件42相对于固定部件41上升或下降时，第2可动部件42沿引导件S1、引导件S2上下运动，因此，能够防止第2可动部件42及引导辊4以拉紧螺栓43为中心回旋或晃动。而且，可以具有一端固定于第2可动部件42上的刻度板G。
[0023]接下来，对基板输送装置100的动作进行说明。
[0024]首先，在准备阶段，在将基板W搬入基板输送装置100时，基板W被载置于输送辊2上。此时，与基板W的宽度方向两端分别对置地配置的多个引导辊4相对于规定的位置(引导基板W的侧面的位置)被定位在远离基板的侧面的方向上，即以成为比基板W的宽度方向的长度大的间隔的方式进行定位。有关该调整，在后面进行叙述。
[0025]接下来，使引导辊4以沿着从基板W的宽度方向两端侧朝向基板W中央侧的方向将基板W夹入的方式相对于基板W的宽度方向两端的侧面移动。而且，调整并移动引导辊4，以使基板W的侧面在Ζ方向上也抵接于引导辊4的比Ζ方向长度的一半(高度方向中央)靠上侧的位置，准备阶段结束。另外，在后面对这些调整进行叙述。
[0026]在引导辊4的位置调整结束后，使输送辊2旋转，基板W被从前一个工序的装置搬入，该基板W被输送辊2向输送方向输送，并且被引导辊4以不蜿蜒前行的方式引导。在输送装置100的上方设有未图示的处理工具(例如供给处理液的喷嘴或供给干燥空气的气刀等)，一边利用基板输送装置100输送基板W —边依次进行处理。
[0027]如上所述，多个引导辊4被设置为能够分别通过引导辊调整部40调整位置，并且通过X轴调整机构200、Ζ轴调整机构300如接下来那样调整位置。
[0028]首先，对基于X轴调整机构200的位置调整进行说明。如图3、图4所示，使螺入第2可动部件42中的调整螺栓46Α、46Β松弛，由此，安装有保持引导辊4的轴5的第1可动部件45在滑动槽D内被引导，同时，滑动孔45Α能够在延伸的X方向上运动。当在该状态下将引导辊4调整至与基板W的侧面抵接的位置后，将调整螺栓46Α、46Β紧固而固定，进行X方向上的位置调整(引导辊4的表面与基板W之间的距离的调整)。
[0029]接下来，对基于Ζ轴调整机构300的位置调整进行说明。如图3、图4所示，引导辊调整部40的第1可动部件45被安装并固定于第2可动部件42上。S卩，通过调整第2可动部件42的Ζ方向高度，来进行第1可动部件45、即引导辊4的Ζ方向的调整。
[0030]在拉紧螺栓43上的长度方向的下半部分设有螺纹，该拉紧螺栓43被固定于固定部件41上，但是相对于第2可动部件42是自由的。在2个紧固螺栓44A、44B上的长度方向的上半部分设有螺纹。另外，紧固螺栓44A、44B的末端与固定部件41的上表面抵接。
[0031]在图3的状态下，如果被引导辊4引导的基板W的个数增加，则引导辊4会产生磨损。因此，在本实施方式中，假设为这样的情况:从开始输送基板W起，每经过规定的时间使保持引导辊4的第2可动部件42沿Z方向向上方上升5毫米。
[0032]首先，使拉紧螺栓43松弛，并目测使其向上方向上升大致2厘米。接下来，对紧固螺栓44A、44B均等地进行紧固。通过对紧固螺栓44A、44B进行紧固，第2可动部件42向远离固定部件41的方向移动。S卩，第2可动部件42沿着引导件Sl、S2向Z方向上升。参照刻度板G，使第2可动部件42的Z方向位置上升，当上升至作为目标的5毫米的上升地点时，本次将拉紧螺栓43紧固到固定部件41中。这种情况下，如果将拉紧螺栓43紧固大约
1.5厘米的量，则第2可动部件42被固定于固定部件41中。通过像这样使第2可动部件42上升，由此，固定于第2可动部件42上的第1可动部件45、和保持于第1可动部件45上的引导辊4也随着上升。在希望引导辊4下降的情况下，只要如下述这样既可:首先，在使拉紧螺栓43松弛后使紧固螺栓44A、44B松弛，在使第2可动部件42下降之后，将拉紧螺栓
43紧固并固定。
[0033]另外，在图3、图4中，示出了一个引导辊4的引导辊调整部40，但是该引导辊调整部40在Y方向上也配置有多个，而且，对于夹着基板W对置地配置的引导辊4也配置有引导辊调整部40。S卩，对每个引导辊设置引导辊调整部40。
[0034]如以上说明的那样，根据具有这样的引导辊调整部40的基板输送装置，即使由于多个基板W与引导辊4的表面抵接而使得引导辊4表面磨损，在引导辊4的表面上出现凹部，并由此使基板W的侧面与引导辊4之间的距离相对于引导辊4被最初定位时发生变化，也能够容易地相对于X方向与Z方向的任意的方向进行引导辊4的位置调整，因此，无需立即将引导辊4更换为新品，能够继续使用，因此，能够延长引导辊的寿命。
[0035]而且，通过经常对引导辊4进行高度调整，即使输送薄的基板，也能够避免基板集中地与引导辊4的表面(与基板接触的面)上的同一区域接触，从而能够防止引导辊4局部磨损，因此，能够延长引导辊的寿命。
[0036]此外，如上所述，引导辊4的Z方向的长度具有基板W的厚度的2倍以上的长度，最初，调整并移动引导辊4，以使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠上侧的区域抵接。然后，可以在引导辊4的表面上不断形成凹部的时刻调整引导辊在Z方向上的位置，以使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠下侧的区域抵接。另外，也可以先使用引导辊4的比Z轴方向长度的一半靠下侧的区域，在发生磨损后再使用比Z轴方向长度的一半靠上侧的区域。无论哪种方式，通过在引导辊4的Z方向长度的恰好一半的部位预先添加标记等，即使使用刻度板G没有准确地进行调整，也能够良好地进行调整。即，只要是在比标记靠上(或者下)的部位，则任何部位都是未形成凹部的状态(区域)，因此，只要调整成使基板W的侧面抵接于该区域，则也可以不对所有的引导辊正确地调整其在所输送的基板W的厚度方向(上下方向)上的位置。但是，在实施方式中，也可以不将引导辊4的与基板W的侧面抵接的区域分成比引导辊4的Z方向长度的一半靠上侧的区域和靠下侧的区域，仅在引导辊4上形成有凹部时，使用Z轴调整机构300在引导辊4的高度方向(Z方向)上改变基板W与引导辊4相接触的接触区域，也能够充分地得到使引导辊的寿命延长这样的作用效果。
[0037]而且，在通过改变引导辊4的高度方向(Z方向)上的位置来改变基板W与引导辊4的接触区域的情况下，如先前所述，只要新的接触区域是未使用的区域即可，因此，不但可以没有正确地调整Z方向上的位置，也能够省去在上述的准备阶段进行的在基板宽度方向(X方向)上的位置调整。关于这一点，与下述情况相比在提高作业性这一方面上非常有利:在引导辊4上形成凹部时，使引导辊4沿X方向移动来对与基板的侧面的抵接状态再次进行调整。
[0038]但是，这种情况下，需要使引导辊的与基板的侧面接触的、高度方向(Z方向)上的至少多个区域的部分相对于轴5的旋转中心具有相同的直径。例如，可以使引导辊整体形成为圆柱状，也可以只使与基板的侧面接触的区域形成为圆柱状，而使其他的部分形成为圆锥形等。
[0039](第2实施方式)
[0040]参照图5、图6对第2实施方式进行说明。
[0041]第2实施方式与第1实施方式基本相同。因此，在第2实施方式中，对与第1实施方式的不同之处