物品输送装置的制作方法

本发明涉及物品输送装置，前述物品输送装置具备行进部、第一支承部、驱动部、控制部，前述行进部沿行进路径行进，前述第一支承部支承物品，前述驱动部在相对于沿行进路径的方向正交的多个正交方向中的至少某个方向上，使第一支承部相对于行进部移动，前述控制部控制驱动部的工作。

背景技术：

作为如上所述的物品输送装置，已知有被特开2005－225598号公报（专利文献1）记载的物品输送装置。在专利文献1中，记载了如下方案，在具备旋转台（41）的物品输送装置中，为了使物品的朝向配合作为输送对象部的收货台（5），进行借助旋转台（41）使物品绕铅垂轴旋转的控制，前述旋转台（41）能够使被支承于升降体（30）的物品绕铅垂轴旋转。并且，在专利文献1的0038段、0044段等中，记载了制振控制，前述制振控制用于抑制这样地使旋转台（41）旋转时能够产生的升降体（30）的摇动。

但是，即使不使物品绕铅垂轴旋转，被支承于第一支承部的物品的摇动（振动）也能仅由于行进部行进来产生。例如，可设想，物品由于行进部行进的轨道的台阶、弯曲而在铅垂方向上摇动、物品由于被作用于物品的离心力等惯性力而在行进路径的宽度方向（路径宽度方向）上摇动。并且，这样由于行进部的行进而产生的物品的振动，与专利文献1中使作为控制对象的物品绕铅垂轴旋转时在升降体处发生的摇动完全不同。但是，在专利文献1中，未考虑有关由这样的行进部的行进引起的物品的摇动的直接对策，当然，关于用于减少由行进部的行进引起的物品的振动的制振控制也一概没有记载。

技术实现要素：

因此，希望实现一种物品输送装置，前述物品输送装置能够用比较简单的结构来减少由行进部的行进引起的物品的振动。

鉴于上述问题，物品输送装置的技术方案为具备行进部、第一支承部、驱动部、控制部，前述行进部沿行进路径行进，前述第一支承部支承物品，前述驱动部在相对于沿前述行进路径的方向正交的多个正交方向中的至少某个方向上，使前述第一支承部相对于前述行进部移动，前述控制部控制前述驱动部的工作，其特征在于，前述物品输送装置还具备检测部，前述检测部检测物理量，前述物理量表示基于前述驱动部的前述第一支承部相对于前述行进部的移动方向的、被支承于前述第一支承部的物品相对于前述行进部的运动，前述控制部构成为执行移载控制和制振控制，前述移载控制是如下控制，在前述行进部的停止中控制前述驱动部的工作，使前述第一支承部相对于前述行进部在第一位置与第二位置之间移动，前述第一位置在前述行进路径内，在前述第二位置，在作为物品的输送源或输送目的地的输送对象部和前述第一支承部之间交接物品，前述制振控制是如下控制，在前述行进部的行进中且前述第一支承部支承有物品的状态下，基于被前述检测部检测的前述物理量控制前述驱动部的工作，降低被支承于前述第一支承部的物品随着前述行进部的行进的振动。

根据上述的技术方案，通过被控制部执行的制振控制，能够降低被支承于第一支承部的物品的、伴随行进部的行进的振动（由行进部的行进引起的振动）。并且，这样的伴随行进部的行进的振动的降低，是通过控制为了在物品输送装置和输送对象部之间移载物品而装备于物品输送装置的驱动部的工作来实现的。即，在不设置专门用于制振控制的装置的情况下，能够有效地利用已有的驱动部或其控制部来对物品输送装置进行制振控制。另外，在进行制振控制的行进部的行进中，用于物品的移载的驱动部不工作，即，制振控制的执行期间与移载控制的执行期间不重叠，所以不会有通过设置成进行制振控制而被控制部所要求的性能（处理能力等）过度地增加的情况。

像以上这样，根据上述的技术方案，能够实现一种物品输送装置，前述物品输送装置能够将由行进部的行进引起的物品的振动，用比较简单的结构来降低。

附图说明

图1是表示第一支承部位于第一位置的状态的物品输送装置的图。

图2是表示第一支承部位于第二位置的状态的物品输送装置的图。

图3是物品输送装置的侧视图。

图4是物品输送装置的主视图。

图5是控制框图。

图6是表示制振控制的控制系统的框图。

图7是物品的路径宽度方向的振动的说明图。

图8是第一制振控制的说明图。

图9是物品的铅垂方向的振动的说明图。

图10是第二制振控制的说明图。

图11是控制流程图。

具体实施方式

参照附图，对物品输送装置的实施方式进行说明。如图1～图5所示，物品输送装置2具备行进部11、第一支承部4、驱动装置26、控制装置80，前述行进部11沿行进路径行进，前述第一支承部4支承物品3，前述驱动装置26使第一支承部4相对于行进部11移动，前述控制装置80控制驱动装置26的工作。第一支承部4被支承于行进部11，随着行进部11的行进沿行进路径移动。在本实施方式中，物品输送装置2具备第二支承部5，前述第二支承部5被支承于行进部11，且将第一支承部4悬挂支承，第一支承部4经由第二支承部5被支承于行进部11。在本实施方式中，驱动装置26相当于“驱动部”，控制装置80相当于“控制部”。

驱动装置26在相对于沿行进路径的方向（以下称作“路径长度方向y”。）正交的多个正交方向中的至少某个方向上，使第一支承部4相对于行进部11移动。在本实施方式中，驱动装置26在作为两个正交方向的路径宽度方向x及铅垂方向z的每一个上，使第一支承部4相对于行进部11移动。这里，路径宽度方向x是行进路径的宽度方向。即，路径宽度方向x是与路径长度方向y及铅垂方向z二者正交的方向。在本实施方式中，如后所述，以沿路径长度方向y延伸的方式设置行进轨道1。

物品输送装置2还具备检测装置40，前述检测装置40检测表示被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的运动的物理量（以下称作“特定物理量”。）。检测装置40检测由驱动装置26引起的第一支承部4相对于行进部11的移动方向的特定物理量。在本实施方式中，该移动方向是路径宽度方向x及铅垂方向z二者，检测装置40检测路径宽度方向x及铅垂方向z的每一个的特定物理量。在本实施方式中，检测装置40相当于“检测部”。

在本实施方式中，如图1及图2所示，行进部11沿在顶棚侧形成的行进路径行进。行进路径是行进部11行进时、行进部11、主体部12、及被支承于第一支承部4的物品3移动的空间。主体部12是物品输送装置2的被支承于行进部11的部分，在主体部12上包括第一支承部4及第二支承部5。在本实施方式中，如图1及图3所示，行进部11行进时物品3移动的空间被包括于行进部11行进时主体部12移动的空间。行进路径形成为经由多个输送对象部91。输送对象部91是物品输送装置2输送的物品3的输送源或输送目的地。在本实施方式中，物品3是收纳半导体基板等基板的容器，具体地，是前端开启式晶圆传送盒（foup，frontopeningunifiedpod）。并且，在图1及图2中作为一例表示的输送对象部91是相对于被收纳于物品3的基板进行处理的处理装置90的支承台（装载口）。输送对象部91例如被配置于比行进路径靠下侧且在铅垂方向z上观察与行进路径重叠的位置，或被配置于比行进路径靠下侧且为路径宽度方向x上行进路径的外侧的位置。

如图3及图4所示，在本实施方式中，行进部11构成为，在被支承于从顶棚悬挂的行进轨道1的状态下，沿行进路径行进。主体部12以位于比行进轨道1靠下侧的位置的方式，被悬挂支承于行进部11。行进部11具备在行进轨道1的上表面滚动的行进轮14，行进部11以行进轮14相对于行进轨道1从上侧接触的状态，被行进轨道1支承。在本实施方式中，在路径宽度方向x上离开的一对行进轨道1被沿行进路径设置，行进部11具备在一对行进轨道1的一方的上表面滚动的行进轮14、在一对行进轨道1的另一方的上表面滚动的行进轮14。行进部11借助该行进部11具备的行进用马达13（参照图3）的驱动力行进。具体地，行进轮14借助行进用马达13被旋转驱动，由此行进部11沿行进路径行进。另外，在行进部11上，具备限制行进部11的路径宽度方向x的移动的引导轮15，引导轮15在被接触引导于行进轨道1的侧面的状态下，行进部11沿行进轨道1的延伸方向（即沿行进路径）行进。

物品输送装置2是借助驱动装置26的驱动力工作的机构，具备使第二支承部5相对于行进部11在路径宽度方向x上移动的滑动机构18。第二支承部5将第一支承部悬挂支承，所以与第二支承部5相对于行进部11的路径宽度方向x的移动对应，第一支承部4也相对于行进部11向路径宽度方向x的同侧移动。即，驱动装置26构成为，使第二支承部5相对于行进部11在路径宽度方向x上移动，由此将路径宽度方向x作为上述多个正交方向中的某个方向，使第一支承部4相对于行进部11在路径宽度方向x上移动。驱动装置26构成为，相对于使行进部11行进时的路径宽度方向x的基准位置（在图4中由双点划线所表示的第二支承部5的位置）向路径宽度方向x的两侧，能够使第二支承部5移动。另外，该基准位置（退避位置）是行进路径内的位置，在本实施方式中，是被装备于主体部12的罩16将路径长度方向y的两侧划分的空间（以下称作“收纳空间”）的内部的位置。该收纳空间在路径宽度方向x的至少一侧（在本实施方式中为两侧）形成的开口部处，连通于收纳空间的外部的空间（行进路径的外部的空间）。并且，第一支承部4、第二支承部5、及被第一支承部4支承的物品3在不与罩16接触的情况下，经由该开口部，在收纳空间的内部和外部之间（行进路径的内部和外部之间）在路径宽度方向x上移动。

在本实施方式中，如图3及图5所示，驱动装置26具备用于使滑动机构18工作的滑动用马达25（在本实施方式是伺服马达）。此外，在本实施方式中，如图3及图4所示，滑动机构18具备第一滑动移动体23和第二滑动移动体24。第二滑动移动体24相对于主体部12与行进部11的连结部分（主体部12的上侧部分），被能够相对路径宽度方向x移动地连结，第一滑动移动体23相对于第二滑动移动体24被能够相对路径宽度方向x移动地连结。并且，第二支承部5被固定于第一滑动移动体23，与第一滑动移动体23一体地在路径宽度方向x上移动。驱动装置26从第二支承部5位于上述基准位置的状态（在图4中用双点划线表示的状态），借助滑动用马达25的驱动力，使第二滑动移动体24相对于主体部12的上述连结部分向路径宽度方向x的外侧滑动移动，并且使第一滑动移动体23相对于第二滑动移动体24向路径宽度方向x的外侧滑动移动，由此使第二支承部5向路径宽度方向x的外侧（从基准位置离开的一侧）移动。在图4中用实线表示的第二支承部5的位置（突出位置）为，第一支承部4与配置在比行进路径靠下侧且在路径宽度方向x上配置在行进路径的外侧的输送对象部91（在图4中省略），在铅垂方向z上观察重叠的位置。此外，驱动装置26为，从第二支承部5位于比上述基准位置靠路径宽度方向x的外侧的状态（例如，在图4中实线所示的状态），借助滑动用马达25的驱动力，使第二滑动移动体24相对于主体部12的上述连结部分向路径宽度方向x的内侧滑动移动，并且使第一滑动移动体23相对于第二滑动移动体24向路径宽度方向x的内侧滑动移动，由此使第二支承部5向路径宽度方向x的内侧（接近基准位置的一侧）移动。

此外，物品输送装置2是借助驱动装置26的驱动力工作的机构，具备使第一支承部4相对于第二支承部5在铅垂方向z上移动（即升降）的升降机构17。另外，第二支承部5相对于行进部11仅能够在路径宽度方向x上移动，第二支承部5相对于行进部11的铅垂方向z的位置被固定。由此，第一支承部4相对于第二支承部5的铅垂方向z的移动量及移动方向与第一支承部4相对于行进部11的铅垂方向z的移动量及移动方向相同。驱动装置26构成为，在相对于使行进部11行进时的基准高度（图1、图3、图4所示的第一支承部4的高度），能够使第一支承部4向铅垂方向z的两侧移动。另外，该基准高度（行进用高度）是第二支承部5位于上述基准位置的状态下第一支承部4位于行进路径内的高度。因此，第一支承部4从基准高度向上侧的能够移动的范围是比较小的范围。在本实施方式中，该基准高度设定成，第二支承部5位于基准位置的状态下，第一支承部4位于由罩16形成的上述收纳空间的内部，且进而在第一支承部4支承有物品3的情况下，该物品3位于收纳空间的内部的高度。该收纳空间在在下侧形成的开口部处，与收纳空间的外部的空间（行进路径的外部的空间）连通。并且，第一支承部4、及被第一支承部4支承的物品3在不与罩16接触的情况下，经由该开口部在收纳空间的内部和外部之间（行进路径的内部和外部之间）在铅垂方向z上移动。

在本实施方式中，如图4及图5所示，驱动装置26具备用于使升降机构17工作的升降用马达21（本实施方式中是伺服马达）。此外，在本实施方式中，如图3及图4所示，升降机构17具备带10和卷绕体22（转筒）。带10被卷绕于卷绕体22，在带10的末端部连结有第一支承部4。此外，卷绕体22被固定于第二支承部5。即，第二支承部5具备卷绕体22，前述卷绕体22将连接有第一支承部4的带10卷绕。由此，第二支承部5借助带10将第一支承部4悬挂支承。驱动装置26借助升降用马达21的驱动力使卷绕体22向正向或反向旋转，由此将带10卷绕或放出，使第一支承部4上升或下降。即，构成为，驱动装置26使卷绕体22旋转，将带10卷绕或放出，由此将铅垂方向z作为上述多个正交方向的某个方向，使第一支承部4相对于行进部11在铅垂方向z上移动。如图2所示，在本实施方式中，升降机构17具备3根带10。在本实施方式中，带10相当于“带状体”，卷绕体22相当于“卷绕部”。另外，也能够用线材等其他带状体取代带10来使用。此外，升降机构17也可以具备2根或4根等与3根不同的根数的带10。

如图4所示，在本实施方式中，在物品3的上部形成有凸缘部，第一支承部4具备把持该凸缘部的一对把持部20。凸缘部以相对于物品3的主体部位于上侧的方式被连结于该主体部，在主体部和凸缘部之间形成有插入用空间。一对把持部20在该一对把持部20的每一个支承部分被插入至该插入用空间的状态下，将凸缘部的下表面从下侧支承。第一支承部4具备把持用马达19（参照图4、图5），借助把持用马达19的驱动力，一对把持部20的姿势被在将物品3把持的把持姿势（图4所示的姿势）、将物品3的把持解除的解除姿势之间切换。即，使把持姿势的一对把持部20的各个支承部分互相离开，将该各个支承部分从上述插入用空间拔出，由此一对把持部20的姿势被切换成解除姿势。此外，使解除姿势的一对把持部20的各个支承部分互相接近，将该各个支承部分插入上述插入用空间，由此一对把持部20的姿势被切换成把持姿势。

控制驱动装置26的工作的控制装置80在本实施方式中被构成为，控制行进部11的工作及一对把持部20的工作。即，如图5所示，控制装置80构成为，控制驱动装置26具备的升降用马达21及滑动用马达25的驱动，还控制行进用马达13及把持用马达19的驱动。控制装置80控制升降用马达21的驱动，由此使第一支承部4在铅垂方向z上移动，控制滑动用马达25的驱动，由此使第二支承部5在路径宽度方向x上移动，控制把持用马达19的驱动，由此切换一对把持部20的姿势。此外，控制装置80控制行进用马达13的驱动，由此使行进部11行进。控制装置80在第一支承部4位于行进路径内的状态下使行进部11行进。在本实施方式中，控制装置80在第一支承部4及第二支承部5位于上述收纳空间的内部、进而第一支承部4支承有物品3的情况下该物品3位于收纳空间的内部的状态下，使行进部11行进。

控制装置80具备微型计算机等处理器，并且具备存储器等周边回路，通过这些硬件和被由处理器等硬件上执行的程序的协作，控制装置80的各功能被实现。控制装置80可以设置成与行进部11一体地行进，也可以以不与行进部11一体地行进的方式与行进部11独立地设置。此外，在控制装置80具备互相能够通信地分离的多个硬件的情况下，可以设置成仅该多个硬件的一部份的硬件与行进部11一体地行进，也可以设置成余下的硬件与行进部11独立。

控制装置80构成为执行移载控制和制振控制。移载控制为如下控制，在行进部11的停止中控制驱动装置26的工作，在行进路径内的第一位置、在输送对象部91和第一支承部4之间交接物品3的第二位置（图2所示的第一支承部4的位置）之间，使第一支承部4相对于行进部11移动。在本实施方式中，第二位置设定成比第一位置低的高度。此外，在本实施方式中，第二位置是在铅垂方向z上观察时第一支承部4与输送对象部91重叠的位置，设定成如下位置（高度），通过将一对把持部20的姿势从解除姿势切换成把持姿势，能够在被支承于输送对象部91的物品3的上述插入用空间插入一对把持部20的每一个的支承部分，并且，通过将一对把持部20的姿势从把持姿势切换成解除姿势，能够从被支承于输送对象部91的物品3的上述插入用空间将一对把持部20的每一个的支承部分拔出。在本实施方式中，控制装置80基于来自上位的控制器（图中未示出）的指令执行移载控制。

控制装置80在对第一支承部4未支承物品3的状态（以下称作“空载状态”）的物品输送装置2执行从输送源的输送对象部91将物品3接收的接收控制时、对第一支承部4支承有物品3的状态（以下称作“实载状态”）的物品输送装置2执行将物品3供给至输送目的地的输送对象部91的供给控制时，执行移载控制。控制装置80在接收控制的执行时，在使空载状态的物品输送装置2的行进部11停止于和输送源的输送对象部91在路径长度方向y上相同的位置的状态下，执行移载控制。此外，控制装置80在供给控制的执行时，在使实载状态的物品输送装置2的行进部11停止于与输送目的地的输送对象部91在路径长度方向y上相同的位置的状态下，执行移载控制。接收控制的执行时被执行的移载控制（以下称作“第一移载控制”）、供给控制的执行时被执行的移载控制（以下称作“第二移载控制”）都在将使第一支承部4从第一位置移动至第二位置的控制、切换一对把持部20的姿势的控制、使第一支承部4从第二位置移动至第一位置的控制按照记载的顺序执行这一点上是共通的。但是，在第一移载控制中，将一对把持部20的姿势从解除姿势切换为把持姿势，与此相对，在第二移载控制中，将一对把持部20的姿势从把持姿势切换至解除姿势，在这点上第一移载控制和第二移载控制不同。

另外，输送对象部91在被配置在比行进路径靠下侧且在路径宽度方向x上的行进路径的外侧的情况下，使第一支承部4在第一位置和第二位置之间移动时，需要使第一支承部4在行进路径的内部和外部之间在路径宽度方向x上移动。在本实施方式中，该情况下，设定支承第一支承部4的第二支承部5的路径宽度方向x上的移动、第一支承部4的铅垂方向z的移动的执行顺序，使得第一支承部4以在路径宽度方向x上位于行进路径的外侧的状态在铅垂方向z上移动。即，在使第一支承部4从第一位置移动至第二位置时，使第一支承部4在路径宽度方向x上移动至行进路径的外部（图4实线所示的状态），之后，使第一支承部4向第二位置下降。此外，在使第一支承部4从第二位置移动至第一位置时，使第一支承部4以在路径宽度方向x上位于行进路径的外侧的状态上升至与第一位置相同的高度（图4的实线所示的状态），之后，使第一支承部4在路径宽度方向x上移动至行进路径的内部。

制振控制是如下控制，在行进部11的行进中且第一支承部4支承物品3的状态下，基于被检测装置40检测的特定物理量控制驱动装置26的工作，降低被支承于第一支承部4的物品3伴随行进部11的行进的振动。即，制振控制是在实载状态的物品输送装置2的行进部11的行进中被执行的控制。在行进部11的行进中，例如，行进轮14从行进轨道1受到的冲击（由行进轨道1的台阶或弯曲引起的冲击等）、作用于物品3的惯性力（离心力等）等作为原因，物品3能够产生振动。另外，物品3在相对于第一支承部4的移动被限制的状态下被支承于第一支承部4。由此，物品3能够伴随行进部11的行进与第一支承部4一体地振动。

在本实施方式中，控制装置80作为制振控制，执行第一制振控制和第二制振控制。这里，第一制振控制是将物品3的路径宽度方向x的振动降低的控制。此外，第二制振控制是将物品3的铅垂方向z的振动降低的控制。控制装置80在检查出物品3的路径宽度方向x的振动的情况下，执行第一制振控制。在本实施方式中，如图4所示，检测装置40具备第一距离传感器41（例如光距离传感器等），前述第一距离传感器41用于检测物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的位置。即，在本实施方式中，借助第一距离传感器41，检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的位置，作为路径宽度方向x的特定物理量。控制装置80基于第一距离传感器41的检测信息，判断物品3的路径宽度方向x的振动的有无。另外，如图3所示，在本实施方式中，构成为，能够将第一距离传感器41的位置在检测用的位置（在图3中虚线所示的位置）和避让用的位置（在图3实线所示的位置）之间切换，在物品输送装置2和输送对象部91之间的物品3的移载时，第一距离传感器41根据需要被移动至上述避让用的位置。此外，控制装置80在被检查出物品3的铅垂方向z的振动的情况下，执行第二制振控制。在本实施方式中，如图4所示，检测装置40具备第二距离传感器42（例如，光距离传感器等），前述第二距离传感器42用于检测物品3相对于行进部11的铅垂方向z的位置。即，在本实施方式中，借助第二距离传感器42，被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的位置被检测，作为铅垂方向z的特定物理量。控制装置80基于第二距离传感器42的检测信息，判断物品3的铅垂方向z的振动的有无。

图7是物品3的路径宽度方向x的振动的说明图。在本实施方式中，第一支承部4借助带10被悬挂支承于第二支承部5。因此，若作为简单化后的模型来考虑，如图7所示，以与从带10的作为悬挂点（支点）发挥功能的部分至带10的末端部（与第一支承部4的连结部分）的长度（以下仅称作“带长度”。）对应的振幅，被支承于第一支承部4的物品3能够相对于第二支承部5（相对于行进部11）在路径宽度方向x上振动。在本实施方式中，物品3是收纳半导体基板等的基板的容器，所以在物品3相对于第二支承部5在路径宽度方向x上振动的情况下，由于物品3倾斜等，基板可能相对于容器移动，根据振动的程度，基板可能会有损伤。另外，使行进部11行进时，第一支承部4位于行进路径内，所以行进部11的行进中的带长度较短，物品3上能够发生的路径宽度方向x的振动的振幅是与带长度对应的比较小的振幅的振动，但在图7中，夸张地表示了带长度、带10的伸缩、及振动导致的物品3的倾斜。

为了将如上所述的物品3的路径宽度方向x的振动降低，控制装置80执行第一制振控制。在本实施方式中，第一制振控制是如下控制，在被支承于第一支承部4的物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的位移降低的方向上，使第二支承部5相对于行进部11移动。另外，“物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的位移”是如下位移，物品3未振动的状态下相对于路径宽度方向x的位置的、物品3的路径宽度方向x的位移。物品3未振动的状态下的物品3的路径宽度方向x的位置对应于第二支承部5的路径宽度方向x的位置来变化。如图7所示，被支承于第一支承部4的物品3在相对于第二支承部5向路径宽度方向x的一侧（图中右侧）位移的情况下，通过第一制振控制的执行，第二支承部5被相对于行进部11向路径宽度方向x的相同侧（图中右侧）移动。由此，如图8所示，能够降低物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的振动。另外，在图8中，表示如下状况，第二支承部5相对于行进部11在路径宽度方向x上移动，至物品3相对于第二支承部5的位移为零的路径宽度方向x的位置。虽省略图示，但被支承于第一支承部4的物品3在相对于第二支承部5向路径宽度方向x的另一侧（图7的左侧）位移的情况下，通过第一制振控制的执行，第二支承部5相对于行进部11被向路径宽度方向x的相同侧（图7的左侧）移动。通过第一制振控制的执行，第二支承部5从上述基准位置在路径宽度方向x上移动，但至少在行进部11开始行进的时刻，第二支承部5位于上述基准位置。

图9是物品3的铅垂方向z的振动的说明图。在本实施方式中，第一支承部4借助带10被悬挂支承于第二支承部5。并且，带10具有柔软性，所以被支承于第一支承部4的物品3能够相对于第二支承部5（相对于行进部11）在铅垂方向z上振动。伴随着被支承于第一支承部4的物品3的铅垂方向z的振动，带10的张力也变化。以下，将物品3未振动的状态下的带10的张力称作“基准张力”。带10的张力呈上述基准张力的物品3的高度对应带长度发生变化。被支承于第一支承部4的物品3向比带10的张力呈上述基准张力的高度靠上侧位移的情况下，带10的张力变得比上述基准张力小。此外，被支承于第一支承部4的物品3向比带10的张力呈上述基准张力的高度靠下侧位移的情况下，带10的张力变得比上述基准张力大。并且，与物品3相对于第二支承部5在路径宽度方向x上振动的情况相同，物品3相对于第二支承部5在铅垂方向z上振动的情况下，有基板相对于容器移动的可能，也有根据振动的程度基板发生损伤的可能。例如，带10的张力急剧增大的情况下基板承受来自容器的冲击，由此，基板有损伤的可能。另外，如上所述，行进部11的行进中的带长度较短，但在图9中，夸张地表示带长度、带10的挠曲、物品3的铅垂方向z的位移量。

为了降低如上所述的物品3的铅垂方向z的振动，控制装置80执行第二制振控制。在本实施方式中，第二制振控制为如下控制，使卷绕体22向作用于带10的张力的变化量降低的旋转方向旋转。如图9所示，被支承于第一支承部4的物品3向比带10的张力呈上述基准张力的高度靠上侧位移的情况下，作用于带10的张力变小。该情况下，通过第二制振控制的执行，卷绕体22向将带10的张力的低下量降低的旋转方向，即向将带10卷绕至卷绕体22的旋转方向旋转。由此，如图10所示，能够使带长度变短，将带10的张力维持为基准张力或与其接近的张力，能够降低物品3相对于第二支承部5（相对于行进部11）的铅垂方向z的振动。省略图示，但被支承于第一支承部4的物品3向比带10的张力呈上述基准张力的高度靠下侧位移的情况下，带10作用的张力变大。该情况下，通过第二制振控制的执行，卷绕体22向降低带10的张力的增加量的旋转方向，即向将带10从卷绕体22放出的旋转方向旋转。由此，能够将带长度变长，将带10的张力维持为基准张力或与其接近的张力，能够降低物品3相对于第二支承部5的铅垂方向z的振动。通过第二制振控制的执行，第一支承部4从上述基准高度向上侧或下侧移动，但至少在行进部11开始行进的时刻，第一支承部4位于上述基准高度。

图11是行进部11在行进中且第一支承部4支承有物品3的状态下借助控制装置80执行的控制流程的一例。如图11所示，若检查出物品3的振动（步骤＃01：yes），则控制装置80执行制振控制（步骤＃02）。另外，步骤＃01的判断在不执行制振控制（步骤＃02）的期间，在被预先确定的控制周期中被重复执行。

在本实施方式中，控制装置80基于检测装置40的检测信息判断物品3的振动的有无。具体地，控制装置80基于第一距离传感器41的检测信息判断物品3的路径宽度方向x的振动的有无，基于第二距离传感器42的检测信息判断物品3的铅垂方向z的振动的有无。控制装置80将例如物品3相对于第二支承部5（或相对于行进部11，下同）的路径宽度方向x的位置或位移量、物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的移动速度、物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的加速度等作为判断对象值，在该判断对象值超过被预先确定的阈值的情况下，判断成检查出物品3的路径宽度方向x的振动。此外，控制装置80将例如物品3相对于第二支承部5（或相对于行进部11，下同）的铅垂方向z的位置或位移量、物品3相对于第二支承部5的铅垂方向z的移动速度、物品3相对于第二支承部5的铅垂方向z的加速度等作为判断对象值，在该判断对象值超过被预先确定的阈值的情况下，判断成检查出物品3的铅垂方向z的振动。

控制装置80在检测出物品3的振动的期间（步骤＃03：yes），重复执行制振控制（步骤＃02）。步骤＃03的判断在被预先确定的控制周期中被重复执行。并且，若物品3的振动未被检查出（步骤＃03：no），则执行位置复原控制（步骤＃04），处理返回至步骤＃01。控制装置80例如在上述的判断对象值为被预先确定的阈值以下的情况下，判断成物品3的振动未被检查出。如上所述，通过第一制振控制的执行，第二支承部5从上述基准位置在路径宽度方向x上移动，通过第二制振控制的执行，第一支承部4从上述基准高度向上侧或下侧移动。步骤＃04的位置复原控制在执行第一制振控制的情况下，是将第二支承部5的路径宽度方向x的位置返回至上述基准位置的控制，在执行第二制振控制的情况下，是将第一支承部4的高度返回至上述基准高度的控制。该位置复原控制的第一支承部4或第二支承部5的移动速度设定成，物品3实际上不发生振动的程度的较慢的速度。另外，在图11中，作为例子表示了在未检查出振动的时刻每次都执行位置复原控制的情况，但也可以构成为在其他时刻执行位置复原控制。例如，也可以构成为，仅在第一支承部4相对于第二支承部5的铅垂方向z的位置从被预先确定的范围偏离的情况、第二支承部5相对于行进部11的路径宽度方向x的位置从被预先确定的范围偏离的情况执行位置复原控制。此外，例如，也可以构成为，在行进部11停止的时刻，执行位置复原控制。

在本实施方式中，控制装置80在检查出物品3的路径宽度方向x的振动的情况下，执行第一制振控制，在检查出物品3的铅垂方向z的振动的情况下，执行第二制振控制。由此，在步骤＃01的判断中，在检查出路径宽度方向x及铅垂方向z二者的物品3的振动的情况下，在步骤＃02的制振控制中，执行第一制振控制及第二制振控制二者。并且，在步骤＃03的判断中，在仅路径宽度方向x及铅垂方向z的一方的物品3的振动未被检查出的情况下，也继续执行用于降低另一方的振动的第一制振控制或第二制振控制，在路径宽度方向x及铅垂方向z二者的物品3的振动未被检查出的情况下结束制振控制。之后，在图11所示的例中，处理转移至位置复原控制（步骤＃04）。

此外，在步骤＃01的判断中，在仅路径宽度方向x及铅垂方向z的一方的物品3的振动被检查出的情况下，在步骤＃02的制振控制中，执行用于降低该一方的振动的第一制振控制或第二制振控制。并且，在另一方的振动未被检查出而该一方的振动未被检查出的情况下，在不执行用于将另一方的振动降低的制振控制的情况下结束制振控制。之后，图11所示的例中，处理转移至位置复原控制（步骤＃04）。与此相对，至该一方的振动未被检查为止检查出另一方的振动的情况下，呈第一制振控制及第二制振控制二者被执行的状态。另外，也可以构成为，在执行第一制振控制及第二制振控制的一方的制振控制的期间，禁止另一方的制振控制的执行。

最后，参照图6，对用于执行如上所述的第一制振控制及第二制振控制的涉及本实施方式的控制系统的结构进行说明。如以下说明，在本实施方式中，控制装置80在第一制振控制中，基于被检测装置40（第一距离传感器41）检测的特定物理量，取得被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的相对加速度，以与取得的相对加速度对应的加速度，使第二支承部5相对于行进部11移动。此外，在本实施方式中，控制装置80在第二制振控制中，基于被检测装置40（第二距离传感器42）检测的特定物理量，取得被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的相对加速度即铅垂加速度，以与取得的铅垂加速度对应的旋转加速度，使卷绕体22的旋转速度变化。另外，除了检测装置40是第一距离传感器41或第二距离传感器42、驱动装置26是滑动用马达25或升降用马达21以外，第一制振控制的控制系统和第二制振控制的控制系统构成为基本相同，所以在图6中，表示成不将第一制振控制和第二制振控制进行区別。

如图6所示，控制装置80具有控制系统，前述控制系统在具备减法器54及位置控制器55的位置反馈控制系统中，追加具备检测装置40（距离传感器）、二阶微分器50、过滤器51、第一放大部52、及第二放大部53的制振转矩生成系统。这里，减法器54输出位置指令和驱动装置26（马达）的检测位置的差（位置偏差），位置控制器55输出该位置偏差为零的基本转矩。第一制振控制的情况下，基本转矩相当于用于将第二支承部5维持于当前的位置（至少行进部11的行进开始时的上述基准位置）的转矩，第二制振控制的情况下，基本转矩相当于用于将第一支承部4维持于当前的高度（至少行进部11的行进开始时的上述基准高度）的转矩。并且，由制振转矩生成系统生成的制振转矩（后述）借助加法器56通过加法得到基本转矩，由此生成被输出至驱动装置26（马达）的转矩指令。另外，也可以构成为，位置控制器55也取得驱动装置26（马达）的检测速度的信息，除了位置控制还执行速度控制。

第一制振控制的情况下，上述制振转矩是如下转矩，用于使第二支承部5相对于行进部11，向被支承于第一支承部4的物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的位移减少的方向移动。此外，第二制振控制的情况下，上述制振转矩是如下转矩，用于使卷绕体22在向作用于带10的张力的变化量减少的旋转方向旋转。这样的制振转矩被如以下那样地生成。二阶微分器50将被检测装置40（距离传感器）检测的位移二阶微分，由此输出加速度。第一制振控制的情况下，该加速度是物品3相对于行进部1的路径宽度方向x的加速度，第二制振控制的情况下，该加速度是物品3相对于行进部11的铅垂方向z的加速度。过滤器51对被从二阶微分器50输出的加速度进行低通过滤处理，第一放大部52通过对过滤处理后的加速度乘以放大量（gain）来生成制振转矩。并且，第二放大部53通过对该制振转矩乘以放大量来生成换算成马达轴的制振转矩，向加法器56输出。另外，通过低通过滤处理，能够除去观察噪音、能够除去在制振控制中难以对应的高频的振动成分。此外，第一制振控制的情况下，通过低通过滤处理，能够将与带长度对应的钟摆状的振动（固有振动）以外的振动成分除去。

向上述那样由制振转矩生成系统生成的制振转矩是与物品3的加速度的大小成比例的大小的转矩。并且，适当地设定由第一放大部52进行乘法运算的放大量的大小、符号，由此在第一制振控制中，能够以与被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的相对加速度对应的加速度（例如，与该相对加速度相同的大小的加速度），并且，向该物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的位移减少的方向，使第二支承部5相对于行进部11移动。同样地，适当地设定由第一放大部52进行乘法运算的放大量的大小、符号，由此，在第二制振控制中，能够以被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的相对加速度即与铅垂加速度对应的旋转加速度，并且，向作用于带10的张力的变化量减少的旋转方向，使卷绕体22的旋转速度变化。该旋转加速度例如是带长的变化量变为与第一支承部4的铅垂方向z的位移量相等的旋转加速度。

〔其他实施方式〕

对物品输送装置的其他实施方式进行说明。另外，以下各个实施方式中公开的方案只要不产生矛盾，就能够与其他实施方式所公开的方案组合来应用。

（1）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，第一制振控制是如下控制，使第二支承部5相对于行进部11，朝向被支承于第一支承部4的物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的位移减少的方向移动，第二制振控制是如下控制，使卷绕体22向作用于带10的张力的变化量降低的旋转方向旋转。但是，不限于这样的方案，也可以作为第一制振控制执行与上述实施方式不同的制振控制的方案、作为第二制振控制执行与上述实施方式不同的制振控制的方案。例如，可以构成为，作为第一制振控制进行如下控制，使第二支承部5相对于行进部11，向在被支承于第一支承部4的物品3相对于第二支承部5的路径宽度方向x的速度的大小降低的方向移动。

（2）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，检测装置40具备第一距离传感器41作为检测路径宽度方向x的特定物理量的传感器，前述第一距离传感器41检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的位置，并且检测装置40具备第二距离传感器42作为检测铅垂方向z的特定物理量的传感器，前述备第二距离传感器42检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的位置。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，检测装置40具备检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的速度的传感器或、检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的路径宽度方向x的加速度的传感器，作为检测路径宽度方向x的特定物理量的传感器。同样地，也可以构成为，检测装置40具备检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的速度的传感器、或检测被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的铅垂方向z的加速度的传感器，作为检测铅垂方向z的特定物理量的传感器。另外，物品3基本上伴随行进部11的行进与第一支承部4一体地移动，所以检测装置40可以构成为，间接地检测表示被支承于第一支承部4的物品3相对于行进部11的运动的物理量（特定物理量），具体地，可以构成为，检测表示支承有物品3的第一支承部4相对于行进部11的运动的物理量，将被检测的该物理量视为特定物理量。

（3）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，控制装置80执行第一制振控制和第二制振控制二者作为制振控制。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，控制装置80仅执行第一制振控制及第二制振控制中的某一个制振控制。

（4）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，如图4所示，滑动机构18能够使第二支承部5相对于行进部11在路径宽度方向x上移动，直至被支承于第一支承部4的物品3的整体在路径宽度方向x上被配置于行进路径的外侧。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，基于滑动机构18的第二支承部5相对于行进部11的路径宽度方向x的移动可能范围为，被支承于第一支承部4的物品3的至少一部分在路径宽度方向x上被配置于行进路径内的范围，或该移动可能范围为，被支承于第一支承部4的物品3的整体在路径宽度方向x上被配置于行进路径内的范围。

（5）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，驱动装置26能够使第一支承部4相对于行进部11在路径宽度方向x及铅垂方向z的每一个上分别移动。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，驱动装置26使第一支承部4相对于行进部11，仅在路径宽度方向x及铅垂方向z中的某一个方向上移动。

（6）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，主体部12被悬挂支承于行进部11。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，主体部12以位于行进部11的上侧的方式被支承于行进部11。

（7）在上述的实施方式中，将如下方案作为例子进行了说明，物品3是收纳半导体基板等基板的容器。但是，不限于这样的方案，也可以构成为，例如，物品3是收纳工业制品、食品、医药品等基板以外的物品的容器。此外，物品3也可以是容器以外的物品。

（8）关于其他方案，也应理解为，本说明书中公开的实施方式在所有的方面都只不过是例示。因此，本领域技术人员能够在不脱离本申请的主旨的范围内，适当地进行多种改变。

〔上述实施方式的概要〕

以下，对上述说明中说明的物品输送装置的概要进行说明。

一种物品输送装置，前述物品输送装置具备行进部、第一支承部、驱动部、控制部，前述行进部沿行进路径行进，前述第一支承部支承物品，前述驱动部在相对于沿前述行进路径的方向正交的多个正交方向中的至少某个方向上，使前述第一支承部相对于前述行进部移动，前述控制部控制前述驱动部的工作，

前述物品输送装置还具备检测部，前述检测部检测物理量，前述物理量表示基于前述驱动部的前述第一支承部相对于前述行进部的移动方向的、被支承于前述第一支承部的物品相对于前述行进部的运动，前述控制部构成为执行移载控制和制振控制，前述移载控制是如下控制，在前述行进部的停止中控制前述驱动部的工作，使前述第一支承部相对于前述行进部在第一位置与第二位置之间移动，前述第一位置在前述行进路径内，在前述第二位置，在作为物品的输送源或输送目的地的输送对象部和前述第一支承部之间交接物品，前述制振控制是如下控制，在前述行进部的行进中且前述第一支承部支承有物品的状态下，基于被前述检测部检测的前述物理量控制前述驱动部的工作，降低被支承于前述第一支承部的物品随着前述行进部的行进的振动。

根据上述的方案，通过被控制部执行的制振控制，能够降低被支承于第一支承部的物品的、伴随行进部的行进的振动（由行进部的行进引起的振动）。并且，这样的伴随行进部的行进的振动的降低，是通过控制为了在物品输送装置和输送对象部之间移载物品而装备于物品输送装置的驱动部的工作来实现的。即，在不设置专门用于制振控制的装置的情况下，能够有效地利用已有的驱动部或其控制部来对物品输送装置进行制振控制。另外，在进行制振控制的行进部的行进中，用于物品的移载的驱动部不工作，即，制振控制的执行期间与移载控制的执行期间不重叠，所以不会有通过构成为进行制振控制而被控制部所要求的性能（处理能力等）过度地增加的情况。

像以上这样，根据上述的方案，能够实现一种物品输送装置，前述物品输送装置能够将由行进部的行进引起的物品的振动，用比较简单的结构来降低。

这里，优选的是，构成为，还具备第二支承部，前述第二支承部被支承于前述行进部，且将前述第一支承部悬挂支承，前述驱动部构成为，使前述第二支承部相对于前述行进部在前述行进路径的宽度方向即路径宽度方向上移动，由此，将前述路径宽度方向作为前述多个正交方向中的某个方向，使前述第一支承部相对于前述行进部在前述路径宽度方向上移动，前述控制部在前述制振控制中，使前述第二支承部相对于前述行进部，朝向被支承于前述第一支承部的物品相对于前述第二支承部的前述路径宽度方向的位移减少的方向移动。

根据该方案，在制振控制中，第二支承部相对于行进部，向被支承于第一支承部的物品相对于第二支承部的路径宽度方向的位移减少的方向移动。由此，第一支承部被悬挂支承于第二支承部，所以被支承于第一支承部的物品能够相对于第二支承部以钟摆状在路径宽度方向上振动，但物品相对于第二支承部的路径宽度方向的位移通过制振控制被减少，由此能够将该振动的偏转角（振れ角）或振幅抑制为较低。结果，能够使物品相对于第二支承部的路径宽度方向的振动适当地降低。

此外，优选的是，构成为，前述控制部在前述制振控制中，基于被前述检测部检测的前述物理量，取得被支承于前述第一支承部的物品相对于前述行进部的前述路径宽度方向的相对加速度，以与取得的前述相对加速度对应的加速度，使前述第二支承部相对于前述行进部移动。

根据该方案，在制振控制的执行中，能够使第二支承部相对于行进部的各时刻的路径宽度方向的移动量，与被支承于第一支承部的物品相对于行进部的路径宽度方向的加速度的各时刻的大小对应，设定用于有效地使振动降低的合适的量。

此外，优选的是，构成为，还具备第二支承部，前述第二支承部被支承于前述行进部，且将前述第一支承部悬挂支承，前述第二支承部具备卷绕部，前述卷绕部将连接于前述第一支承部的带状体卷绕，前述驱动部构成为，使前述卷绕部旋转，将前述带状体卷绕或放出，由此将铅垂方向作为前述多个正交方向中的某个方向，使前述第一支承部相对于前述行进部在铅垂方向上移动，前述控制部在前述制振控制中，使前述卷绕部向作用于前述带状体的张力的变化量减少的旋转方向旋转。

根据该方案，在制振控制中，卷绕部向作用于带状体的张力的变化量减少的旋转方向旋转。由此，第一支承部经由带状体被悬挂支承于第二支承部，所以由于带状体具有的柔软性，被支承于第一支承部的物品能够相对于第二支承部或行进部在铅垂方向位移，但作用于带状体的张力的变化量通过制振控制被降低，由此能够将作用于带状体的张力维持在既定范围内。由此，能够避免，作用于带状体的张力急剧增大而对物品作用冲击性的力的现象那样的、由作用于带状体的张力较大地变化引起的能够发生的问题。

此外，优选的是，构成为，前述控制部在前述制振控制中，基于被前述检测部检测的前述物理量，取得被支承于前述第一支承部的物品相对于前述行进部的铅垂方向的相对加速度即铅垂加速度，以与取得的前述铅垂加速度对应的旋转加速度，使前述卷绕部的旋转速度变化。

根据该方案，在制振控制的执行中，能够使卷绕部的各时刻的旋转速度与被支承于第一支承部的物品的铅垂加速度的各时刻的大小对应，设定成用于将作用于带状体的张力的变化量有效地降低的合适的旋转速度。

附图标记说明

2：物品输送装置

3：物品

4：第一支承部

5：第二支承部

10：带（带状体）

11：行进部

22：卷绕体（卷绕部）

26：驱动装置（驱动部）

40：检测装置（检测部）

80：控制装置（控制部）

91：输送对象部

x：路径宽度方向（正交方向）

z：铅垂方向（正交方向）。