGACURE-149、IRGACURE484、IRGACURE"369、IRGACUR&500、IRGACURE-651、IRGACURE819、IRGACURE"907、IRGACUR&腦、IRGACURE^1700、IRGACUR&1800、IRGACURE"1850、IRGACURE"2959、Darocur-1116、Darocur-1173、Darocur-1664、Darocur-2959、Darocur"4034(以上30为于八*久《、〉中^于Y亇^力^X公司制)、KAYACURE"DETX、KAYACURE-MBP、KAYACURE~DMBI、KAYACUR&"EPA、KAYACURE"OA(以上为日本化药(株)制)、LUCIRINTPO(BASF公司制)、VICUR&10、VICURE-55(以上为STAUFFER公司制)、TRIG0NALP1(AKZ0公司制)、SANDORAYIOOO(SANDOZ公司制)、DEAP(APJOHN公司制)、5QUANTACUR&PDO、QUANTACURE"TDC、QUANTACURE"EPD(以上为WARDBLEKINSOP公司带J)等。这样的(C)放射线敏感性聚合弓l发齐呵以单独舰，也可以将两种或两种以上混合舰。相对于100重量你A)聚，，第一组，中(C)方熵线敏感性聚合引发剂io的f顿量鹏为l40重量份，进—步雌为335重量份。当(C)娜线敏感性聚合引发齐啲4顿量低于1重量份时，有时得到的固鹏的耐热性職面硬度、耐化学药品性斷氐，另一方面，如果舰40重量份，贝隨明性有斷氐的，一组合物中，通过将1种或多种放射线敏感的敏化剂和(C)放射线敏15感性聚合引发剂并用，还可以得到由空气中的氧导致的失活少、髙灵鹏的放射线敏感性固化性树脂组糊。这样的放射线敏感的敏化齐陏例如N-甲基Z1乙醇胺、4,4，-双(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4，-双(二乙基氨萄二苯甲酮、对二甲基氨基苯甲酸乙酯、对二甲基氨基苯甲酸异戊酯、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮4-磺酸等。在这些敏化剂20中，雌4，4，-观二乙基氨萄1甲酮或2，4-二乙基噻吨酮。这些方謝线敏感的敏化齐阿以同时舰两种或两种以上。相对于100重量斷C)方M线敏感性聚合引发剂，JL^Mt线敏感的敏化剂的使用比例iM为40重量份或40M份以下，进一步,为20重量份或20重量份以下。如果方鄉线敏感的敏化剂的舰比例鹏40重量份，贝瞎时容25易发生显^留。除了上述(A)聚合物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂以外，在不影响本发明的效果的范围内，第一组合物可以根据需要含有除上述以外的任意添加剂。可以配合例如粘结助剂、表面活性剂、保存稳定剂、耐热性提高剂等任繊口剂。30上述粘结助剂是可用于提高得到的固化膜与的粘结性的成分。这样的粘结助剂雌具有羧基、甲基丙烯酰基、乙烯基异氰酸酯基、环氧基等反应性官能团的官能性^偶联剂，其具体例子有三甲氧基甲，基苯甲酸、，甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、，异氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、Y-环氧丙氧丙基三甲氧基硅5烷、|3-(3，4-环氧环己萄乙基三甲*1麟等。这些粘结助齐阿以郸似顿，也可以将两种或两种以上混合娜。相对于100錢傲A)聚，，粘结助剂的配^t雌为20SS份或20重量份以下，进1，为15重量份或15重量份以下。如果粘结助剂的配合M3120重量份，贝陏时容易发频繊留。ioJ^面活性剂是可用于提高涂布性的成分。这样的表面活性齐l鹏例如氟类表面活性剂、聚職烷类表面活性剂等。战麟表面活性布K^m主链和侧链的至少任一，位具有氟代烷基和/或氟代亚烷基的化合物，其具体例子有例如1，1,2,2-四氟正辛對1,152,2-四氟正丙基)醚、1，U,2-四氟正辛教正己萄醚、六乙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟正15戊蜀醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟正丁萄醚、六丙二醇Zl(l,1^2又^-六氟正戊萄醚、八丙二醇qi，l，2;2-四氟正丁基)醚、魏正十二烷基磺,、U，2，2,3,3-六氟正癸烷、l丄2，2,8,8,9,9,10,10-十氟正十二烷、氟代烷基苯磺酸钠、氟代垸基磷,、氟代'驢羧,、二甘油四(氟代烷錢氧乙烯i&、氟代烷基碘化铵、氟f^S甜娜、其它氟f^S^氧乙烯醚、全^S^羟基乙lf(perfluoro20alkylpolyoxyethanol)、全氟烷基烷氧基化物(perfluoroalkylalkoxylate)、羧酸氟代縫酯等。M^表面活性剂的市售品有例如:BM-1000、BM-1100(以上为BMCHEMIE公司制)、/对77、乂夕F142D、y"7:r、:/夕Fl72、y对7:r、:/夕Fl73、/"7:r、乂夕F183、y"77、:/夕F178、乂力77、乂夕F191、25乂对7:r7夕F471、/方7:r、乂夕F476(以上为大日本4>*化学工业(株)制J)、7口，一HFO170C、7口，一H-171、7口，一H430、:7口，一H"431(以上为住友》U—工厶(株)制)、廿一7口〉S-112、廿一7口〉S-113、廿一7口〉S-131、廿一7口〉S-141、廿一7口〉S-145、廿一!7口〉S-382、廿一7口〉SC-101、廿一7口〉SC-102、廿一7口〉SCM03、廿一7口〉SC-30104、廿一7口〉SC-105、廿一:7口〉SC-106(以上为旭硝子(株)制)、工7卜、乂:/EF301、工:7卜、乂7EF303、工:7卜y7。EF352(以上为新秋田化成(株)制)、7夕一^工〉卜FT誦100、7夕一2工〉卜FT-110、7夕一2工〉卜FT-140A、7夕一2工〉卜FT-150、7夕一^工〉卜FT-250、7夕一^工〉卜FT-251、7夕一;^工〉卜FT-300、7夕一2工>卜FT-310、57夕一^工〉卜FT400S、7夕一^工〉卜FTX-218、7夕一2工^卜FTX-251(以上为(株)木才》带J)等。J^聚硅酮类表面活性剂，可以歹U举用如下商品名市售的物质，例如有1~WJ〕一〉DC3PA、J"WJ〕一〉DC7PA、卜一WJ〕一^SH11PA、J~WJ:3—〉SH21PA、io1^—WJ〕一〉SH28PA、1~U^U〕一〉SH29PA、11/^U〕一〉SH30PA、卜一I^〉U〕一〉SH-190、卜一l^U〕一〉SH-193、卜一WJ〕力SZ德2、1WJ〕一〉SF-8428、1^一WJ〕一〉DC-57、卜一l^〉U〕一〉DC-190(以上为东l/.歹0〕一二>^〕一>(株)15帝ij)、TSF4440、TSF4300、TSF4445、TSF4446、TSF4460、TSF4452(以上为GE东芝〉D〕一>(株)鄉等。另外，作为战以外的表面活性剂，可以歹U举聚氧乙烯十二^、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙20烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等非离子型表面活性剂、有机硅氧織合物KP341(信越化学工业(株)制)、(甲基)丙烯酸类共聚物求ij7口一No.57、求U7C3—No.95(以上为共荣社化学(株)娜等。这驟面活性剂可以斜虫鹏，也可以将两种或两种以上混合舰。相对于100重量斷A)聚糊，表面活性齐啲配賴雌为1.0重量份或1.025重量份以下，进一步雌为0.5重量份或0.5重量份以下。这时，如驗面活性剂的配合翻过1.0重量份，则有时容易发生膜厚度不匀。作为战保存稳定剂，可列咖硫、酉跌、氢醌类、多氧化，、胺类、硝基亚硝基化合物等，更具体地可以列举4-甲氧基苯酚、N-亚硝募N-苯基羟胺铝等。30这對呆存稳定齐呵以斜虫舰，也可以将两种或两种以上混合^顿。相对于100錢斷A)聚，，保存稳定剂的配缝雌为3.0重量份或3.0重量份以下，进一步雌为0.5重量份或0.5重量份以下。这时，如果保存稳定齐啲配^S^13.0錢份，可能会使灵鹏陶氐，图案微劣化。作为上述耐热性提髙剂，可列鄉ij如N《烷氧基甲萄甘脲化合物、N-(烷5氧基甲萄蜜胺化，、具有2个或2个以上环氧乙烷基的化，等。作为上述1SK烷氧基甲基)甘脲化合物，可列举例如N,N,N，,N，-四(甲氧基甲萄甘脲、N，N,N，-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N，N，-四(正丙氧基甲基)甘脲、NXN，,N，-四(异丙縫甲基)甘脲、N，N，N，W-四(正丁氧基甲基)甘脲、N^N'W-四(叔丁氧基甲萄甘脲等。io在这些N"(烷氧基甲萄甘脲化，中，雌N，N,N，"，-四(甲氧基甲萄甘脲。作为战1SK烷縫甲萄蜜胺化糊，可歹U辦铷N,N,N，W,N"，N"-六(甲氧基甲基)蜜胺、N^NW,N，WW-六(乙氧基甲基)蜜胺、N,N，N，^N，，N",N"-六(正丙氧基甲萄蜜胺、N,N,NW，N",W'-六(异丙氧基甲萄蜜胺、N,NW，N'W,N"-15六(正丁氧基甲萄蜜胺、N凡N，,N，,N"W-六(叔丁縫甲萄蜜胺等。在这些N-(烷氧基甲萄蜜胺化糊中，鶴N，N,NW，N"，N"-7^(甲氧基甲基)蜜胺，其市售品有例如二力，、乂夕N-2702、二力，、乂夕MW-30M(以上为三和少$力A(株)帝J)等。作为上述具有2个或2个以上环氧乙烷基的化合吻，可列举例如乙二醇二20缩7K甘油醚、二乙二醇I^i水甘油醚、三乙二醇二縮7jC甘油醚、聚乙二醇J7jC甘油醚、丙二醇l7jC甘油醚、二丙二醇二縮7jC甘油醚、三丙二醇Z^7jC甘油醚、聚丙二醇二縮水甘油醚、新戊二醇rii7K甘油醚、1,6"己二醇rii水甘油醚、甘油二縮7jC甘油醚、三羟甲基丙^H^水甘油醚、氢tt^酚A二縮7K甘油醚、双酚A二缩水甘油醚等。25具有2个或2个以上环氧乙烷基的化合物的市售品有例如工求，汀卜40E、工求，^T卜100E、工求，吖卜200E、工求，^f卜70P、工求，^卜200P、工求，汀卜400P、工求，^f卜1500NP、工求，十卜80MF、工求，^卜100MF、工求，一卜1600、工求，吖卜3002、工求，一卜4000(以上为共荣社化学(株)审J)等。30这些耐热性提高齐呵以賴虫舰，也可以将两种或两种以上混合舰。第一组合物^1将上述(A)聚她(B)聚合性不饱和化合物和(C,线敏感性聚合弓l发剂以及任意添加的其它成分均匀混合而制备的。第一组合物优选溶解于适当的激仲以溶液状^OT。例如，可ii3i在适当的辭仲将Jd^(A)聚合物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合弓l发剂以及任意添加5的其它成分以规定比例混合，制备溶液状态的,线敏感性树H離，。对于制备第一组合物所用的mij，OT均匀溶if(A)聚合物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)方謝线敏感性聚合引发齐似及任意配合的其它成分的各成分，且与各成分不反应的,廿。作为这样的溶剂，可以列举与作为在制备上述(A)聚合物中可以使用的溶10齐IJ例/谢的激胴样的翻廿。在这样的自U中，从各成分的溶解性、与各成分的反应性和形^^膜的容易性等方面考虑，,使用例如醇、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、酯和二乙二醇。其中，特别雌f顿例如苄醇、2-苯乙S享、3-苯S-l-丙醉、乙二醇一丁基醚乙酸酯、二乙二醇一乙基醚乙酸酯、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基15甲基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇一甲基醚、丙二醇一甲基醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯、乙丙酸乙酯。而且，也可以将高沸点翻屿J^翻拼用。S31并用體的高沸点翻IJ，可期望提高膜厚的面内均匀性的效果。作为可以并用的高沸点」，可列，iJ如N-甲基甲,、N^N-二甲基甲ifei安、N-甲基甲酰替苯胺、N-甲基乙Stl安、20N^-二甲基乙醐安、N-甲掛比咯烷酮、二甲亚砜、节基乙基醚、二战醚、丙酮基丙酮、异佛尔酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、乙,酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、，丁内酯、碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯、乙二醇一苯醚乙酸酯等。其中，雌N-甲勘比咯烷酮、，丁内酯、N，N-二甲基乙,。在并用髙沸点翻U作为第一组合物的翻'财，相对于激脇量，其舰量25itii为50重量％或50重量％以下，更皿为40重1%或40重量％以下，进一步优选为30重量％或30重量％以下。如果高沸点溶剂的OTM31该OT量，贝陏时凃膜的膜厚均匀性、灵鹏和鄉率陶氐。在将第一组，制备^^液状态时，溶液中翻似外的成分的比例，即(A)聚合物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)方謝线敏感性聚合弓l发剂以及任意添加30的其它成分的^i十量的比例，可以根据舰目的、所需的膜厚值等任意设定，例如可以设定为580重量％，值因第一组，溶液的使用方法而异。对此将在后面进行牵诚。这样制备的组，溶液可以在用孔径为0.5,左右的微孑凶滤器、膜滤器等过滤后供于舰。〈第二组嫩第二组合物雌为含有(A)聚合物和(D)l,2-醌二叠氮化，的放射线敏感性树月離她作为用于第二组合物的(A)聚合物的,具体例子，可列举例如甲基丙烯io敏苯乙烯/三环[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸酉^甲基丙烯酸缩水甘油酉^/甲基丙烯酸四氢糠酯共聚物、甲基丙烯敏苯乙烯/三环[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸酚甲基丙烯酸縮水甘油酉l/对乙烯基节基縮7jC甘油敏甲基丙烯酸四織酯共聚物、甲基丙烯敏苯乙烯/三环[521,]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚甲基丙烯酸缩水甘油酚聚乙二醇一甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酶苯乙烯/三环[5.2丄0^]癸15烷-8-基甲基丙烯酸酉i/甲基丙烯酸縮7jC甘油酚聚丙二醇一甲基丙烯酸酯共聚物等。第二组合物中4顿的(D)l，2-醌二叠氮化糊^ili^J"线照射产生羧酸的1,2-醌二叠氮化合物，可以舰酚性化合物或醇性化合物(以下称为"母核")与1，2-萘醌二叠氮磺酰卤的縮，。20该母g例如三羟基1甲酮、四羟基1甲酮、五羟基二苯甲酮、六羟基二苯甲酮、(聚羟基苯基);^圣、其它母核。作为这徵质的具体例子，可分别列對口下三羟基二苯甲酮有例如2,3,4-三羟基Z^甲酮、2，4，6-三羟基1甲酮等；四羟基二苯甲酮有例如2，2'，4,4，-四羟基二苯甲酮、2,3,4,3，-四羟基:i^甲酮、252,3,4,4，-四羟基Z^甲酮、2，3,47-四羟4，-甲基:^甲酮、2,3,4,4，-四羟蟇3'-甲氧基二苯甲酮等；五羟基二苯甲酮有例如-2,3A2',6'-碟基:^甲酮等；六羟基二苯甲酮有例如2，4，6，3',4，,5'-六縫:^甲酮、3,4，5,3，,4',5'-娥基二苯甲酮等；30(聚羟基苯基)烷烃有例如观2，4-二羟基苯萄甲烷、XX(对羟基^^)甲烷、三(对羟基苯基)甲烷、l,l,l-三(对羟基苯萄乙烷、双(2，3,4-三羟基苯萄甲烷、(2,3,4-三羟基苯萄丙烷、U，3-三(2,5-二甲S-4-羟基苯基)"3-苯基丙烷、4,4，-[1-[4-[l-[4-羟基苯基]-l-甲基乙闺苯基]亚乙萄双酚、双(2，5-二甲^4-|5^苯萄-2-羟基苯基甲烷、3，3，3，,3，-四甲基-1,1，-螺二茚-5,6,7,5，,6，，7，-己醇、2又4-三甲基-57,2,,4,-三羟基黄烷等；其它母核有例如2-甲蟇2~(2,4-二羟基苯基>4"(4-羟基苯基>7-羟基色满、2-[双{(5-异丙^4-羟蟇2-甲萄苯基}甲蜀、1-[1<3-{1>{4-羟基苯基)4-甲基乙萄"4,6-二羟基苯萄-1-甲基乙闺-3<1，{1<4-羟基苯基)-1-甲基乙基}-4,6-二羟基苯基)~l-甲基乙基)苯、4,6-双{1~(4-羟基苯基)-1-甲基乙對-1,3-二羟基苯等。io另外，也可以舰将上述列举过的母核的酉纖妙TO键的1,2凑醌二叠氮磺醐安类，例如，2,3,4-三羟基二苯甲爵1，2凑醌二叠氮4-磺醐安等。在鹏母核中，雌2,3,4,4，-四羟基二苯甲酮或4,4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙闺苯基]亚乙基]。l;萘醌二叠氮磺酰卣优选1》萘醌二叠氮磺酰氯，作为其具体例子可列15举1,2-萘醌二叠氮-4-磺酰iWl1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯，其中，^^f顿1,2-萘醌二叠氮-5-磺酰氯。在缩合反应中，相对于酚性化，或醇性化合物中的OH基l当量，iM使用相当于3085摩尔％、更优选5070摩尔％的1,2-萘醌二叠氮磺酰卤。缩合g可以利用公知的方法来实施。20(D)l,2-醌二叠氮化合物可以单独使用，也可以将两种或两种以上组合使用。相对于100重量斷A)聚糊，P)12-醌二叠氮化溯的4鲷比例雌为5100重量份，更^it为1050重量份。当该比例低于5重量份时，有时放射线照浙部分和未照谢部分在作为显影液的碱性水溶液中的溶解度差小，有时25难以形成图案，或者有时得到的固化膜的耐热性和耐翻雌不够。另一方面，当该比例皿100M份时，有时方M线照谢部分在Ji^减阪Jc溶液中的溶解度不充分，难以进行显影。第二组合物除了含有上述(A)聚糊和(D)l,2-醌二叠氮化合物以外，可以根据需要含有(B)聚合性不饱和化，、热敏性酸发生剂、环ft^脂、粘结助剂、30表面活性剂等。上述(B)聚合性不饱和化合物与上述作为第一组合物的优选构成成分的相同。其中，相对于100重量^(A)聚合物，第二组合物中(B)聚合性不饱和化合物的^ffl量,为50SS份或50重量份以下，更,为30重量份或30重量份以下。5通过以这样的比例含有(B)聚合性不饱和化合物，可以提髙得到的固化膜的耐热性、表面硬度等。如果该fOTM3！50重量份，则有时在皿上形成组，的涂膜的工序中会发生膜,。J^热敏性敝生剂可用于提高得到的固倾的耐热性、硬度。作为其具体例子，可列举例如锍盐(其中不包括三芳基锍盐)、苯并噻唑镜盐、铵盐、io镌盐^l盐。作为上述锍盐的具体例子，可列举例如^锍盐、节盐、二节基锍盐、取代节繊盐等。这纖盐的具体例子可分别列對吓^S锍盐有例如4-乙酰苯基二甲基锍六氟锑酸盐、4-乙酰氧基苯基二甲15基f^氟砷鹏、二甲S4^C^^羰基氧萄苯基I^氟锑,、二甲^4《苯甲酰氧萄苯纖AM锑,、二甲^H苯甲酰氧萄苯基锍六氟砷,、二甲基一3-氯4-乙酰氧基苯^氟锑,等；节繊盐有例如节^4-羟基苯基甲^氟锑、苄勤-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐、4-乙酰氧基苯基节基甲纖六氟锑酸盐、节基4-甲氧基苯基甲基20锍六氟锑酸盐、节基-2-甲S4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、节吝3-氯-4-羟基苯基甲基l^砷,、4-甲#^节^4-羟基苯基甲基|^^磷等；二节纖盐有例如二节^4-羟基苯基IIAM锑酸盐、二节^4-羟基苯纖六氟磷麟、4-乙酰氧基苯基二节基锍AM锑麟、二节^4-甲f^苯基锍六氟锑酸盐、二节基-3-氯~4-羟基苯基锍六氟砷酸盐、二节蟇3-甲S4-羟基5-叔丁25基苯基锍AM锑麟、节S4-甲氧基节S4-羟基苯SIIA氟磷,等；取代节基锍盐有例如对氯节^4-羟基苯基甲,7^M锑,、对硝基节S4-羟基苯基甲基锍AM锑酸盐、对氯节^4-羟基苯基甲基锍六氟磷酸盐、对硝基节基3-甲*4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、3,5-二氯节勤-羟基苯基甲基锍六氟锑、邻氯节基3-氯4-羟基苯基甲纖7^C锑離等。30作为上述苯并噻,盐的具体例子，可列举3-节基苯并噻,^^锑酸盐、3-节基苯并噻,六氟磷酸盐、3-节基苯并噻自四氟硼酸盐、3<对甲氧基节基)苯并噻,AM锑酸盐、3-节基2-甲硫基苯并噻,7^t锑酸盐、3-苄基5-,并噻,A^锑,等节基苯并噻自盐。其中，优选使用锍盐或苯并噻唑像盐，特别^t使用4-乙酰氧基苯基二5甲基锍六氟砷酸盐、节S4-羟基苯基甲基锍六氟锑酸盐、4-乙酰氧基苯基节基甲基歉氟锑酸盐、二节S4-羟基苯纖六氟锑酸盐、冬乙酰錢苯基节基锍六氟锑或3-节基苯并噻,^^锑,。这些物质的市售品有例如廿>工<卜'SI-L85、廿>工<HSI-L110、廿〉工^卜*SI-L145、廿>工<卜'SI-L150、廿>工<卜'SI-L160(以上为三新io化学工业(株)糊等。相对于100重量^(A)聚^J,第二组^l中的热敏性,生剂的使用比例，为20mfi份或20M份以下，更,为5重量份或5重量份以下。当该<顿量舰20重量綱，有时在涂膜形成工序中会有析出物析出，给涂膜的形成带来障碍。15上述环氧树脂只要对其它成分或溶剂的相溶性没有影响，就没有特别限帝ll，可雌列举娜A型环flM脂、苯職型iy^^f型环fw脂、甲酚线型酚醛清漆型环氧树脂、环柳旨臓环氧树脂、缩水甘油酯型环氧树脂、缩7jC甘油胺型环,脂、姊式环氧树脂、将甲基丙烯酸縮7jC甘油酯(共)聚合而成的树月誇。在这ll^质中，进一步ifci^l酚A型环氧树脂、甲,型m^清漆20型环,脂、缩7K甘油酯型环,月縛。相对于100重量^KA)聚，，第二组，中的环氧树脂的使用比例为30重量份或30Mfi份以下。ffi31以这样的比例含有环氧树脂，可以进一步提髙得到的固化膜的耐热性、表面硬度等。如果该比例舰30重量份，贝赃繊上形成组合物的涂膜时，有时凃膜的膜厚均匀性不够。25另外，(A)聚合物具有环氧乙烷基时，(A)聚合物也可以称为"环糊脂"，但(A)聚合物在可溶于碱方面和战环,脂不同。第二组合物中可以含有的粘结助齐诉喊面活性剂与上述的第一组^f可以含有的粘结助剂和表面活性剂相同。第二组合物魏过将上述(A)聚合物和(D)l，2-醌二叠氮化合物以及任意添30加的其它成分均匀混合而制备的。第二组合物,溶解于适当的溶剂中以溶液状态fOT。例如，可a^在适当的溶剂中将Ji^(:A)聚^/和(D)i^醌二叠氮化，以及任意添加的其它成分以规定比例混合，制备溶液状态的固化性树脂组，。用于制备第二组合物的自U，使用能均匀溶^(A)聚合物和(D)l,2-醌二叠5氮化，以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不皿的，1』。这种翻诉吐述的可用于制备第一组合物的翻湘同。组合液中翻似外的成分的比例，即(A)聚糊和(D)1,2-醌二叠氮化合物以及任^I加的其它成分的合计量的比例，可以根据使用目的、所需的膜厚值等任意设定，例如，可以设定为550M0/。，,为1040重1%，进一步iM为1535重1%。io第二组合物溶液可以在用孔径为0.5阿左右的微孑[J1滤器、膜滤器等过滤后供于舰。<第三组*第三组合物优选为含有(A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物的一液型15(—液型调化性树脂组^tl。作为用于第三组合物的(A)聚合物的,具体例子，可列举例如丙烯酸縮水甘油酚丙烯酚三环[5.2丄0^癸烷-8-基丙烯酸酉|/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7jC甘油酉l/甲基丙烯酶三环[5.Zl,]癸烷-8-基甲基丙烯酸il/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酚甲基丙烯酚甲基丙烯酸甲酚苯乙烯共聚物、甲基丙烯20酸缩7K甘油酉i/甲基丙烯酚丙烯酸环己酚对甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸縮水甘油醱丙烯,-苯觀来m膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油醱甲基丙稀^N-苯基马来^I0势苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7K甘油酉E/甲基丙烯酸/N-环己基马来酰则彭苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酚甲基丙烯敏三环[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙垸25基庚醱甲基丙烯^/三环[521伊6癸烷-8-基甲基丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酚三环[5.2丄CF]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/苯乙烯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚酉|/丙烯酚马来酸酐/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚酚丙烯酚马来酸酐/甲基丙烯酸叔丁酯共聚物等。30其中，进一步雌甲基丙烯酸缩水甘油酚甲基丙烯敏三环[5.21伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉g/甲基丙烯敏N-苯基马来膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/甲基丙烯,-环战马来,勤苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉|/甲基丙烯敏三环[5.2丄(^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚l,3-丁二烯共聚物或甲基丙烯酸缩水甘油醱甲基丙烯隞三环5[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚苯乙烯/1，3-丁二烯共聚物。第三组合物中使用的(E)阳离子聚合性化合物是除(A)聚合物或(A，)聚合物以外的阳离子聚合性化合吻。对于这样的(E)阳离子聚合性化合物，只要在酸性割牛下可以聚合，就没有特别限制，可以列辨铷肝内具有2个或2个以J^自氧杂JfT烷环骨io架、3，4-环氧乙烷基环己基和环氧乙院基中的至少一种基团的化合物等具有可以和(A)聚合物中,含有的环氧乙烷基或氧杂环丁基进行加成反应的基团的化嫩作为这样的(E)阳离子聚合性化合物的具体例子，可以列举如下所述的化，。15肝内具有2个或2个以上氧杂环丁烷环骨架的化合物有例如3,7-观3-氧杂环丁基)-5-氧杂壬烷、3,3，-(1,3-(2-亚甲基(/f)丙二基双(氧基亚甲基))双(3-乙錄糾丁夠、1,4-双((3-乙蟇3-氧^ifT萄甲氧基甲基)苯、1,2-双((3-乙蟇3-氧杂环丁萄甲氧基甲萄乙烷、1,3-双((3-乙吝3-氧杂环丁萄甲氧基甲萄丙烷、乙二醇观(3-乙蟇3-驗环丁萄甲萄醚、二环雌基观(3-乙晷203-氧杂环丁萄甲蜀醚、三乙二醇双((3-乙蟇3-氧杂环丁萄甲萄醚、四乙二醇双((3-乙蟇3-氧糾丁萄甲萄醚、三环癸:1二亚甲基双((3-乙蟇3-氧杂环丁萄甲萄醚、三羟甲基丙烷三((3-乙基3-驗环丁萄甲萄醚、1,4-双((3-乙基3-氧杂环丁萄甲氧基)丁烷、1,6-双((3-乙基-3-氧杂环丁萄甲氧萄己烷、季戊四醇三((3-乙基-3-氧杂环丁萄甲萄醚、季戊四醇四((3-乙基-3-氧杂环丁萄甲萄25醚、聚乙二醇观(3-乙蟇3-氧杂环丁萄甲基)醚、二季戊四醇六((3-乙基3-氧杂环丁萄甲萄醚、二季戊四醇五((3-乙基3-氧杂町萄甲萄醚、二季戊四醇四((3-乙基3-氧糾丁萄甲萄醚、二季戊四醇六((3-乙蟇3-氧杂环丁萄甲基)醚和丁内酯的鹏产物、二季戊四醇五((3-乙基3-氧杂町萄甲萄醚和丁内酯的反应产物、^H羟甲基丙烷四((3-乙吝3-^fT萄甲萄醚、双酚A观(3-乙蟇3-30氧^fT萄甲萄醚和环氧乙烷的^S^产物、双酚Ar((3-乙基3-驗ifT萄甲萄醚和环氧丙烷的鹏产物、M/ft^酚A观(3-乙蟇3-氧^ifT萄甲萄醚和环氧乙垸的反应产物、氢化双酚A双((3-乙蟇3-氧棘丁萄甲萄醚和环氧丙烷的反应产物、娜F观(3-乙基3-f(^F丁萄甲萄醚和环氧乙烷的反应产物等。5肝内具有2个或2个以上3，4-环氧乙^f缝的化糊有例如3,4-环氧乙烷,己基甲吝3，,4，-环氧乙烷,己烷羧酸酯、2-(3,4-环氧乙烷,己基-5，5-膝3,4-环氧乙烷萄环己烷-间-二嗯烷(乂夕—-才丰廿>)、观3,4-环氧乙烷新己基甲萄己二酸酯、双(3,4-环氧乙烷基6-甲餅战甲萄己二酸酯、3，4-环氧乙烷基6-甲餅a^3，,4，-环氧乙織6，-甲WF己烷羧酸酯、亚甲基观3,4"io环氧乙烷基环己输、二环戊二烯二环氧化物、乙二醇双(3，4-环氧乙烷餅己基甲蜀醚、亚乙基观3，4-环氧乙^^己烷羧酸酯)、内酯改性3,4-环氧乙烷餅dS甲蟇3，,4，-环氧乙^fflF己烷羧酸酯等。作为分子内具有2个或2个以上环氧乙烷基的化合物，可列举例如,A1zK甘油醚、Fril7jc甘油醚、双酚S二縮水甘油醚、氢4fc^酚A二15縮7jC甘油醚、氮4^FI^7K甘油醚、氧^TOAD二縮7jC甘油醚、溴4W酚A17K甘油醚、溴化双酚F，7K甘油醚、溴^^mS二縮7乂甘油醚这样的双酚化Ml的1水甘油醚；1,4_丁二醇二缩水甘油醚、1，6-己二醇二縮7K甘油醚、甘油三縮7K甘油醚、三羟甲基丙烷，7K甘油醚、聚乙二醇二縮7K甘油醚、聚丙二醇^7Kt油醚这样20的多元醇的，水甘油醚；M乙二醇、丙二醇、甘油这样的脂肪族多元醇与一种、或者两种或两种以上的氧4楊反应得到的聚醚多元醇的聚缩7K甘油醚；苯,型m^清漆型环氧树脂、甲酚线型酚醛清漆型环輸脂、聚酚型环糊脂、环柳旨TO环,月i^样的环氧树脂；25脂臓长链二元酸的二缩7jCt油酯；高级多元脂肪酸的，7jC甘油酯等；除ltfct外，还有环氧乙烷基化大豆油、环氧乙^S4tt麻子油等。作为舒内具有2个或2个以上环氧乙'離的化，的市售品，可分别列举如下30多元醇的聚縮水甘油醚有例如工示，4卜100MF(共荣社化学(株)制)、工匕才一^TMP(日本油脂(株)鄉；双酚A型环f(M脂有例如工13—卜828、工Hm—卜1001、工tf〕一卜1002、工tf3—卜1003、工tf〕一卜1004、工t!:3—卜1007、工tf〕一卜1009、工tf〕一卜1010(以上为油化〉工A工求牛^(株)帝'J)等；5双酚F型环氧树脂有例如工匕:1一卜807(油化、>工;1/工求年>(株)帝'J)等；苯酚线型酚醛清漆型环氧树脂有例如工tf〕一卜152、工tf;n—卜154、工H〕一卜157S65(以上为油化v工^工求牛^(株)制)、DPPN201、DPPN202(以上为日本化药(株)鄉等；甲酚线型酚醛清f型环氧树脂有例如DOCN102、DOCN103S、DOCN104S、io1020、1025、1027(以上为日本化药(株)律U)、工tf〕一卜180S75(油化v工;l/工求牛^(株)鄉等；聚酚型环糊脂有例如工匕'〕一卜1032H60、工lf〕一卜XY4000(以上为油化、^工^工求年^(株)帝J)等；环柳旨肪族环氧树脂有例如CY-175、CY-177、CY-179、7，^y寸卜CY曙15182、7，^歹^r卜CY192、7，^歹^f卜CY184(以上为于八、X《^卞^T吖一'亇三力^文(株)制)、DRL4221、DRL4206、DRL4234、DRL4299(以上为U.C.C公司帝'J)、v3—夕W>509(昭和电工(株)帝U)、工tf夕口>200、工tf夕口>400(以上为大日本^T(株)制)、工en—卜871、工t!3—卜872(以上为油化、>工几工求牛^株式会公司律ij)、20DD-5661、DD-5662(以上为七，二一;C:i一xO^(株)带J)等。在这^(E)阳离子聚合性化合物中，雌苯酚线型1^清漆型环氧树脂、聚酚型环糊誇。在本发明中，(E)阳离子聚合性化合物可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合JOT。25对于第三组合物中的(E)阳离子聚合性化合物的使用比例，相对于100重量斷A)聚储，(E)阳离子聚合性化^/的4顿量雌为3100重量份，进一步雌为550重量份。在第三组合物中，M使(E)阳离子聚合性化合物的iM量在上述范围，可以得到具有足够的表面硬度的固化膜。特别是第三组合物的长期保存稳定性30好o除了战(A)聚，和(E:)阳离子聚合性化^;以外，第三组，雌还含有(F)固化剂爽G)敝生剂，根据需要可以含有粘结助剂、表面活性剂等。第三组合物可以含有的(F)固化剂是具有一种或一种以上可以和(A)聚合物^^含有的环氧乙^S或氧杂环丁基皿的官能团的化^tJ。5这样的(F)固化齐陏例如多元羧酸、多元羧酸酐、不饱和多元羧酸酐和其它烯烃类不饱和化合物的共聚物(其中不包括具有2个或2个以上环氧乙烷基或氧杂ifl基的共聚物)(以下称为"含羧酸酐基的共聚物")等。作为战多元羧酸，可列鄉咖脂肪族多元羧酸、脂环族多元羧酸、芳香族多元羧酸等。月旨肪族多元羧酸有例如琥珀酸、戊二酸、己二酸、1,2,3,4-丁io垸四甲酸、马来酸、衣等；月旨环族多元羧酸有例如六氢苯二甲酸、1>环己烷二羧酸、1,2,4-环己烷三羧酸、环鹏四羧酸等；芳香族多元羧酸有例如邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、苯偏三酸、苯均四酸、1，2,5，8-萘四甲酸等。在这些多元羧酸中，/AR应性、形成的固j標15的耐热性等观点考虑，im芳香族多元羧,。战多元羧酸酐有例如月旨肪族二元羧酸酐、月旨环族多元羧酸二酸酐、芳香族多元羧酸酐、含酯基的酸酐等。，脂肪族二元羧酸酐有例如衣康酸酐、琥珀酸酑、柠康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、三苯氨基甲酸酐(無水卜U力W仁》酸)、马来酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基四氢邻苯二甲酸20酐、氯桥酸,無水八<$、;/夕酸:)等；月旨环族多元羧酸二酸酐有例如1,2，3，4-丁烷四甲酸二酸酐、环戊烷四甲酸二酸酐等；芳香族多元羧酸酐有例如邻苯二甲酸酐、均苯四酸二酐、偏苯三酸酐、二苯甲酮四羧酸酐等；25含酯基的酸酐有例如乙二醇二酸酐偏苯三酸酯、甘油三酸酐偏苯三酸酯等。在这些多元羧酸酐中，i^芳香族多元羧酸酐，特别是由于可得到耐热性高的固化膜，因而tt^偏苯三酸酐。i^含羧酸酐基的共聚物中的不饱和多元羧酸酐有例如马来酸酐、衣康酸酐、柠繊酐、顺式-l,2,3,4-四氢化邻苯二甲酸酐等。这些不饱和多元羧酸酐30可以斜虫iM，也可以将两种或两种以上混合^ffl。其它烯烃类不饱和化合物有例如苯乙烯、对甲基苯乙烯、对甲氧基苯乙烯、(甲萄丙烯酸甲酯、(甲萄丙烯酸乙酯、(甲萄丙烯酸正丙酯、(甲萄丙烯,丙酯、(甲萄丙烯赃丁酯、(甲萄丙烯酸叔丁酯、(甲萄丙烯酸2-甲餅己酯、三环[5,2丄(P]癸烷-8-與甲萄丙烯酸酯、N-苯基马来^M胺、N-环己基5马来M胺等。这些其它烯烃类不饱和化合物既可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合舰。作为含羧酸酐基的共聚物的优选具体例子，可列举例如马来酸酐/苯乙烯共聚物、行康酸酐/三环[521伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物等。含羧酸酐基的共聚物中的不饱和多元羧酸酐的共聚比例tm为180重量io%，更皿为1060重M0/。。M51^ffi这样的共聚比例的共聚物，可以得到平坦化性能优良的固4W。含羧酸酐基的共聚物的Mw，为50050，000，更,为50010,000。iffi^fOT这样的^f量范围的共聚物，可以得到平坦化性能优良的固化藤。如上所述的(F)固化剂既可以单独使用，也可以将两种或两种以上混合使15用。对于第三组合物中的(F)固化剂的^比例，相对于100重量伤乂A)聚，，(F)固化剂制顿量雌为100重量份或100重量份以下，更雌为180重量份，进一步鶴为1060重量份。在第三组合物中，通过使(F)固化剂的^ffl量在上述范围，可以不影响组20储的长期稳定性而进1提髙得至,固tt^的平坦性。第三组合物可以含有的(G)酸发生剂^1过照射放射线而产生酸的化合物舰过加热而产生酸的化合物。其中，前者称为"方謝线敏感性酸发生剂"，后者称为"热敏性酸发生剂"。作为这样的TO线i(li性,生剂，可列如二芳镇盐、三芳基锍25盐、二芳緣盐等。上述二芳基碘餘、盐有例如二苯基碘條、四氟硼酸盐、二苯基碘像六氟膦酸盐、二苯基碘镇对甲苯磺^a^4-甲氧基苯基苯基碘饿四氟硼酸盐、4-甲氧基苯基苯基碘饿六氟膦酸盐、4-甲氧基苯基苯基碘银^M砷酸盐、4-甲氧基苯30基苯基碘镇三氟甲磺,、4-甲f(^苯基苯基碘银三氟乙酸盐、4-甲氧基苯基苯基碘锒对甲苯磺酸盐、双(4-叔丁基苯基)碘餘四氟硼酸盐、双(4-叔丁基苯萄碘像六氟砷麟、双(4-叔丁基苯萄碘餘三氟甲磺離、双(4-叔丁基苯萄碘镜三氟乙酸盐、双(4-叔丁基苯萄碘银对甲苯磺酸盐等。在这些二芳基碘锥盐中，特别雌:^翻镇AW,。5i^H芳^IK有例如3繊四氟硼鹏、H^^IAEP鹏、三苯基^A氟砷酸盐、三苯基锍三氟甲磺酸盐、三苯基锍三氟乙酸盐、H^基锍对甲苯磺舰、4-甲氧基苯基二苯基锍四氟硼舰、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟膦酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟砷,、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟甲磺酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟乙酸盐、4-甲氧基苯基二苯基锍对甲苯磺io酸盐、4-苯硫基苯基二苯基四氟硼酸盐、4-苯硫基苯基二苯基六氟膦酸盐、4-苯硫基苯基二苯基六氟砷酸盐、4-苯硫基苯基二苯基三氟甲磺酸盐、4-苯硫基苯基二苯基三氟乙酸盐、4-苯硫基苯基二苯基对甲苯磺酸盐等。在这些三芳基锍盐中，特别t^H^SIE氟甲磺,。，二芳自盐有例如(l"6-T!-枯烯Xtl-环戊二烯基)^^P,等。15方謝线敏感性戯生剂的市售品可分别列對n下二芳凝典银盐有例如UVI-6950、UVI-6970、UVI"6974、UVI-6990(以上为:i二才y力一八？F公司糊、MPI隱103、BBI-103(以上为办i:'。化学(株)帝ij)等；三芳基锍盐有例如7f力才7卜7—SP-150、7f力才:/卜7—SP-151、7t力才:/卜7—SP-170、7x力才7卜7—SP-171(以上为旭电化工业(株)20帝J)、CI-2481、CI-2624、CI-2639、CI-2064(以上为日本曹達(株)翁J)、DTS-102、DTS-103、NAT-103、NDS-103、TPS-103、MDS-103(以上为*i:'<9化学(株)审J)、CD-1010、CD-lOll、CD-1012(以上为廿一卜7—公司帝iJ)等；二芳錢盐有例如01/匁牛:i7—261(于"X々:/卞几5V，S力几7:(株)带J)、PCW)61T、PCI-062T、PCI-020T、PCI"022T(以上为日本化药(株)希0等。25在这些市售品中，UVI"6970、UVI"6974、UVI-6990、7f力才7卜7—SP-170、7x力才7h7一SP-171、CD-1012、MPI-103等由于得到的硬化膜具有高的表面iffi而优选。Jd^t线,性酸发生剂既可以與虫舰，也可以将两种或两种以上混合舰。30第三组合物可以含有的热敏性酸发生剂，可以列举和Jd^第二组合物可以含有的热敏性戯生齐湘同种类的化激。对于第三组，中的(G)離生剂的顿比例，相对于100重量斷A)聚合物，戯生剂的4顿量雌为20SS份或20重量份以下，更鶴为0.0520重量份，进一步,为0.110M份。5第三组合物可以含有的粘结助剂和表面活性剂，和上述第一组合物可以含有的粘结助剂和表面活性剂相同。其中，相对于100重量份(A)聚合物，第三组，可以含有的粘结助剂的量,为30重量份或30重量份以下，更,为25SS份或25重量份以下。如果该^OT130重量份，贝陏,到的固化膜的耐热性不足。另外，相对于100重量份(A)聚合物，第三组溯可以含io有的表面活性剂的量^l为5重量份或5錢份以下，更雌为2重量份或2重量份以下。如果该tOTl5龍份，贝陏时容易发鄉厚度不匀。第三组合物J^I过将上述(A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物以及任意添力啲其它成分均匀混合而制备的。第三组合物雌溶解于适当的、蹄忡以溶液状态^顿。例如，可通过在适当的溶剂中将上述(A)聚合物和(E)阳离子聚合性15化合物以及任歸加的其它成分以规定比例混合，制备溶液状态的方謝线敏感性树脂组他用于制备第三组，的^fU，能均匀溶Jlf(A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不反应的,J。这样的歸诉吐述可用于制备第一组，的翻,同。组合物溶液中除翻似外的成20分的比例，即(A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物以及任意添加的其它成分的^i十量的比例，可以根据舰目的和所需的膜厚值等任意设定，例如，可以设定为150M0/。，，为540重fi0/0。第三组合物溶液可以在用孔径为0.5拜左右的微孑Ui滤器、膜滤器等过滤后供于舰。25〈第四组嫩第四组合m有(A')聚合物和(E)阳离子聚合性化，。第四组合^Km为将战第三组合物中的(A)聚合物微爽A，谬佳得到的一M固化性树脂组30用于第四组，的(^)聚为±3*\，1)聚，爽A'2)聚，。作为可以用于第四组合物的(A'i)聚合物的im具体例子，可列举例如甲基丙烯酸縮水甘油酉^/丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酉g/三环[5.2.1伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉|/甲基丙烯酸四氢-211-吡喃-2-基酯/三环[5.2丄02'6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醇苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘5油酚丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基醱N-苯基马来teE,乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉g/甲基丙烯酸四氢-2H-卩比膝2-基醵N-苯基马来iffl^乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉i/丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酉^/N-环BS马来酰鹏苯乙烯共聚物、甲基丙烯,水甘油酚甲基丙烯酸四氢-2H-吡膝2-基il/N-环缝马来mMJ^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酚丙烯酸K环己氧萄乙io醱三环[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7JC甘油酚甲基丙烯酸1-(环己氧萄乙酉1/三环[5.2丄(^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油醱丙烯酸H环己氧基)乙醵N-环BS马来酰亚膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉i/甲基丙烯酸H环己氧萄乙酚N-环己基马来酰亚膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/2,3-:i(四氢吡喃-2-基15氧基羰基"-降冰片烯/三环[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/苯乙烯共鄉、甲基丙烯酸縮7K甘油醱2,3-二(四氢吡喃-2-魏基羰每5-降冰片烯/N-环战马来M膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7K甘油酚丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基,三环[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/甲基丙烯酸四氢-2H-吡膝2-基酉g/三环[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸腺l,3-丁二20烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉^/丙烯酸四氣-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸甲酉l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7K甘油ia/甲基丙烯酸四氛-2H-吡喃-2-基醱甲基丙烯酸甲酵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯俩烯酸四氢-211-吡喃-2-基酉l/丙烯酸环己酚对甲氧基苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉l/甲基丙烯酸四氢-2H-吡膝2-基酉H/丙烯酸环己酉l/对甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸缩水甘25油酚甲基丙烯蟛叔丁酚N-苯基马来,l^乙烯共聚物、甲基丙烯麟水甘油酚甲基丙烯膨叔丁酉l/N-环战马来酰亚月鄉乙烯共聚物、甲基丙烯酸6，7-环氧乙烷基庚ll/丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基ii/甲基丙烯酸叔丁醱马来酸酐共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚醱甲基丙烯酸四氧-2H-吡喃-2-基醇甲基丙烯酸叔丁酚马来酸酐共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚醇甲基丙烯,丁酯30/三环[5.2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙;^^庚酉E/甲基丙烯酶叔丁酉l/马来酸酐/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩zK甘油酚丙烯酸1"(环己11^)乙酉1/三环[5.21,]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/*乙烯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯酸1-(环己氧萄乙酉!/三环[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯/l,3-丁二烯共聚物等。5在这些物质中，进一步优选甲基丙烯酸縮水甘油酯/丙烯酸四氨-2H-吡喃-2-基酉|/三环[521伊6]癸廣-8-基甲基丙烯酸酉^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油醵甲基丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酚三环[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉H/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉綱烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酚N-苯基马来舰膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7尺甘油酚甲基丙烯酸四氢-2&吡喃-2-10基酯/N-苯基马来酰亚膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚丙烯酸四氢-2H-吡喃-2-基酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸四氢-2H-吡膝2-基酉i/N-环d^来酰亚月魏乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酯/丙烯酸l"(环己氧基)乙酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酚甲基丙烯酸l"(环己氧萄乙酉l/N-环瑰马来,胺15/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酉1/2,3-;四氢吡喃-2-錄基羰基)>5-降冰片烯/三环[5.2丄(F]癸烷-8-基甲基丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油醇2,3-Il(四氢卩比喃-2-基氧基羰基)"5-降冰片烯/N-环BS马来3W^乙烯共聚物或甲基丙烯酸缩水甘油酚甲基丙烯酸叔丁酉l/N-环己基马来StM麟乙烯共聚物。20作为可以用于第四组合物的(A，2)聚合物的,具体例子，可列举例如丙烯酸縮7K甘油酉l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉l/苯乙烯共聚物、丙烯酸縮7权甘油酉^三环[5.2丄0^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸縮7夂甘油酉|/三环[521伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸6，7-环氧乙烷基庚l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉1/三环[5.2丄0^癸烷-8-基甲基25丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸缩7jC甘油酉l/N-苯基马来酰3E^乙烯共聚物、甲基丙烯,7]C甘油酚N-环己基马来^3E膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6，7-环氧乙烷基庚酚三环[5.2丄(^6]紫烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸6,7-环氧乙烷基庚酚N-环BS马来ra棘乙烯共聚物等。在这些物质中，进一步优选甲基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯共聚物、甲30基丙烯酸縮水甘油酯/三环[5.2丄021癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸缩水甘油酉g/三环[5.2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸醇苯乙烯共聚物或甲基丙烯酸縮7jc甘油ii/N-环a^马来酰Mj^苯乙烯共聚物。有关第四组合物的(A，)聚合物以夕卜的事项，可以将上述第三组合物的情况直接应用，皿进行本领^^术人员自明的变更的基础jja行应用。第五组，^有第一淑瞎二液的二ra固化性树月離^ti,所^—液含有(A')聚^和(E)阳离子聚合性化，，所述第二液含有(F)固化剂。第五组，的第一液^i不含(F)固化剂和(G)皿生剂。io^:舰的(A，)聚溯雌为(A，2)聚糊。第五组合物的第一液可以含有的(A'2)聚合物和上述可用于第四组合物的(A'2)聚合物相同。另外，第五组合物的第一液可以含有的(E)阳离子聚合性化合物和上述可用于第三组合物的(E)阳离子聚合性化，相同。至于第五组合物的第一液中的(E)阳离子聚合性化合物的使用比例，相对15于100錢^(A，2)聚，，(E)阳离子聚合性化^l的舰量雌为3100重量份，进一步雌为550重量份。除了上述(A'2)聚糊和(E)阳离子聚合性化糊以外，第五组糊的第一、航以根据需要含有粘结助剂、表面活性剂等。粘结助剂和表面活性齐诉卩i^第一组合物可以含有的粘结助剂和表面活性20剂相同。第五组合物的第一液tt^溶解于适当的翻U中以溶液状刻顿。用于制备第五组合物的第一液的翻」使用能均匀溶贿A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不反应的溶齐U。所述翻诉口上述可用于第一组合物的制备的翻湘同。组合物溶液中除溶25齐似外的成分的比例，即(A)聚合物和(E)阳离子聚合性化合物以及任織加的其它成分的射十量的比例，可以根据舰目的和所需的膜厚值等任意设定，例如，可以设定为575重量％，,为1050重量％。第五组合物的第一航以棚孔径为0.5拜左右的微孔过滤器、膜滤器等过滤后供于舰。30第五组合物的第二液，含有(F)固化剂的溶液。第五组合物的第二液中含有的(F)固化剂的种类和Jl^m三组糊可以含有的(IO固化齐湘同。、"可，用于制备第五组合物的第二液的,诉nji^可用于制备第一组合物的(10固化齐拖第五组合物的第二液中的浓度,为180重量％，更优选为51060重#%。第五组合物的第二、以棚孔径0.5拜为左右的微子131滤器、膜滤器等过滤后供于舰。《固4標的形成旅》io下面，对<顿±^—至第五组糊形成固鹏的方法进行叙述。±^第一组，适用于形晶显示元件的间,，第二组，适用于形成层间绝缘膜武ii^，第三至第五组合物，于形成保护膜。^OT第一组合物形成间,的方法>15使用第一组，形成液晶显示元件的间隔物的方法，依照如下所述的顺序进行下虹卿(4)。(1)在Sfei:形，一组合物的的工序。(2)对J^M的至少一部，行，线曝光的工序。(3)将曝鹏的鹏显影的工序。20(4)将显影后的wra热的工序。下面，对各10依，明。①在mi:形，一组，的M的工序首先，在mh形，一组合物溶液的组^I的I^。本方，用的基板优选单面形成了透明导的透明基板。25构雌明繊的材禾将例如玻璃、柳誇。战玻璃有例如钠f!^、无碱玻璃等；树脂有例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚,、聚碳酸酯、聚Kl^等。±3^明导有例如-含有氧化執Sn02)的NESA騰美国PPG公司的注册商标)、含有氧化铟-氧化KlnA-Sn02)的ITO膜等。30在M上形成第一组，溶、液的组合物的M的方法可以利用例如(i)涂布法、(ii)干膜法。利用(i)涂布法时，将第一组合物溶液^^布在基板上后，加热(预烘烤)涂布面，由此可以形^M。对组糊溶液的涂布方法没有特别限制，可以湖例如喷凃法、^i^法、5旋转涂布銜旋涂銜、缝模涂布法、,法、喷墨涂布法等适当的方法，特别鄉定総或缝麟布法。予I^烤的条件因各成分的种类、配合比例等而异，但，为70120°C、115冊左右。細(ii)干膜法在鎌上形麟一组合物溶液的M时，该干膜是在基膜、io1t^據性基膜上层叠含有本发明的感光性树職且合物的感光性层而成的(以下称为"感光性干膜")。J^感光性干膜可以由如下形成将本发明的感光性树月離合物雌以液态组，的形式涂布在基膜上，然后除去，j，从而层叠感光性层。感光性干膜的基膜可以4顿例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚15碳酸酯、聚氯乙j^^^t脂的薄膜。基膜的厚麟宜在15125拜的范围。得到的感光性层的厚度雌为130pm左右。翻啲除去可以M:在雌80150°C下加热110^H中左右5J6S行。另外，感光性干驗未舰时也可以在其感光性层上进一步层叠被懸进行保存。该被鹏必须具有适度的脱模性，以使雜未《顿时不剥离，而在使20用时可容易剥离。满足这样的条件的被,可以^ffl在例如PET膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜、聚氯乙烯膜等合成树脂膜的表面涂布繊固硅氧烷鄉模齐J得到的薄膜。被繊的厚颇常在25拜左右就足够了。将第一组合物以溶、态舰时，其固体成分浓度(从组合物中除去柳U后的重量相对于总组合物重量柳为580重*%。进一步雌的固体25成分浓度因被膜的形成方法而异。采用(i)涂布法形成被膜时的固体成分浓度优选为1530Sfi%，細(ii)干膜法形成羅时的固体成分浓度雌为5070另外，对在繊上形成的鹏的膜厚没有特别限制，但雌为0.510拜、更雌为1.07.0nm左右。30②对上述被膜的至少一部，行放射线曝光的工序接着，对形成的，M的至少一部^4行^]"线曝光。在对被膜的一部^it行曝光时，可以利用例如M:具有规定图案的光掩^t行曝光的方法。用于曝光的方謝线可以4顿可见光、紫外线、远紫外线等。方謝线雌波长在190450nm范围的方鄉线，特别tt^包含365nm紫外线的方鄉线。5曝^fi是利用照度it(OAImodel356，OAIOpticalAssociatesInc.审J)测定曝光的方謝线波长为365nm时的弓跛得至隨，雌为10010,000J/m2，更优选为l,5003,000J/m2。(3)将曝鹏的W^行显影的工序然后，M:将曝光后的Wt行显影，除去不要的部分，形戯见定的图案。10用于显影的显影、m以鹏下述碱性化合物的水溶液，例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅,、(正)硅,(乂夕亇4酸于卜U々厶)、氨等无机碱；乙胺、正丙胺等脂臓伯胺；二乙胺、二正丙胺等脂肪族仲胺；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等脂肪銜叔胺；吡咯、哌徒、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷、1,8-二氮杂二环[5.4.0]-7-H碳烯、1,5-二氮杂二环[4.3.0]-5-壬烯等15月旨环族叔胺；吡啶、三甲掛比啶、二甲勘比卩定、娜等芳香瓶叔胺；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺^^烷醇胺；氢氧化四甲、氨氧化四乙基铵等雜盐等。也可以在J^碱性化合物的7jC溶液中缝添加甲醇、乙醇等7jC溶性有机溶齐,表面活性剂中的至少一种来舰。20显影方法可以是paddle銜液盛0法)、浸渍法、喷、皿等公知的显影方法中的任一种，显影时间在常温下，为10180秒左右。显影后，通过例如进行3090秒的流水清洗后，用例如压缩空气皿縮氮气使其风干，形^^f需的图案。(4辦显影后的鹏加热的工序25接着，将得到的图教鹏禾,例如加热板、烘箱等适当的加热體，在规定温度，例如100160。C下，加救后烘烤)规定时间，例如在加热板上为530辦中，在烘箱中为30180辦中，由此可以得到规定的间,。另外，用于形成间隔物的现有放射线敏感性树脂组合物如果不在180200°C左右或以上的驗进行加热处理，贝U得到的间隔物不能发挥充她能，30但第一组合物的优点在于，可以将加热温度设定为比以往低的低温，结果是不会造自脂的黄变或，可以得至啦缩弓MS、液晶取向时的耐摩擦性、与透明繊的密合性等各性能优良的间,。4OT第二组合物形^M司绝缘膜或m^的方法〉5使用第二组，形成层间绝缘膜^ritit镜的方法，依照如下所述的)!醉进行下虹糊(4)。(1)在±形，二组，的的工序。(2)对，的至少一部^a行，线曝光的工序。(3)将曝光后的鹏显影的工序。io(4)将显影后的鹏B热的工序。(1)在±形，二组，的的工序在工序(l)中，将第二组合物溶液涂布在繊表面，然后，iMM过进行预烘烤除去MU，形，二组，的。可以4顿的繊的种类例如有玻璃繊、硅晶片及在这些的表面形成有15各种金属的繊。对组糊溶液的涂布方法没有特另鹏制，可以細例如晚涂法、辊涂法、旋转涂布銜旋涂法)、缝模涂布法(义U7卜3^塗布法)、棒涂法、喷墨涂布法等适当的方法，特别tti^鬼涂法纖^^布法。予鹏烤的剝牛因各成分的种类、使用比例等而异。可以设定为例如在60110°C下进行30秒15辦中左右。20形成的被膜的膜厚，以予鹏烤后的值计，在形成层间绝缘膜时tm为例如36nm,在形成1t^时皿为例如0.53nm。(2)对J^M的至少一部，行TO线曝光的工序在工序(2)中，优选通过具有规定图案的掩模对形成的被膜照射放射线。然后，在下一工所3)中，通过用显影、鹏行显影处理除去方謝线的照射部分，25进行构图。这时i顿的方謝线例如有紫外线、远紫外线、X射线、带电粒子射线等。J^紫外线例如有g射线(波长436nm)、i射线(波长365nm)等。远紫外线例如有KrF准M激光等。X射线例如有同步加速器Mf线等。带电粒子射线例如有电子束等。30在这些娜线中，雌紫外线，特别^i^包含g射线和i射线中至少一种至于曝光量，在形成层间绝缘膜时优选为50l，500J/m2,在形成l^i镜时雌为502,薩/m2。(3)将曝光后的被lia行显影的工序5用于工序(3)的显影处理的显影液，可以使用如下碱(碱性化合物)的水溶液，例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳,、硅,、(IE)硅酸钠、氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二乙基氨基乙醇、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂二环[5.4.0]-7冲一號烯、1，5-二氮杂二环[4.3.0〗-5-壬烯等。可以将在上述碱io的水溶液中适量添加甲醇、乙醇等7jC溶性有机翻」戯面活性齐卿成的水溶液或溶解第二组合物的各种有机翻鹏作显影液。显影方法可以利用paddle法、浸溃法、摇动漫溃法、喷淋法等适当的方法。显影时间因组合物的,而异，可以为例如30120秒左右。另外，目前己知的用于形成层间绝缘膜或镜的组，如果显影时间超15itS佳值2025秒左右就会发生图案剥落，因此，必须严格控制显影时间，而4顿本发明的娜线敏感性柳旨组合物时，即^M影时间舰最佳显影时间30秒或30秒以上，也可以形成良好的图案，具有工程管理方面的优点。④将显影后的，鹏卩热的工序在如上所,行了工序(3)后，形成了图案的被膜ttit通过例如流水清洗20进^票洗处理，再优选利用髙压水银灯等全面照射放射线(后曝光)，由此将该被膜中残存的1,2-醌二叠氮化，进行，处理，然后将该TO利用加热板、烘箱等加热^S进行加热处理(后烘烤处理)。通过该处理，在固化膜是层间绝缘膜时对鹏进行了固化M,而在固4W是1tM时，图鄉的被麟鹏25，后曝光工序中的曝光量优选为2,0005,000J/m2。固化处理中的加热显度为例如120250°C。加热时间因加热设备的种类而异，例如在加热板，行加热处理时，可以设定为例如530併中，鄉箱中进行加热处理时，可以设定为例如3090射中。这时，也可以細进行2次或2次以上加热工序的分麟固法等。30由此，可以在基板表面形成对应于目标层间绝缘膜或自镜的图案状被使用第三或第四组，形成保护膜的方法，依照如下所述的顺序进行下述5工和)和(2)。(1)在±形，^^四组^的的工序。(2)将战W!ra热的工序。(1)在上形，三，四组，的的工序首先，将第H^四组^t/溶液涂布在mh，皿进fi^员烘烤除去翻Jio而形成被膜。作为舰可以^顿的繊，可以舰由例如玻璃、石英、硅、透明树H縛构成的基板。J^t明柳旨例如有聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚,、聚碳酸酯、聚,安、环鄉烃断环聚储或徵化物等。涂肺法可以鄉例如喷涂法、辊涂法、旋转涂布法、#^布法、喷墨15涂布法等适当的方法，可以特别适用{顿旋涂器、xt::/P7(注册商标)涂布器、缝麟布器的涂布。上述预烘烤的条件因各成分的种类、配合比例等而异，但优选为例如在7090°C下进行115併中左右0(2)将i^lMira热的工序20然后，ffiWJ^形成的鹏进行加热处理，可以形成目标保护膜。加热M时的鹏鹏雌为150250°C左右，另外，^f顿加热板作为加热錢时，鹏时间雌为530辦中左右，鹏烘箱时，雌为30~90辦中左右。另外，第H^四组合物含有娜线敏感性,生剂时，tti^在予鹏后、力口热工序前进行舰线照射处理(曝光处理)。用于该曝光处理的TO线可以采25用例如可见光、紫外线、远紫外线、电子射线、X射线等，^i^包含波长为190450nm的光线的紫外线。曝光量优选为10020，000J/m2，更优选为15010，000J/m2。这样形成的《跌膜的膜厚雌为0.18拜，更雌为0.16拜，进一步雌为0.14拜。其中，Sl;色滤光片的具有高度差的鎌上形成傲户膜时，30j^ii厚是指;y^色滤光片的^h部起算的厚度。〈ftffi第五组，形成W^鹏的:^使用第五组合物形成保护膜的方法，依照如下所述的顺序进行下述工序("(3)。5(l)将第五组，的第一液和第二液混合的Xj^(2)在上形成±^混合液的的工序。(3)将±^加热的工序。(1)将第五组合物的第一液和第二液混合的工序首先，混合第五组合物的第一液和第二液配制涂布用组^/溶液。至于第io—液和第二液的混合比例，相对于第一漱;含的(A，)聚合物ioo重量份，第二液含有的(F)固化剂的量雌为2060重量份，更雌为2050重量份。混合第一液和第二液配制成组，溶^，iti^在24小时内提供给下一工卿。②在mh形成i^混合液的M的工序15(3)将战鹏加热的工序上述工]^(2)及工^(3)分别可以和上述"舰第三鄉四组合物形成保护膜的方法"中的"(l)在基板上形成第三或第四组合物的被膜的工序"和"②将战被膜加热的工序"同样的方式进行。由后述的实施例可知，如上所述的方法在固化膜形成工序中的加热工m烧20结工m中实质上都没有产生升华物，可以在清洁的条件下形成固化膜，除lfet夕卜，特别是第二组合物在显影工序中具有高度的显影容限。另外，得到的固化膜在为由第一组，形成的间隔物时，图案微、压縮3贼和耐摩擦性优良。在为由第二组合物形成的层间绝缘膜时，固化膜耐热性和耐翻帷髙、介电常数低、显示出高的透光率。在为由第二组，形成的1^镜时，固化膜显示出25良好的熔体糊所需的曲率*@,耐热性和耐翻帷高、显示出高的透光率。在为由第三至第五组合物形成f，膜时，固化膜耐热性和表M5更度髙、显示出高的透光率，同时，将基底繊上的高錢平坦化的能力好。《液晶显示元件》如JJf述形成的固化膜为间隔物或保护膜时，可以将其翻于液晶显示元30件。下面说明的液晶显示元i牛，具有如上戶万，成的间隔物^f呆护膜。这样的液晶显示元件利用例如下面的方^^制作。首先，作成2i央形成有保护膜或液晶取向膜的基板，使2块基板对置，中间设置间隙(盒间隙(七^芊卞y:/))并使各自的取向膜中的液晶取向方向垂直或反平行，使2块基5板的周边部分通过间隔物贴合，在由基板的表面和间隔物而成的盒间隙内填充液晶，密繊充孔构成液晶盒。然后，在液晶盒的夕卜表面、即构成液晶盒的各基板的另一面贴合偏振板，使其偏振方向和在该基板的一面上形成的保护膜的液晶取向方向一，垂直，从而得到液晶显示元件。战液晶可列举向列型液晶、层列型液晶。其中，雌向列型液晶，可以io4顿例如席夫碱类液晶、氧化偶氮类液晶、联苯类液晶、苯餅己烷类液晶、酉旨类液晶、三f^类液晶、^5f己烷类液晶、嘧晚类液晶、，;^^液晶、二环辛烷类液晶、立方烷类液晶等。另外，在这些液晶中，也可以添加例如胆甾基氯化物(3kX于^夕口5^rH)、胆甾醇壬酸酯pkX亍'"P乂于工一卜)、胆甾醇碳酸酯等胆甾型液晶或以商品名"C-15"、"CB-15"(乂A夕公司带J)等15销售的手性试剂等来使用。另外，也可以4顿对癸氧基亚节基一对氨基一2-甲基丁基肉桂酸酯等强介电性液晶。作为用于液晶盒夕KK啲偏振板，可以列举将"^i将聚乙烯醇拉伸使其取向，一边使其吸收碘的称为H膜的偏繊用乙酸纤维素fW膜夹住的^^板；或由H膜本身构成的偏振板等。20实施例下面，ffl3i例示合成例、实施例，对本发明进行更具体地说明，但本发明并不限定于下面的实施例。在以下条件下测定下述聚合物的合成例中合成的聚合物妳渗^谱，25求出，乙烯换算重均^f量(Mw)和数均M量(Mn)0装置GPC-101(昭和电工(株)带J)柱将GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804(以上为昭和电工(株)鄉串联流动相含有0.5重齊/C的四氢呋喃30(I)第一组，的配制和i刊介聚合物的合成例合成例1在具有冷凝管、搅拌器的'繊中加入2,2'-偶氮二异丁腈2重量份、作为分子量控制剂的上^:cr-i)^的化合吻3M份和二乙二醇二甲基醚200重量5份，接着加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸17重量份、三环[5.2丄(^6]癸炼8-基甲基丙烯酸酯18重量份和甲基丙烯酸縮水甘油酯45重量份，进，气置换后，一边慢慢搅拌，一边将反应溶液升温至80。C，保持该離聚合6小时。然后，将反应溶^HK100。C,加入2,偶氮二异丁腈1重量份，再接着聚合1小时，由此得到含有表1所示的聚糊(A-1)的各溶液。得到的聚^J(A-1)的Mw为ll，OOO，Mw/Mn为1.4。另外，含有聚糊(A-1)的溶液的固体成分浓度为28.4雄/0。合成例220按表1所示的量顿表1所示的种类的物质替代作为肝量控制齐啲战式(T-l)所示的化^tl，除lfet外，与合成例1同样操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚^tl溶液的固体成分浓度如表1所示。比较合成例1在具有冷凝管、搅糊的'鹏中加入2，2'-偶氮ZX2，4-二甲基戊嫩5重量份和二乙二醇甲基乙220重量份，接着加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸17重量份、三环[5.2.1.02"6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯18重量份和甲基丙烯酸缩水甘油酯45重量份,进^E气置换后，Hi慢m拌，一边将反应溶,M70。C，在该驗下保持4小时进行聚合，由此得至晗有聚合物(a-l)的聚^t/溶液。聚，(a-l)的Mw为13,000，^量分布(Mw/Mn)为2.4，聚，溶液的固体成分浓度为29.5重%。<table>tableseeoriginaldocumentpage61</column></row><table>实施例1Mt线敏感性树B離合物的配制榭乍为(A)成分的相当于聚合物(A-l)100重量份(固体成分)量的含有上述合成例中合成的聚合物(A-1)的溶液、作为(B)成分的二季戊四醇六丙烯酸酯100錢份、作为(C)成分的2,2，-观2,4-二蘇基M，4，,5,5，-四苯繊二咪唑8重量份、作为粘结助剂的，环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷5重量份、作为表面活性剂的FTX-218(商品名，(株)才、才》帝i》0.5重量份和作为保存稳定剂的4-甲氧基苯酚0.5Sa份混合，加入丙二醇一甲基醚乙酸酯进疗溶解，j彭且，的固体成分浓度为30重1%，然后用孔径为0.5nm的微孔过滤器过滤，配制成组鋤溶液o3如下ff^t衍卩JJf述配制而成的组雄溶液的刑介。间,的形成在无M璃皿上用旋转涂布^^布J^a合物溶液后，在9o°c的加热板上予鹏烤3辦中，形鹏厚为6.0拜的鹏。io然后，M具有10,见方的残留图案的光掩模赠寻到的M照谢365nm处的3艘为250W/m2的紫外线10秒钟。然后，利用織化钾的0.05重fiy冰溶液在25。C下显影60秒后，用纟^R洗涤1^H中。进一步在烘箱中于150。C下进行120辦中后烘烤，由此形成具有规定图案的间隔物。15彌率的冊在战"间隔物的形成"中形成图案时，纟總留图案可以辨JI的情况评价为良好(O)、无法分辨的情况评价为不好(X)。，配制而成的组合物的分辨率良好。20灵,的i刊介算出上述"间隔物的形成"中得到的图案显影后的残膜與显影后的膜厚/初始膜厚X100(%))。将该值为90%或90%以上的情况评价为良釈0)、低于90%的情况评价为不樹X)。战配制而成的组合物的灵鹏良好。25图案皿的i刊介用扫描电子显微1察上述"间隔物的形成"中得到的图案的截面形汰，根据其对应于图1所示的AD的哪一种进行i刊介。这时，如果象A或B那样图鋭缘超顿梯形或垂直状时，可以认为间隔物的图案微良好。与此相沐如果象图C那样，灵t^不够，率低、截面积比A或B小、截面皿的30底面是平面的半凸,状时，间隔物的图案^t不好，另外，如果象图D那样，截面皿为倒梯皿时，由于在其后的摩擦处理时图案剥离的可能性非常大，因此，间,的图案形状也被认为是不好的。由J^配制而成的组合物形成的间隔物的截面皿为B，截面,良好。5压缩鹏的刑介对上述"间隔物的形成"中得到的图案，在23°C的测定,下，使用微小压縮试验机((株)岛津制作所制、型号"MCTM-200")，测定禾,直径为50|im的平面压头，施加10mN负荷时的，量。该值为0.5,或0.5pm以下时，可以认为压鄉贼良好。io由战配制而成的组合物形成的间隔物的郷量为0.4lMm，压縮强度良好。耐摩擦性的體在如战"间,的形成"中男附形成图案的mh用液晶取向膜涂布用15印刷机涂布液晶取向齐IJ(JSR(株)制，商品名"AL3046")后，在180°C下加热1小时，形成加热后膜厚为0.05,的取向剂的涂膜。然后，f顿具有機有聚翻安布的辊的摩擦机在辊的,为500ipm和台移动皿为lcm/秒的条件下对该涂膜进行摩擦处理。这时，考察图案有无磨损或剥落。对于具有由，配制而成的组合物形成的图案的基板，没有观察到图案的20磨损或剥离。密合性的iW除了不使用残留图案的掩模外，其余以与Jd悉"间隔物的形成"同样的方式进行操作形成固化膜。在此利用JISK-5400(1900)8.5的附着性i^中8.5-225的棋盘格带銜碁盤目r一力去)，评价形成的固化膜的密合性。100个棋盘格中残留的棋盘M为100。升的刑介在aSfchffl旋转涂布^^布im，溶液后，在90。C下在加热板上30预烘烤2倂中，形鹏厚为3.0拜的涂膜。舰Canon(株)制曝光机(型号"PLA-501F"，超高压水银灯)对得到的涂膜进行曝光，使累计照射量为3,000J/m2，将曝光后的S^在洁净烘箱(cleanoven)内在220°C下加热1小时，得到固化膜。在得到的固化膜的上方留出1厘米的间隔，安,卩用空硅晶片，在加热板上在230°C下进行1小时的加热处理。不更换冷却用空硅晶片5(《7、〉U]〉々工八)，连续M20块进行上述同样操作另外形成了固化膜的硅繊后，用柳^见察有无附舒空硅晶片的升糊，结果确认没有升糊。实施例220和比较例1在战实施例1的"放射线illi性树月識合物的配制"中，分别使用表2io所示的种类和量的(A)、(B)和(C)成分，除jltt外，其余与实施例1同样操作配制组她进行亂iW结果如表3所示。另外，在表2中，新各成分的简称分别定义如下。成分的种类和翻"/"连结时，标分别按表所述的量舰多个种类作为其成分。另外，表中的"-"标没有舰该栏的成分。15(B)成分B-l:二季戊四醇六丙烯酸酯(C)成分CM:2,2，-双(2，4-二鮮基)4,4，，5,5，-四苯S^二咪(^(biimidazole)02:2,2，-)X(2-鄉基)4,4，,5，5，-四苯繊二咪唑2003:2-甲基[4<甲硫基)苯萄-2-吗啉基1-丙酮C4:2-节蟇2-二甲基氨基1<4-吗啉4球基)-丁爵1娜线敏感的敏化剂H-l:4,4，-观二甲基氨萄1甲酮H-2:2-麟苯并噻唑25H-3:季戊四醇四(巯基乙酸酯)表2<table>tableseeoriginaldocumentpage65</column></row><table>表2(续)<table>tableseeoriginaldocumentpage66</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage67</column></row><table>表3(续)<table>tableseeoriginaldocumentpage68</column></row><table>(n揮二组，的配制和刑介聚糊的合成例合成例215在具有冷凝管、搅拌器的繊中，加入22，-偶氮二异丁腈2重量份、作为肝量控帝跻啲J^;(T-1)标的化合物3重量份和二乙二醇二甲繊200重量份，接着加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸20重量份、三环[5.2丄0^]|^炼8-基甲基丙烯酸酯20錢份、甲基丙烯酸缩水甘油酯40重量份，进4fE，换后，一边慢tlM拌，一边将皿溶,温至80。C，保持该、M聚合6小时。io然后，将反应溶断温至100°C，再加入2,偶氮二异丁腈1重量份，再接着聚合1小时，由此得至'J含有聚合物(A-21)的溶液。得到的聚合物(A-21)的Mw为10,000，Mw/Mn为1.4。另外，含有聚^t)(A-21)的溶液的固体成分浓度为29.8重熟015合成例2240按表4所示的量OT表4所示的种类的物质謝"th^式CT-l)表示的化，作为W量控制剂，除jlfct外，与合成例21同样操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚，溶液的固体成分浓度如表4所示。20比较合成例2在具有冷凝管、搅拌器的'繊中加入2，2，-偶氮双(2，4-二甲基戊職8重量份和苯乙烯20錢份、甲基丙烯酸20重量份、三环[5.2丄0^6]癸炼8-基甲基丙烯酸酯20重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯40重量份，进,气置换后，开始慢慢搅拌。使溶液的鹏上升至70°C，保持该、鹏5小时，得到含有聚合物(a-2)25的聚，溶液。聚^t/(a-2)的Mw为14,000，Mw/Mn为2.4。另夕卜，残留单体为5.8重量%，fetb得到的聚合物溶液的固体成分浓度为29.5重量％。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage70</column></row><table>成例中合成的聚糊(A-21)的溶液和作为p)成分的4，4，-1-4-[1-[4-羟基^]-1-甲基乙蜀苯基]亚乙基]^m(1.0摩尔)与1,2-萘醌二叠氮-5嶺酰敏2.0摩尔)的縮合物(D-1)30重量份混合，加入二乙二醇乙基甲基行溶解，使其固体成分浓度为30重S0/。，然后用L径0,2Mm的膜滤器过滤，配制成组合物溶液。层间绝缘膜的性能i刑介飾如上所述配制的娜线敏感性树月離糊，如下所述评价层间绝缘膜的各种特性。10灵驗的體在硅基板上用旋转涂布布上述配制的放射线敏感性树脂组合物，在90°C下在加热社予鹏烤2辦中，形鹏厚为3.0,的涂膜。舰具有规定图案的图案掩模，用Canon(株)制PLA-501F曝光與超髙压水银切，对得到的涂膜变化曝光时间进行曝光后，用浓度为0.4重量％的氢氧化四甲基铵水溶15Milpaddle法在25。C下显影90秒。用超嫩JC流7K清洗1，，进行干燥，在硅基板上形成图案。这时，考察将3.0脾的线与间隔(，O7>卜、7《一X)(10对l)的间隔'图案完全溶解所需要的曝光至。以该值为灵lteittfVH介，结果为550J/m2。该值为1,000J/m2或1,000J/m2以下时，可以认为灵良好。20显影容限的评价在硅基板上用旋转涂布ll^布上述配制的娜线敏感性树脂组糊，在90。C下在加热板上予鹏烤2辦中，形鹏厚为3.0nm的涂膜。通过具有3.0拜的线与间隔(IO对l)的图案的掩模，■Canon(株)制PLA-501F曝光树超25高压水银灯)，对得到的涂膜以相当于上述"灵敏度的评价"中测定的灵敏度的值的曝光量进行曝光。然后，4顿浓度为0.4重鳘/。的氨氧化四甲基铵水溶液，以显影时间为魏用paddle法在25°C下进行显影。然后，用^feK^7jC清洗1，，使其千燥，在薄片上形成图案。这时，以鹏的线宽为3pm所需要的显影时间为最佳显影时间进行考察，结果为60秒。另外，舰该最佳30显影时间M续显影时，以到3.0拜的统图案剥落为止的时间为显影容限进行测定，结果为30秒。该值为30秒或30秒以上时，可以认为显影容限良好。,翻性的刑介在^上，用旋转涂布布±^配制的,线敏感性树脂组合物，在590。C下在加热社予鹏烤2辦中，形鹏厚为3.0Mm的涂膜。用Canon(株)帝啲曝光机(型号"PLA-501F"，(超高压水银'i:T))，对得至啲涂膜进行曝光，累计照浙量为3,000J/m2。在洁净烘箱内在220eC下加热曝光后的硅繊l小时，得到固化膜。测定得到的固化膜的膜厚(T1)，结果为2.3pm。将形成了该固化膜的硅S^浸渍^MJ^控制在70°C的二甲亚砜中20射中后，测定该固化膜的io膜j(tl)，算出因浸渍导致的膜厚变化率(Itl-TlIJl}X100(%)，结果为0.1%。该值为5%或5%以下时，可以认为耐翻雌良好。另外，由于在耐翻雌的刑介中形成的膜不需要构图，因此，省略娜线照射工序和显影工序，只进行涂膜形成工序、后烘烤工序和加热工序即供于评价。15耐热性的刑介和上述耐溶剂性的评价同样操作形成固化膜，测定得到的固化膜的膜厚(T2),结果为2.3拜。接着，将带该固化膜的S^在洁净烘箱内在240°C下再烘烤l小时后，测定该固4W的膜i^t2)，算出因再烘烤弓胞的膜厚变化率(I20t2-T2i/T2}X100(%),结果为0%。该值为5%或5%以下时，可以认为耐热性良好。透明性的评价在战耐热性的刑介中，4顿玻璃繊"〕一二>乂7059"(〕一二>^:25公司顿代替硅繊，除]fet外，进行同样操作，在玻璃鎌上形成固4W。用分光光度计"150-20型^:/^H—厶((株)日立制作所带J)"，在对照侧杯中装填没有膜的〕一二>^:7059，在400800nm范围的波长下测定具有该固j機的玻璃繊的透光率。考察这时的最低透光率的值，结果为92%。该働90%或90%以上时，可以认为透明性良好。介电常数的i啊介在^的SUS304律ij皿上，用旋转涂布*^布±^配制的，线,性树脂组糊，在90。C的加热社予1^烤2辦中，形繊厚为3.0拜的涂膜。用Canon(株)制的型号"PLA-501F"的曝光^(超高压水银'JT)),对得到的涂5膜进行曝光，鹏计照射量为3,000J/m2，在洁净烘箱内在220。C下加热该繊l小时，由此得到固化膜。在该固化膜上利用蒸镀法形成Pt/Pd电极图案，制成介电常数测定用样品。4OT銜河'匕a—l/"卜八"力一卜'(株)制HP16451B电极和HP4284A精密LCR观赋仪，利用CV法测定频率为10kHz时S^的介电常数，结果介电常io数为3.3。该值为3.6或3.6以下时，可以认为介电常数良好。另外，在介电常数的评价中，由于形成的膜不需要构图，因此，省略方謝线照射工序和显影工序，只进疗凃膜形成工序、后烘烤工序和加热工序即供于體。升，的VH介15使用上述配制的放射线敏感性树脂组合物，和实施例l同样操作进行评价，确认没有升，。实施例2232和比较例2对于实施例21中的(A)成分和(D)成分，分别H顿表5所示的种类、量，20除膨卜，其余和实施例21同样操作配制放射线敏感性树脂组，，进衍平价。评价结果如表6所示。另外，在实施例32中，配制娜线i^性树S離糊时，除了表5所示的(A)成分和(D)成分之外，进一步添加硅織类表面活性剂"SH-28PA"(商品名，东ixyo〕一二:z^…;/u〕一:y(株)律!J)o.oi錢份。另外，在实施25例32中，在繊上形^^膜时，禾俩j顿缝^^布器的涂布法代替旋涂法。表5中，成分的简称分别定义如下。(D)成分(EM):4，4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯萄-1-甲基乙蜀苯萄亚乙闺双,1.0摩尔)与1>萘醌二叠氮-5-磺酰敏2.0摩尔)的縮^tl30([>2):4，4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙蜀苯闺亚乙闺双斷1.0摩尔)与1，2-萘醌二叠氮-5,酰敏1.0摩尔)的缩，(1>3):2,3,4,4，鹏基二苯甲H(1.0摩尔)和1，2-翻昆二叠氮國5-磺酸酯(2.44摩尔)(EM):4,4，-[1-[4-[1-[4-羟基苯基]-1-甲基乙萄苯基]亚乙闺双斷1.0摩尔)与51,2-萘醌二叠氮4-磺酰孰2.0摩尔)的縮^J表5<table>tableseeoriginaldocumentpage75</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage76</column></row><table>实施例33娜线敏感性树月離合物的配制将作为(A)成分的相当于100重量份聚^J(A-33)(固体成分)的量的含有上5述合成例中合成的聚合物(A-33)的溶液和作为(D)成分的4,4'-[1-[4-[1-[4-羟基苯闺-l-甲基乙蜀苯蜀亚乙萄双斷l.0摩尔)与1，2-萘醌二叠氮-5-磺酰教2.0摩尔)的縮合物(D-1)30重量份混合，溶解于二乙二醇乙基甲基醚，使固体成分浓度为30重S0/。，然后，用孔径为0.2拜的膜滤器过滤，配制成组合物溶液。ioias^的性m刊介{顿如上所述配制的娜线敏感性树膨且糊，如下戶腿评价1t^的各种特性。灵驗的微15在硅基板上用旋转涂布布上述配制的]"线敏感性树脂组合物，在90。C的加热板上予鹏烤2射中，形成膜厚为3.0拜的涂膜。舰具有规定图案的图案掩模，用二->(株)制NSR1755i7A缩小投影曝光机(NA-0.50，^365nm)^t寻到的涂膜变化曝光时间进行曝光，用浓度为0.4重MT。的氮氧化四甲磐安水溶Milpaddle法在25°C下显影1分钟。用7JC漂洗，进行千燥，20在硅繊上形成图案。这时，考,0.8拜的线与间隔(l对l)的间隔线宽超lJ0.8,所必要的曝光量，以该,灵敏变，结果为750J/m2。显影容限的评价在硅,上，用旋转涂布^^布J^配制的皿线敏感性树脂组^tl，在2590°C的加热板上予1^烤2併中，形鹏厚为3.0,的涂膜。M具有规定图案的图案掩模，《顿-->(株)制NSR1755i7A縮小投影曝光机(NA《50，X=365nm),对得至啲涂膜以相当于战"灵鹏的评价"中须胺的灵鹏的值的曝光量进行曝光，^ffl浓度为0.4My。的氢氧化四甲基铵水溶液，用paddle法在25°C下以显影时间为变量进行显影。用7K漂洗，进行千燥，在硅基板上30形成图案。以使0.8nm的线与间隔图萄l对l)的间隔线宽为0.8Mm所需要的显影时间为最佳显影时间，考察结果其为60秒。超过该最佳显影时间，续显影时，以宽0.8拜的图案剥落的时间为显影容PSift行测定，结果为30秒。该值为30秒或以上时，可以认为显影容限良好。S耐黼U性的,在硅基板上用旋转涂布l^布上述配制的放射线敏感性树脂组合物，在90。C的加热板上予鹏烤2射中，形鹏厚为3.0Mm的涂膜。用Canon(株)制的型号为"PLA-501F"的曝光典超高压水银m对得到的涂膜进行曝光，使累计照射量为3，000J/m2，在洁净烘箱内在220。C下加热该硅基板1小时，得到固io化膜。观啶在此得到的固化膜的膜j(T3)，为2.3拜。将具有该固化膜的硅基板浸渍在ME控帶敏50°C的异離中10併中后，测定该固4W的膜)f(t3)，算出浸渍引起的膜厚变化率{It3-T3IA3}X100(%)，为0.1%。该值为5%或5%以下时，可以认为耐，U性良好。另外，由于在耐總雌的im中形成的膜不需要构图，因此，省略臓线15照射工序和显影工序，只进行涂膜形成工序、后烘烤工序和加热工序即供于评价。m^的形^fl^t^,的i刊介)在硅基板上用旋转涂布,布上述配制的放射线敏感性树脂组合物，在2090。C的加热板上予鹏烤2併中，形鹏厚为3.0拜的涂膜。S31具有4.0拜点'2.0拜间隔图案的图案掩模，舰-->(株)制NSR1755i7A缩小鄉曝光机(NA^.50，X-365nm)对得到的涂膜以相当于上述"灵敏度的评价"中测定的灵,值的曝光量进行曝光，利用浓度为0.4重量％的氢氧化四甲基铵水溶液，用paddle法在25°C下显影1併中。用水漂洗，进行干燥，在硅±25形成图案。然后，用Canon(株)制的型号为"PLA-501F"的曝光机(超髙压水银'JTT)进行曝光，顿计赚量为3，000J/m2，然后，利用加热板在160°C下加热10併中，雜230。C下加热10射中，使图^ifi形成^SIt。测定形成的'ltit镜的底執连^^的蹄的尺寸(直径)，结果为4.2,，其截面微是如图2(a)所示的半凸透镜微。当m^的底部尺寸舰4.0,且30低于5.0,，i^的截面形TO如图2(a)所示的半凸透镜微时，可以认为i^靴良好。当m^的底部直默5.0Mm或5.0Mm以上时，相邻的纖之间呈接触状态，不雌。另外，m^的截面靴是如图2(b)所示的大繊形皿时，^bt不好。5耐热性的评价、透明性的评价和升华吻的评价这些ifj介以与J^层间绝缘膜的性能评价中的各种评价同样的方式进行。耐热性评价中的固化后膜厚为2.3拜、膜厚变化率为0%，透明性评价中400800nm的范围的最^yg光率为92%，在升，i刊介中，在冷却用空硅晶片表面没有观察到升糊。0实施例3440和比较例3对于实施例33中的(A)成分，分别使用表7所示的聚合物，除jfe^卜，其余和实施例33同样操作配制TO线敏感性树脂组合物，进m刊介。评价结果如表8所示。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage80</column></row><table>(III)第五组，的配制和iTO聚糊的合成例5合成例41在具有冷織、搅拌器的'鹏中加入2，2'-偶氮二异丁腈2重量份、作为分子量控制剂的J^KCT-1)标的化糊3重量份和二乙二醇二甲基醚200重量份，接着加入甲基丙烯,7K甘油酯80重量份和苯乙烯20重量份，进概气置换后，一边慢TO拌，Hi将，溶,温至80。C，保持该MS聚合6小时。10然后，将鹏溶断温至100°C，再加入2^-偶氮二异丁腈1重量份，再接着聚合1小时，由此得至i捨有聚^tl(A-41)的溶液。测定聚^t/(A41)的Mw和Mw/Mn,分别为10,500和1.4。另外，含有聚糊(A41)的溶液的固体成分浓度为28.4重1%。15合成例4250按表9所示的量鹏表9所示的种类的物质代靴为肝量控制齐啲战式(T-1)表示的化合物，除lfet^卜，其余和合成例41同样操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚，溶液的固体成分浓度如表9所示。20比较合成例3在具有冷凝管、搅拌器的繊中加入2，2，-偶氮Il(2,4-二甲基戊職7重量份和二乙二醇甲基乙基醚200重量份，接着加A^乙烯50重量份和甲基丙烯酸缩7jC甘油酯50重量份，进，气置换后，一边慢HM拌，一边将g溶、皿MM70°C，保持该,聚合5小时，由此得至晗有共聚物(a-3)的溶液。共糊25(a-3)的，乙烯换算重均^量(Mw)为14,000，分子量分布(Mw/Mn)为1.8。聚，溶液的固体成分浓度为30.0Sl%。表9<table>tableseeoriginaldocumentpage82</column></row><table>实施例41二液型固化性树脂组合物的配制<第一液的制备>将作为(A，)成分的相当于100重量份共聚物(A41)固体成分的量的含有上io述合成例41中得到的共聚物(A41)的溶液、作为(E)成分的双酚A线型酚醛环氧树脂"工tf〕一卜157S65"(商品名，油化i/工Jl/工求牛i/(株)制)IO重量份、作为粘结助剂的，环氧丙氧丙基三甲M硅烷15重量份和作为表面活性剂的SH曙28PA(东I/.^^〕一二〉夂.〉ij〕—〉(株)帝ij)o.i重量份混合，进一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，i，一液中的固体成分浓度为20重ST。，15然后用孑L径为0.5nm的微孑lii滤器过滤，配制，一液。<第二液的制备>将作为(F)成分的偏苯三酸酐35驢份溶解于二乙二醇甲基乙基醚65重量份中，配制麟二液。<固化性树膨且，的配律1>将Jl^第一液和第二液混合，配制成组合物溶液。该组^1溶,无，明的。5固化性树膨且合物的评价赠寻到的组，溶液，ism下述方法在,上形成保护膜并进mm。-做膜的形膝在Si02浸渍玻璃基板上用旋转涂布布上述配制的组合物溶液后，在80。C下在加热社予鹏烤5射中，形^^膜，进一步鄉箱中在230°C下加io热处理60射中，在^±形厚为2.0,的保护膜。-保护膜的i刊介-透明性的评价对形成了保护膜的SiO,浸渍玻璃基板，用分光光度计150-20型歹:^ll/lf一厶(日立制作所(株)鄉，在对照侧杯中装填没有^J户膜的Si(V浸15渍自Sfc测定在400800nm的波长范围的透光與Q/。)，以其最小值为透明'^iS行评价，结果为99%。该值为95%或95%以上时，可以认为《娥膜的透明性良好。耐热尺寸稳定性的刑介将形成了做膜的Si(V浸渍鹏S^在250eC的烘箱中加热1小时，测20定加热前后的膜厚，以由下式算出的值为耐热尺寸稳定性进行评价，结果为99%。该值为95%或95%以上时，可以认为耐热尺寸稳定性良好。耐热尺寸稳定性(％)=(加热后的膜厚)/(加热前的膜衝><10。耐热变色性的评价将形成了傲户膜的Si(V浸渍鹏繊在250°C的烘箱中加热1小时，测25定加热前后在400800nm的波长范围透光率，以用各最小值由下式算出的值作为耐热变色性謝fi刊介，结果为3%。该働5%或5%以下时，可以认为耐热变色性良好。耐热变色性(％)=(加热前的透光與°/。)的最小值>(加热后的透光率(％)的最小匍30表ffi!IS的i刊介对形成了嫩膜的SiCV浸溃糊^a行JISK-5400-1990的8.4.1铅笔刮擦微，进^fi平价，其5赎为6H。该i刊介结果为4H或比其还硬时，可以认为表面鹏良好。动繊小石ia(3^于s、v夕微小硬度)的vm5用岛,小5赎计DUH-201((株)岛津制作戶賴ij)对形成了保护膜的Si(V浸渍玻璃S^iS行棱角115。三角压WA^〕H、乂于勁压入i微，在荷重O.lgf、速度0.0145gC秒、保持时间5秒的条件下，使温度为23°C和140°C进斗fi平价，在23。C时为29，在140。C时为25。密合性的i刊介io对形成了保护膜的Si02浸渍玻璃基板进行高压锅试验(:/l^少卞一夕"力一X驗为120。C,鹏为100%，测定24小时)后，利用JISK-5400-1990的8.5.3附蓍性微格带法，刑介与SiCV浸渍玻璃繊的密合性，结果棋盘格100个中的1004^P残留。另外，除了舰Cr繊代替Si(V浸渍玻璃繊以外，其它与战'M駢15膜的形成"同样操作，形鹏厚为2.0Mm的{跌膜，并与战同样评价与Cr基板的密合性，结果100个棋盘格中的100个^l^留。-平坦化性能的评价-在Si02浸渍玻璃基板上分别利用旋转涂布器涂布颜料类彩色光刻胶(力，一l/^X卜)(商品名"JCRRED689"、"JCRGREEN706"和"CR208200B";以上为JSR(株)帝J)，在90。C下在加热l^i:予I^烤150秒，形^膜。然后，^f顿曝光机CanonPLA501F(Canon(株)带J)，通过规定的图案掩模，进行g/h/i射线(波长436nm、405nm和365nm的3跛比=2.7:2.5:4.8)曝光，其曝光量换算为i射线为2,000J/m2,然后，用0.05c/。氨氧化钾7jC溶^a行显影，用超^foK清洗60秒，雜烘箱中在230°C下加热舰30辦中，由此形成红、25纟蘇卩蓝3色条^l;色滤光片(条宽IOOmjii)o然后，使用表面粗糙度计a-step(亇一工^工一于〉〕一^(株)制)，测定形成了该彩色滤光片的基板的表面凹凸，其测定长2，000拜、测定范围2,000,见方、测定方向为红、绿、蓝方向的条线短轴方向和红'红、绿'绿、蓝-蓝的同一色的条线长轴方向2个方向，对各方向的测定点数为n-5(合计30n=10)，观啶每次测定的最髙部和驗部的高低對nm)的平均值，结果为1.0拜。另外，在和雄同样操作形成有彩色滤光片的^±用旋转涂布#^布上述"方謝线敏感性树脂组合物的配制"中配制的组合物溶液后，在80。C下在加热板上预烘烤5併中形^^膜，再在烘箱中在230°C下加热处理60辦中，在彩色滤光片上形^^巨离彩色滤光片的上面的膜厚为2.0,的保护膜。5然后，对该彩色滤光片上具有保护膜的基板，和上述同样操作测定保护膜的表面凹凸，艮P观啶最髙部和驗部的高低萄nm)的平均值，结果为200nm。当该働300nm或300nm以下时，可以认为其平坦化性能良好。-升,的胁在^HChl旋^^布H^布iliM^溶液后，在90。C下在加热极上io予t^烤2辦中，形鹏厚为3.0nm的涂膜。在洁净烘箱内在220。C下加热该硅基板i小时，得到固化膜。在得到的固4W上方留出l厘米的间隔，安装m口用空硅晶片，在加热板上在230°C下进行1小时的加热处理。不更,卩用空硅晶片，连续处理20块另外形成了上述固化膜的硅基板后，用肉目M察有无附着于空硅晶片的升华物，结果确认没有升华物。15实施例4250和比较例4对于，实施例41的"二、M固化性树月餘且^"的(A，)成分和(E)成分，分别i顿表io所示的种类和量，顿表io所示的翻u作为翻y，除lJtt外，其余和实施例4i同样操作配制组，，进tn刊介。评价结果如表io所示。20另外，在表2中，标各成分的简称分别定义如下。(E)成分E4:双酚A线型酚醛型环氧树脂(商品名工匕]一卜157S65,油化、:/工Jl/工求牛〉(株)带J)&2:双酚A型环,月K商品名工匕]一卜828，油化i/工Jl/工求牛、:/25(株)律lj)翻uS-l:丙二醇一甲基醚乙酸酯S-2:二乙二醇二甲基醚表l<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>(IV揮三组，的配制和刑介聚，的合成合成例515在具有冷凝管、搅拌器的'M中加入2，2m禹氮二异丁腈2重量份、作为分子量控制齐啲上賦Cr-ii)标的化，6重量份和二乙二醇二甲繊200重量份，接着加入甲基丙烯,水甘油酯50重量份、三环[5,2丄CP]癸炼8-基甲基丙烯酸酯20重量份和甲基丙烯酸30重量份，进纖气置换后，一边慢,拌，一边将反应溶液升驢70。C，保職、鹏聚合6小时。然后，将反应溶液io升,100。C，再加入2，2m禺氮二异丁腈1重量份，再接着聚合l小时，由此得到含有聚溯(A-51)的溶液。测定聚糊(A-51)的Mw和Mw/Mn的值，结果分别为9,500和1.4。另外，含有聚合物(A-51)的溶液的固体成分浓度为28.4重#%。15合成例5260按表11所示的量〗顿表11所示的种类的物质代割乍为肝量控制齐啲上^;(T-ii)^的化合物，除jJ&外，其余和合成例51同样操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚^t/溶液的固体成分浓度如表11所示。20比较合成例4在具有冷凝管、搅拌器的烧瓶中加入2,2'-偶氮；2,4-二甲基戊職6重量份禾口二乙二醇甲基乙基醚200重量份，接着加入甲基丙烯酸縮水甘油酯50重量份、三环[5,2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯20重量份和甲基丙烯酸30重量份，进《m气置换后，一边tHt搅拌，一边将，溶皿MS70。C，保,旨聚25合5小时，由此得至(J含有聚合物(a4)的聚，溶液。聚合物(a4)的棘乙烯换算重均分子量(Mw)为15,000、舒量分布(Mw/Mn)为2.4，含有聚糊(a4)的溶液的固体成分浓度为30.5重量%。表ll<table>tableseeoriginaldocumentpage88</column></row><table>实施例51一液型固化性树膨且^tl的配制将作为(A')成分的相当于共聚物(A-51)固体成分謂重量份的量的含有上述合成例51中得到的聚^t/(A-51)的溶液、作为(E)成分的双酚A线型酚醛型io环氧树脂(商品名工匕〕一卜157S65、油化i/工^工求年v(株)审U)10重量份、作为(G)酸发生齐啲节基-2-甲基4存強苯基甲辭充六氟锑離1重量份、作为粘结助剂的，环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷15重量份和作为表面活性剂的SH-28PA(东1/y々〕一二〉夂.^U〕一〉(株)制)O.l重量份混合，进一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，使固体成分浓度为20%，然后用L径为0.5拜15的微孔过滤器过滤，配制成组合物溶液。该组合物溶液的夕卜观是无腿明的。一液型固化性树膨且^tl的荆介4顿上述配制的一液型固化性树脂组合物作为组^tl溶液，除lltt外，其余和，实施例41同^f操作ia行im。结果如表i2所示。实施例5260和比较例5对于i^实施例51的"一,固化性树月l^^l的配制"中的(A')成分，5使用表12所示的种类和量，使用表12所示的翻,为翻j,除llfct外，其余和实施例51同样操作配制组^，进4fVH介。评价结果如表12所示。另外，表12中的翻U栏的简称和表10中的定义相同。表l2<table>tableseeoriginaldocumentpage90</column></row><table>(V)含有(A，1)聚糊的组合物的配制和评价合成例61在具有冷凝管和搅拌器的'鹏中加入2,2'-偶氮二异丁腈2重量份、作为分5子量控制齐啲J^(T-l)标的化^t/3龍份和二乙二醇二甲基醚200重量份，接着加入甲基丙烯酸縮7K甘油酯40錢份、甲基丙烯酸M环戊魏萄乙酯40重量份、苯乙烯10重量份和N-环己基马来StM胺10重量份，迸皿气置换后，慢1fJf始搅拌。将溶液的M^温至70。C，保持该温度5小时后，再加入2,2，-偶氮:r(2，4"二甲基鹏2重量份，再在70。C下搅拌2小时，得到共10聚物(A-61)的溶液。得到的共聚物(A《1)的Mw为8,000，量分布(Mw/Mn)为1.60。实施例61第四组，的配律卿评价15—M固化性树B離合物的配制将作为(A')成分的相当于100重量份共聚物(A-61)的固体成分的量的含有，合成例61中得到的共聚物(A"61)的溶液、作为(￡)成分的A线型酚醛型环iW月K商品名工t:〕一卜i57S65、油化e/工^工求年v(株)娜io重量份、作为敝生剂的节基2-甲*4-羟基苯基甲|^锑,1重量份、作20为粘结助剂的？环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷15重量份和作为表面活性剂的SH-28PA(东I/.夂々〕一二>夂.i/U〕一〉(株)制)O.l重量份混合，进一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，使固体成分浓度为20重量％，然后用孔径为0.5nm的微孔过滤器过滤，配制成组合物溶液。该组合物溶液的夕卜观是无色透明的。25—M固化性树S餘且合物的评价f顿Jd^配制的一鹏固化性树月識糊，除jlfct外，其余和战实施例41同样操作进fi^刊介。结果如下所述。透明性99%耐热尺寸称定性99%30耐热变色性3%动繊小鹏23。C:29140。C:25密合性Si02:100Cr:100平坦化性能200nrn升嫩无权利要求1.一种固化性树脂组合物，其特征在于，其含有(A)聚合物，所述(A)聚合物是通过在下式(1)或下式(2)表示的化合物存在下通过活性自由基聚合进行聚合，用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有羧基以及环氧乙烷基或氧杂环丁基，其中，式(1)为式(1)中，p为1或1以上的整数，Z1为氢原子、羧基、基团-RA、基团-ORA、基团-NRA2、基团-COORA、基团-C(＝O)NRA2、基团-P(＝O)RA2、基团-P(＝O)(ORA)2或基团-NRANRA-C(＝O)RA，RA独立地为卤原子、氰基、羟基、碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，RA为烷基、烯基、芳基、芳烷基或杂环基团时，RA所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基或羧基取代；p＝1时，R1为氢原子、氰基、基团-RB、基团-ORB、基团-NRB2、基团-SRB，RB独立地为碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～20的1价脂环族烃基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，RB所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代，其中，Z1和R1不同时为氢原子；p为2或2以上时，R1是从碳原子数为1～20的烷烃中除去p个氢原子得到的p价基团、从碳原子数为6～20的芳烃中除去p个氢原子得到的p价基团、或从碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环化合物中除去p个氢原子得到的p价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代；式(2)为式(2)中，m为2或2以上的整数，Z2是从碳原子数为1～20的烷烃中除去m个氢原子得到的m价基团、从碳原子数为6～20的芳烃中除去m个氢原子得到的m价基团、或从碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环化合物中除去m个氢原子得到的m价基团，这些基团所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代，R2为氢原子、氰基、基团-RC、基团-ORC、基团-NRC2、基团SRC，RC独立地为碳原子数为1～20的烷基、碳原子数为3～20的1价脂环族烃基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为6～20的芳基、碳原子数为7～20的芳烷基、或碳原子与杂原子的合计原子数为3～20的1价杂环基团，RC所具有的氢原子中的1个或多个可以被卤原子、氰基、羟基、羧基或环氧乙烷基取代。2.如权利要求1所述的固化性树膨且合物，其中，(A)聚储具有下式(i)或下式(ii)表示的结构<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(i)中，^和J^;(l)中的定义相同，式(ii)中，"和m与J^式(2)中的定义相同。3.如权利要求1所述的固化性树膨且合物，其特征在于，其还含有(B)聚20合性不饱和化合物和(C)Mt线敏感性聚合引发剂，用于形成间隔物。4.如权利要求1所述的固化性树月離合物，其特征在于，其还含有(0)1,2-醌二叠氮化，，用于形^M间绝缘膜lTit^05.如权利要求1所述的固化性树臌且合物，其特征在于，其还含有(E鄉离子聚合性化合物，用于形成<，膜。6.—种固化性树脂组合物，其特征在于，其含有(A')聚合物和(E)阳离子聚合性化合物，用于形成保护膜，其中，所述(A，)聚合物魏过在上述式(1)或Jd^(2)，的化合物的存在下S31活性自由，^a行聚合，用渗透色5谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有环氧乙烷基纖I^FT基。7.如权利要求6所述的固化性树月離合物，其中，(A，)聚合物具有上述式(i)或Jd^(ii銜的结构。8.如权利要求57中任一项所述的固化性树月離合物，其还含有(F)固10化剂爽G)麟生剂。9.一种2液型固化性树脂组，，期寺征在于，其含有第一液和第二液,所述第一液为权利要求57中任一项所述的固化性树脂组合物，所述第二液含有(F)固化剂。10.—种间隔物的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的顺序进行下15虹和)(4):(1)在±形^^利要求3所述的固化性树臘且合物的鹏的工序、(2)对至少一部分，^iS行TO线曝光的工序、(3)将曝光后的MM显影的工序、(4)将显影后的W(J卩热的工序。11.间隔物，其由权利要求10所述的方法形成。12.—种液晶显示元件，其特征在于，其包括权利要求ll所述的间隔物。13.—种层间绝缘膜或m^的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的",进行下虹和)(4):(1)在±形^^利要求4臓的固化性树月離合物的鹏的工序、(2)对，M的至少一部分进4亍方，线曝光的工序、(3)将曝光后的显影的工序、(4)将显影后的鹏B热的工序。14.由l^利要求13所述的方法形成的层间绝缘膜鉱lt^。15.—种保护膜的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的顺序进行下30舡和)(2):'(1)在±形1利要求57中任一项戶/^的固化性树脂组含吻的的工序。(2)将，鹏加热的工序。16.由权利要求15所述的方法形成的f默膜。517.—种保护膜的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的顺序进行下虹糊(3):(1)将权利要求9所述的组，的第一液和第二液混合的工序、(2)在*&±:形成±^混合液的的工序、(3)将，被膜加热的工序。18.由权利要求17所述的方法形成的做膜。全文摘要固化性树脂组合物、固化膜的形成方法和固化膜，本发明涉及一种固化性树脂组合物，其含有一种聚合物，所述聚合物是通过在特定的硫羰基硫化合物存在下利用活性自由基聚合来聚合的，用凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.7或1.7以下，且具有羧基以及环氧乙烷基或氧杂环丁基。文档编号C08L101/06GK101153121SQ20061017180公开日2008年4月2日申请日期2006年9月30日优先权日2005年10月7日发明者松本龙,梶田彻,河本达庆申请人:Jsr株式会社