本实用新型涉及一种碳化硅烧结炉。
背景技术：
碳材料具有高比强度、高比模量、耐热、耐化学腐蚀、耐摩擦、导电、导热等优异性能。碳化硅陶瓷材料具有高温度强大，高温度抗氧化性强、耐磨损性能好，热稳定性佳，膨胀系数小，热导率大，硬度高，抗热震和耐化学腐蚀等优良特性。在航天航空、军事工业、汽车、机械化工、化境保护、空间技术、信息电子、能源领域有着日益广泛的应用，已经成为一种在很多工业领域性能优异的其他材料不可代替的结构陶瓷。目前，随着工业的发展，市场对碳化硅陶瓷材料的需求越来越大。在碳化硅烧结过程中，影响碳化硅陶瓷烧结因素的有组元、应力、气氛环境、催化、温度，其中温度处理尤其重要。但是现有的高温烧结普遍存在以下几个问题：1、温度不均匀，产品的一致性不高；2、达不到理想温度，不利于产品的烧结；3、安装，调试复杂，故障效率高等。这些问题对碳化硅材料的进一步发展造成了阻碍。
技术实现要素：
本实用新型要解决的问题在于提供一种更为便捷、易控、高效的卧式方形碳化硅烧结炉。
为解决上述问题，本实用新型提供了一种卧式方形碳化硅烧结炉，包括炉体、真空泵、罗茨泵，所述真空泵和罗茨泵固定在基座上，所述真空泵通过真空管道与罗茨泵连接，所述罗茨泵通过罗茨管道与炉体连接，炉体底部设有与之固定的底座。所述炉体顶部设有防爆阀，炉体内设有与炉体固定连接的内支撑平台，内支撑平台上设有方形感应线圈，方形感应线圈的两端延伸至炉体外，方形感应线圈的内部设有保温层，所述保温层内设有方形石墨坩埚。
作为本实用新型的进一步改进，所述方形感应线圈的顶部设有与炉体固定的支撑条，将方形感应线圈进一步与炉体固定。
作为本实用新型的进一步改进，所述真空泵与罗茨泵之间依次设有电磁真空带压差阀和真空波纹管，波纹管能有效缓解真空泵的振动，避免传到炉体端。
作为本实用新型的进一步改进，所述罗茨泵与炉体之间设有过滤罐，将杂质过滤。
作为本实用新型的进一步改进，所述过滤罐的出口依次设有真空蝶阀和进炉波纹管。
作为本实用新型的进一步改进，所述过滤罐与罗茨泵之间设有罗茨泵出口波纹管，缓减罗茨泵的振动，避免振动传给过滤罐。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型加热温度均匀，有利于产品烧结、重结晶。
2、本实用新型加热温度超高，且连续可调，带40段控温曲线，可完成复杂温控要求。
3、本实用新型安装调试简单，易损件寿命大大增强。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参阅图1，本实用新型提供了一种卧式方形碳化硅烧结炉，本实施例包括炉体4、真空泵12、罗茨泵21，所述真空泵12和罗茨泵21固定在基座11上，炉体4底部设有与之固定的底座5。电机16位于真空泵12的顶部，为真空泵12提供动力。所述真空泵12通过真空管道13与罗茨泵21连接，在真空泵12与罗茨泵21之间依次设有电磁真空带压差阀14和真空波纹管15。真空泵12的振动比较大，在其出口设置波纹管能有效缓减振动，避免将振动传给下一级的罗茨泵21。所述罗茨泵21通过罗茨管道23与炉体4连接，在罗茨泵21与炉体4之间设有过滤罐31，过滤罐31通过固定的支架支撑在地面。过滤罐31能有效过滤空气中的杂质，避免杂质进入到炉体内。过滤罐31的出口依次设有真空蝶阀32和进炉波纹管33。过滤罐31与罗茨泵21之间设有罗茨泵出口波纹管22。因为罗茨泵21的振动比较大，在罗茨泵21的进口和出口分别设置波纹管能有效缓减振动，避免将罗茨泵21的振动传给真空泵12或者炉体4。炉体4底部设有与之固定的底座5。
所述炉体4顶部设有防爆阀42，能大幅提高设备的安全性能，防止事故的发生。炉体4内设有与炉体4固定连接的内支撑平台46，内支撑平台46上设有方形感应线圈45，方形感应线圈45的两端延伸至炉体4外，方形感应线圈45的内部设有保温层43，所述保温层43内设有方形石墨坩埚44。保温层43有效防止方形石墨坩埚44的热量散发到外部，引起不必要的能量损失，同时也保护了外部设备受高温影响。所述方形感应线圈45的顶部设有与炉体4固定的支撑41条，用来进一步固定方形感应线圈45。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型加热温度均匀，有利于产品烧结、重结晶。
2、本实用新型加热温度超高，且连续可调，带40段控温曲线，可完成复杂温控要求。
3、本实用新型安装调试简单，易损件寿命大大增强。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。