进行说明，对于与在第1实施方式中说明的部分相同的部分，以相同的标号来表示，并省略其说明。
[0042]如图5所示，第2实施方式的基板输送装置具备引导辊调整部400。引导辊调整部400的X轴调整机构与第1实施方式的X轴调整机构200相同。Z轴调整机构与第1实施方式不同，其在固定部件41与第2可动部件42之间具备调整部件(隔离部件)400A。预先准备多个厚度为多级的尺寸的调整部件400A，通过更换调整部件400A来调整第2可动部件42的位置，从而能够调整引导辊4的Z方向上的位置。即，调整部件相对于所述拉紧螺栓的长度方向的长度是不同的。
[0043]以下，使用图5、图6对引导辊调整部400的Z轴调整机构的调整方法进行说明。
[0044]首先，在希望第2可动部件42上升的情况下，将拉紧螺栓43松弛，将调整部件400A与第2可动部件42从固定部件41卸下。使Z方向的长度比卸下的调整部件400A长的另一个调整部件400B(参照图6)介于固定部件41与第2可动部件42之间，并使用拉紧螺栓43将其固定到固定部件41上，完成Z方向的调整。
[0045]在希望第2可动部件42下降的情况下，只要使用拉紧螺栓43来安装Z方向的长度比固定部件400A短的调整部件400C(未图示)即可。
[0046]根据具有这样的引导辊调整部400的基板输送装置，即使由于多个基板W与引导辊4的表面抵接等并在引导辊4的表面上出现凹部而导致基板W与引导辊4之间的距离相对于引导辊4被最初定位时发生变化，也无需立即更换引导辊4，能够继续使用，并且能够容易地进行引导辊4的位置调整。由此，能够延长引导辊的寿命。
[0047]此外，由于的通过更换调整部件来进行引导辊4的Z方向上的位置调整，因此，即使没有刻度板等其它的部件也能够进行调整。
[0048](其它例子)
[0049]而且，在上述的第1实施方式中，使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠下侧(或者上侧)的区域抵接，接下来，使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠上侧(或者下侧)的区域抵接，但是不限于此，也可以在使用引导辊4的Z方向长度的例如下半部分(或者上半部分)的区域进行一定时间的基板引导后，使引导辊4自身上下反转，使用反转后的引导辊4的Z方向长度的下半部分(或者上半部分)的区域，由此来进行Z轴调整。这种情况下，虽然需要使引导辊4反转的作业，但是引导辊4在Z方向上的移动调整范围只要为Z方向长度的一半即可，引导辊4在Z方向上的移动调整范围变窄，因此能够使Z轴调整机构小型化，并且能够减少调整引导辊4的时间，因此，能够高效地输送基板。此外，即使在这种情况下，即使由于引导辊4的磨损而导致基板W与引导辊4之间的距离相对于引导辊4最初被定位时发生变化，也无需立即更换引导辊4，能够继续使用，从而能够延长引导辊的寿命。
[0050]此外，引导辊调整部40、400具有X轴调整机构与Z轴调整机构的双方，但是只要具有至少一个即可。
[0051]而且，引导辊调整部40、400既可以通过一个调整部40、400来调整多个引导辊，也可以对每个引导辊一个一个地设置调整部。在对每个引导辊一个一个地设置调整部的情况下，即使在引导辊的磨损情况存在差异时，也能够选择性地对想要调整的引导辊进行调整。
[0052]以上，对本发明的几个实施方式进行了说明，但是这些实施方式是作为例子而呈现的，并不用于限定发明的范围。能够在其他的各种方式来实施这些新的实施方式，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含于发明的范围及主旨，并且也包含于权利要求书中记载的发明及其等同的范围内。
【主权项】
1.一种基板输送装置，该基板输送装置输送基板，其特征在于， 该基板输送装置具有: 多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及 引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置， 所述引导辊调整部具有: 将所述引导辊保持成能够旋转的部件；和 Z轴调整机构，其调整所述部件的相对于所述基板的厚度方向的高度位置。2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于， 该基板输送装置具有X轴调整机构，该X轴调整机构调整由所述部件保持的所述引导辊的表面与所述基板之间的距离。3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于， 所述引导辊具有所述基板的厚度的2倍以上的高度。4.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于， 所述X轴调整机构具有: 第1可动部件，其将所述引导辊保持成能够旋转自如，并且沿着与所述输送方向垂直的方向具有滑动孔；和 第2可动部件，其经由所述滑动孔固定该第1可动部件。5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的基板输送装置，其特征在于， 所述Z轴调整机构具备: 拉紧螺栓，其固定所述部件和固定部件；和 一对紧固螺栓，它们以末端抵接在所述固定部件上的状态螺入所述部件，并且被配置成夹着所述拉紧螺栓。6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的基板输送装置，其特征在于， 所述Z轴调整机构具有: 拉紧螺栓，其固定所述部件和固定部件；和 调整部件，其介于所述部件与所述固定部件之间， 对相对于所述拉紧螺栓的长度方向的长度不同的多个所述调整部件进行更换。7.一种基板输送方法，其是输送基板的方法，其特征在于， 使多个输送辊与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送，利用引导辊以夹住所述基板的侧面的方式引导所述基板，该引导辊沿着向所述输送方向输送的所述基板的所述输送方向设置有多个，并且， 在所述引导辊磨损时，在所述基板的厚度方向上调整所述引导辊的位置后继续使用。8.一种基板输送方法，其是利用具有基板的厚度的2倍以上的高度的引导辊对所述基板的侧面进行引导来输送所述基板的方法，其中， 所述引导辊在输送所述基板时，以所述基板的侧面与所述引导辊的比高度方向的中央靠上或者靠下的区域接触的方式进行输送， 在所述引导辊磨损时，使所述引导辊的上下反转，由此变更所述基板的侧面与所述引导辊接触的位置，然后继续使用。
【专利摘要】本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法，其能够延长引导辊的寿命，并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置的特征在于具有：多个输送辊(2)，其与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊(4)，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部(40)，其调整所述引导辊的位置，引导辊调整部(40)具有：第1可动部件(45)，其将引导辊(4)保持成能够旋转；和Z轴调整机构(300)，其调整第1可动部件(45)在基板(W)的厚度方向上的高度位置。
【IPC分类】H01L21/677, B65G39/18, B65G13/00
【公开号】CN105416972
【申请号】CN201510586914
【发明人】标克彦, 矶明典, 高原龙平
【申请人】芝浦机械电子装置股份有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年9月15日