基板输送装置和基板输送方法
【技术领域】
[0001]本发明的实施方式涉及基板输送装置和基板输送方法。
【背景技术】
[0002]作为基板输送装置，公知有这样的装置:该装置在沿着与基板的输送方向垂直的方向延伸的轴上设置多个输送辊，使基板的下表面抵接到该输送辊上来输送该基板。而且，该基板输送装置构成为:除了输送辊之外，沿着所输送的基板的输送方向还设置有多个引导辊，利用该引导辊来引导基板的侧面，由此，对被输送辊输送的基板进行定位，能够不蜿蜒前行地输送基板。
[0003]专利文献1:日本特开2010-42902号公报
[0004]上述基板输送装置被用于各种基板的输送，但是，例如在液晶面板制造装置的领域，近年来，作为输送对象的基板不断变薄。以往，一般情况下，一边输送例如1_左右的厚度的基板一边进行处理。但是，近年来，处理0.01mm?0.3mm左右的厚度的基板的情况增多。如果基板变薄，则相应地，引导辊表面上的与基板的侧面接触的表面积(接触的区域)变小。因此，基板集中地与引导辊的表面上的小表面积持续接触。引导辊表面的与基板集中接触的部分随着时间的经过(即，如果所要引导的基板的个数增加)而慢慢磨损，成为以基板的厚度为高度的凹形状。在引导辊上形成有凹形状的槽(凹部)的部分处，在基板的侧面与引导辊之间空出比最初规定的间隙大的间隙。如果成为这样的状态，则存在下述情况:基板蜿蜒前行，无法顺利地进行输送，或者由此导致基板的角部与引导辊碰撞等，在基板上产生裂纹或缺口。因此，在引导辊像这样磨损的情况下，必须将引导辊更换为新品。特别地，如果基板的厚度变薄，则基板的侧面像刀刃一样作用于引导辊上，引导辊急剧磨损，因此，需要在短期间内频繁地更换引导辊。
【发明内容】
[0005]本发明要解决的课题是提供一种可延长引导辊的寿命、并且不蜿蜒前行地输送基板的基板输送装置和基板输送方法。
[0006]实施方式的基板输送装置输送基板，其特征在于，该基板输送装置具有:多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，所述引导辊调整部具有:将所述引导辊保持成能够旋转的部件；和Z轴调整机构，其调整所述部件的相对于所述基板的厚度方向的高度位置。
[0007]实施方式的基板输送方法是输送基板的方法，其特征在于，使多个输送辊与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送，利用引导辊以夹住所述基板的侧面的方式引导所述基板，该引导辊沿着向所述输送方向输送的所述基板的所述输送方向设置有多个，并且，在所述引导辊磨损时，在所述基板的厚度方向上调整所述引导辊的位置后继续使用。
[0008]根据本发明，能够延长引导辊的寿命，并且能够不蜿蜒前行地输送基板。
【附图说明】
[0009]图1是示出第1实施方式的基板输送装置的概要结构的主视图。
[0010]图2是第1实施方式的基板输送装置的概要俯视图。
[0011]图3示出了第1实施方式的引导辊调整部的侧面，是沿图4中的A-A的剖视图。
[0012]图4是示出第1实施方式的引导辊调整部的俯视面的图。
[0013]图5是示出第2实施方式的引导辊调整部的侧面的图。
[0014]图6是示出第2实施方式的引导辊调整部的侧面的图。
[0015]标号说明
[0016]1:轴；2:输送辊；3:轴承；400:Z轴调整机构；4:引导辊；5:轴；40、400:引导辊调整部；41:固定部件；42:第2可动部件(第2部件)；43:拉紧螺栓；44A、B:紧固螺栓；45:第1可动部件(第1部件)；45A:滑动孔；46A、B:调整螺栓；G:刻度板;W:基板；
【具体实施方式】
[0017](第1实施方式)
[0018]参照图1?图4对第1实施方式进行说明。
[0019]如图1、图2所示，第1实施方式的基板输送装置100具有:轴1，其被设置成沿着与基板W的输送方向(在图1中与纸面垂直的方向)垂直的方向(以下，也称为“基板W的宽度方向”。)延伸；输送辊2，其在该轴1上以一定的间隔设置有多个，并且设置为与基板W的下表面抵接；以及轴承3，其保持轴1。而且，多个引导辊4以在基板W的宽度方向上夹着基板W的方式，沿着基板W的输送方向以一定的间隔经由轴5 (参照图2)进行设置。该引导辊4由橡胶等弹性体或树脂等构成，并且形成为具有基板W的厚度的2倍以上的高度的圆柱状，如使用图3、图4进行说明的那样，各引导辊4构成为能够通过对应于每个引导辊4设置的引导辊调整部40来调整基板的厚度方向上的高度位置和基板W的宽度方向上的水平位置。另外，在图3中，设基板W的宽度方向为X方向，设基板W的输送方向为Y方向(与X方向垂直的方向)，设与X方向和Y方向都垂直的方向(与基板W的表面垂直的方向)为Z方向。
[0020]如图3、图4所示，引导辊调整部40具有X轴调整机构200和Z轴调整机构300。X轴调整机构200对引导辊4在基板W的宽度方向(X方向)上的水平位置进行调整。Z轴调整机构300对引导辊4在基板W的厚度方向(Z方向)上的高度位置进行调整。
[0021]X轴调整机构200构成为具有被固定支承于基板输送装置100的架台(未图示)上的固定部件41、第1可动部件45 (第1部件)、第2可动部件42 (第2部件)以及调整螺栓46A、46B。第1可动部件45是被固定部件41沿水平方向支承的板状部件，如图4所示，第1可动部件45沿X方向具有滑动孔45A，经由滑动孔45A将调整螺栓46A、46B螺入第2可动部件42的一端部侧，由此第1可动部件45与第2可动部件42成为一体。而且，轴5能够旋转地支承于第1可动部件45上的基板W侧的端部，引导辊4被保持于该轴5上。轴5沿Z方向设置。另外，如图4所示，在第2可动部件42上，沿X方向切出有滑动槽D，该滑动槽D具有与第1可动部件45的宽度同等的宽度。由此，通过第1可动部件45在该滑动槽D内滑动，第1可动部件45能够在沿着滑动孔45A的方向、即基板的宽度方向上移动。
[0022]Z轴调整机构300构成为具有固定部件41、第2可动部件42、拉紧螺栓43、设于该拉紧螺栓43的两侧的紧固螺栓44A、44B、以及引导件S1、S2。第2可动部件42是被固定部件41沿水平方向支承的板状部件。拉紧螺栓43穿过设于第2可动部件42的另一端部侧的贯通孔42a而被螺入固定部件41中。紧固螺栓44A与44B构成为分别螺入第2可动部件
42中，并且，螺栓末端与固定部件41的上表面抵接。而且，在第2可动部件42的另一端部的侧面上设有切口 K1、切口 K2。在固定部件41上固定有棒状的引导部件S1、引导部件S2，引导部件S1被设置为与切口 K1抵接，引导部件S2被设置为与切口 K2抵接。另外，在本实施方式中，在图4所示的俯视图中的基板的宽度方向(图4中的左右方向)上，切口 K1 (引导件S1)设于拉紧螺栓43与紧固螺栓44A之间，切口 K2(引导件S2)设于拉紧螺栓43与紧固螺栓44Β之间。在通过后述的调整使第2可动部