一种涂胶装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种涂胶装置，包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀，该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的囊式过滤器。本实用新型在胶泵管路中加入一个过滤器，可在胶泵打胶时过滤掉胶中的杂质和颗粒，可提升涂胶后胶层的质量，提高在线的良率，降低返工率、节约原材料成本，增加设备的产能等。
【专利说明】一种涂胶装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于LED【技术领域】，主要涉及一种涂胶装置。
【背景技术】
[0002]目前LED制造过程中黄光工艺决定图形化衬底的质量，而黄光工艺中涂胶工艺质量的好坏，直接影响后续制作图形化衬底的质量。晶片在涂胶时，胶泵把光刻胶从胶瓶打出来通过胶管精确的滴到旋转的晶片中心，通过离心力把胶甩开，在晶片表面涂布一层均匀的胶，而胶中如果有杂质和颗粒的话，后续制作图形时就会出现图形缺失、掉胶、发射状溅影和黑点等情况，影响晶片加工的质量。
实用新型内容
[0003]本实用新型目的是提供一种涂胶装置，其在胶泵管路中加入一个过滤器可在胶泵打胶时过滤掉胶中的杂质和颗粒。
[0004]本实用新型的技术解决方案如下:
[0005]一种涂胶装置包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀，该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的过滤器。
[0006]上述过滤器为囊式过滤器。
[0007]上述过滤器为过滤精度为0.1 μ m的过滤器。
[0008]本实用新型的优点是:
[0009]本实用新型在胶泵管路中加入一个过滤器，可在胶泵打胶时过滤掉胶中的杂质和颗粒，可提升涂胶后胶层的质量，提高在线的良率，降低返工率、节约原材料成本，增加设备的产能等。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1为没加过滤器的涂胶装置示意图；
[0011]图2为加了过滤器的涂胶装置示意图；
[0012]图3为过滤器结构示意图；
[0013]其中:1 一光刻胶瓶；2—管路；3—胶泵；4一控制阀；5—晶片；6—过滤器；7—囊式过滤器；8—光刻胶进；9一光刻胶出。
【具体实施方式】
[0014]如图2、图3所示，本实用新型涂胶装置由光刻胶瓶1、胶泵3、控制阀4组成，为解决涂胶后表面质量的技术问题，本实用新型在胶路中增加一个囊式过滤器7。涂胶机在做涂胶工艺时，胶泵3先开始工作，它把光刻胶瓶I里的光刻胶先打到胶泵3里的存储罐，然后通过精密驱动电机精确的控制打胶的量，从存储罐中把胶打出来，通过四分之一软管连接到控制阀4，胶从控制阀4出来滴在晶片5上进行涂胶。[0015]图2与图1相比，本实用新型在管路2中加入一个过滤器，可在胶泵打胶时过滤掉胶中的杂质和颗粒，可提升涂胶后胶层的质量，提高在线的良率，降低返工率、节约原材料成本，增加设备的产能等。
【权利要求】
1.一种涂胶装置，包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀，其特征在于:该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的过滤器。
2.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于:所述过滤器为囊式过滤器。
3.根据权利要求1或2所述的涂胶装置，其特征在于:所述过滤器为过滤精度为0.1 μ m的过滤器。
【文档编号】B05C11/00GK203610279SQ201320588203
【公开日】2014年5月28日 申请日期:2013年9月23日 优先权日:2013年9月23日
【发明者】胡锋涛, 陈起伟, 侯柏宇, 邓觉为, 罗建华, 李斌, 马金金, 杜兴时 申请人:西安神光安瑞光电科技有限公司