技术总结
本实用新型公开了一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座，其特征在于：所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。本实用新型用于碳化硅烧结，热温度均匀、加热温度超高、且连续可调。
技术研发人员：黄超斌;成友为
受保护的技术使用者：长沙诺天电子科技有限公司
文档号码：201620963357
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.02.22