一种卧式方形碳化硅烧结炉的制作方法

文档序号:12251135阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种卧式方形碳化硅烧结炉,包括炉体、真空泵、罗茨泵,所述真空泵和罗茨泵固定在基座上,所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接,所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接,炉体底部设有与之固定的底座,其特征在于:所述炉体顶部设有防爆阀,炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台,内支撑平台上设有方形感应线圈,方形感应线圈的两端延伸至炉体外,方形感应线圈的内部设有保温层,所述保温层内设有方形石墨坩埚。

2.根据权利要求1所述的卧式方形碳化硅烧结炉,其特征在于:所述方形感应线圈的顶部设有与炉体固定的支撑条。

3.根据权利要求1所述的卧式方形碳化硅烧结炉,其特征在于:所述真空泵与罗茨泵之间依次设有电磁真空带压差阀和真空波纹管。

4.根据权利要求1所述的卧式方形碳化硅烧结炉,其特征在于:所述罗茨泵与炉体之间设有过滤罐。

5.根据权利要求4所述的卧式方形碳化硅烧结炉,其特征在于:所述过滤罐的出口依次设有真空蝶阀和进炉波纹管。

6.根据权利要求4所述的卧式方形碳化硅烧结炉,其特征在于:所述过滤罐与罗茨泵之间设有罗茨泵出口波纹管。

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