专利名称：废气处理设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种废气处理设备，尤其涉及一种由至少四个洗涤塔构成的废气处理设备。
背景技术：
一般工业工艺所产生的工艺废气通常包括有毒物质且具有臭味，如果废气未经过妥善处理，则会造成空气污染。为了除去废气中的污染物，必须利用空气污染防治设备处理废气，以使废气中的污染物质浓度低于法规规定的限值。一般业界常用的空气污染防治设备即为洗涤塔废气处理系统，洗涤塔废气处理系统以液体洗涤的方法除去废气中之污染物。图1为现有技术的处理工艺废气的洗涤塔废气处理系统I的示意图。洗涤塔废气处理系统I包含进气装置12、洗涤液供应装置14、沉淀槽16及洗涤塔18等。洗涤液供应装置14又包含循环泵141、管路142及设于洗涤塔18内的喷洒设备(图未显示)。洗涤塔废气处理系统I操作时，首先，将洗涤液以循环泵141经管路142输送至洗涤塔18塔顶，由塔顶进入洗涤塔18中。接着，洗涤液经喷洒设备均匀洒下并回到洗涤塔18塔底，然后再由循环泵141输送至塔顶而成一循环。另一方面，废气自塔底或塔顶导入洗涤塔18中，然后向上或向下流动并与洗涤液接触，使废气中的污染物溶入洗涤液，经净化的气体则由塔顶排出。一般来说，当洗涤液与废气接触面积越大，洗涤塔18的废气洗涤效果会越好，因此洗涤塔18通常需设计成具有大的液面面积和最低的气体压力损失。为了达到上述目的，通常会在洗涤塔18内装填填充材，以增加液气的交换面积，以提高废气的洗涤效率。常用的填充材例如拉希环等。随着科技产业的发展，半导体工艺也不断的更新，因而所产生的废气含有更多更复杂的污染物成份，这些污染物依靠现有技术的洗涤塔废气处理系统已无法妥善处理。
发明内容
本发明的目的在于提供一个由至少四个洗涤塔构成的废气处理设备，以有效处理新工艺所产生的废气。为达到上述目的，本发明提供了一种废气处理设备，用以处理废气，包括沉淀槽及安装在所述沉淀槽上的洗涤装置，该沉淀槽具有至少二池体，用以盛装一洗涤液；该洗涤装置包含进气洗涤塔、出气洗涤塔及至少一洗涤塔组，该洗涤塔组进一步包含第一洗涤塔及第二洗涤塔，该第一洗涤塔及该第二洗涤塔是局部互相连通，该进气洗涤塔及该第一洗涤塔位于该沉淀槽同一池体上方，而该出气洗涤塔及该第二洗涤塔则位于该沉淀槽内另一池体上方，当该沉淀槽盛装该洗涤液时，每一池体内洗涤液的液面与该洗涤装置底部之间形成着一空间；当该废气进入该废气处理设备内处理时,废气将依序经进气洗涤塔、沉淀槽相对应的池体内空间、第一洗涤塔、第二洗涤塔、沉淀槽内另一池体内的空间、出气洗涤塔，最后已净化后的废气再由该出气洗涤塔排出。利用本发明的至少四道洗涤的废气处理设备，可有效处理新工艺所产生的之废气，且对应废气量增加，有效延长洗涤流径，而设备尺寸维持不变。本发明的废气处理设备可使无尘室空间有效运用，且解决现有技术所无法解决的问题。
图1为现有技术的处理工艺废气的洗涤塔废气处理系统的示意图。图2为本发明的废气处理设备的结构示意图。图3为本发明的废气处理设备的沉淀槽的结构示意图。图4为本发明的废气处理设备的洗涤装置的结构示意图。图5A及图5B为本发明的废气进入废气处理设备的流向示意图。图6为本发明的洗涤液供应装置的结构示意图。图7为本发明废气处理设备的洗涤装置另一实施例的结构俯视剖面示意图。其中，附图标记说明如下:1:洗涤塔废气处理系统12:进气装置14:洗涤液供应装置141:循环泵142:管路16:沉淀槽18:洗涤塔2:废气处理设备21:洗涤装置2IA:进气洗涤塔21B:第一洗涤塔2IC:第二洗涤塔2ID:出气洗涤塔2IE:第三洗涤塔2IF:第四洗涤塔213:中空管214:进气管215:出气管23:沉淀槽232:第一池体233:第二池体25:洗涤液供应装置251:循环泵252:管路253:喷洒单元
具体实施例方式以下配合附图对本发明的实施方式做更详细的说明，以使本领域技术人员在研读本说明书后能据以实施。本发明的废气处理设备用以处理半导体工艺所产生的废气。图2为本发明的废气处理设备2的结构意示图。废气处理设备2包含洗涤装置21、沉淀槽23及洗涤液供应装置25。洗涤装置21设于沉淀槽23上方，且与沉淀槽23连接。而洗涤液供应装置25设于沉淀槽23 —侧及洗涤装置21内部。图3为本发明的废气处理设备2的沉淀槽23的结构图。沉淀槽23具有至少二池体232、233，可用以盛装洗涤液(图未显示)。各池体232、233正上方用以设置二个洗涤塔(图未显示)。该池体232、233内并与安装其上的洗涤塔内空间相连通。图4为本发明的废气处理设备2的洗涤装置21的结构示意图。洗涤装置21包含进气洗涤塔21A、出气洗涤塔21D及至少一个洗涤塔组，该洗涤塔组进一步包含第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C。其中，第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C系局部互相连通。在本实施例中，第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C间具有一个中空管213，连通第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C，但连通方式并不以中空管213为限。每一洗条塔内部皆具有相关的废气过滤装置(图中未画出)，例如喷洒单元、由拉西环所形成的过滤层等，以对废气进行相关的处理。由于洗条塔内的相关过滤装置可针对不同废气而选用不同的结构或型式，故图中未画出，也不因此限制本发明洗条塔内的结构。此外，洗涤装置21更具有至少为一的废气进气管214及出气管215。进气管214设置于进气洗涤塔21A顶部，以供废气自进气洗涤塔21A顶部进入。出气管215设置于出气洗涤塔21D顶部，以供废气自出气洗涤塔21D排出。该废气进气管214的安装位置并不此为限，亦能设置于进气洗涤塔21A侧边、中间位置或其它位置。同理该出气管215安装于出气洗涤塔2ID的位置亦能改变。在本发明中该洗涤装置21的进气洗涤塔21A、出气洗涤塔21D、第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C，呈田字型安装于该沉淀槽23上。如图2 图4所示，进气洗涤塔21A及第一洗涤塔21B位于沉淀槽23的同一池体正上方；第二洗涤塔21C及出气洗涤塔21D位于沉淀槽23的另一池体正上方。在本实施例中，进气洗涤塔2IA及第一洗涤塔2IB位于池体232上方，因此两塔内空间并与池体232内空间相连通;出气洗涤塔2ID及第二洗涤塔2IC位于池体233正上方，两塔内空间也与池体233内空间相连通。图5A及图5B为本发明的废气进入废气处理设备的流向示意图。其中，为清楚说明，图5A仅绘示进气洗涤塔21A、第一洗涤塔21B及沉淀槽23的池体232 ;图5B仅绘示第二洗涤塔21C、出气洗涤塔2ID及沉淀槽23的池体233。如5A及5B所示，当利用本发明的废气处理设备处理工艺废气时，首先，在沉淀槽23内盛装洗涤液，洗涤液的液面位于洗涤装置21底部下方，以使洗涤液的液面与洗涤装置21底部的水平面间形成一空间。较佳地，洗涤液的液面仅为沉淀槽23高度的1/2至2/3。当废气(图中的箭头处即代表废气的流动方向)进入洗涤装置21时，废气自进气洗涤塔21A的顶部进入，到达进气洗涤塔21A下方，通过池体232内液面上的空间，进入第一洗涤塔21B下方，接着自第一洗涤塔21B上方经过中空管213进入第二洗涤塔21C上方，向下到达第二洗涤塔21C下方，通过池体233内液面上的空间，而进入出气洗涤塔21D下方，接着自出气洗涤塔2ID的顶部排出。图6为本发明的洗涤液供应装置25的结构示意图。本发明的废气处理设备2运作时，需搭配洗涤液循环使用，通过洗涤液供应装置25达到洗涤液循环的目的，此图仅为本发明的一种实施例，并不因此限制本发明的保护范围。本发明的洗涤液供应装置25包含循环泵251、管路252及分别设于四个洗涤塔21A 21D内部上方的四个喷洒单元253，且各喷洒单元253位于过滤层(图未显示)上方。喷洒单元253用以喷洒洗涤液。图中的箭头即为经循环泵251抽送后的洗涤液于管路252中的流向。洗涤液供应装置25的作用方式和原理皆与现有技术相同，此处不再赘述。在本发明中，洗涤液可为自来水或冷凝水，另夕卜，洗涤液中也可以含硫酸、盐酸或液碱等至少其中之一药剂，以更有效去除废气中的有毒物质。例如，盐酸及硫酸可去除废气中的氨。液碱可处理废气中的氯气及前述处理后衍生的铵氮。本发明的废气处理设备的洗涤塔组的个数并无限制，可以为上述之一组，也可为二组或二组以上，故洗涤塔数量则至少为4个，也可为6个、8个或8个以上，并无限制。下面为本发明另一实施例，在本实施例中，沉淀槽具有三池体，各池体正上方具有二个洗涤塔，意即共有六个洗涤塔。图7为本发明废气处理设备的洗涤装置21另一实施例的结构俯视剖面示意图。洗涤装置21除了包含进气洗涤塔2IA及出气洗涤塔2ID外，也包含一个第一洗涤塔组及一个第二洗涤塔组，第一洗涤塔组包含第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C，第二洗涤塔组包含一个第三洗涤塔21E及一个第四洗涤塔21F。其中，第一洗涤塔21B及第二洗涤塔21C上方互相连通，第三洗涤塔21E及该第四洗涤塔21F上方互相连通。在本实施例中，第一洗涤塔2IA及第二洗涤塔2IC间具有个中空管213，连通第一洗涤塔2IA及第二洗涤塔21C，第三洗涤塔21E及第四洗涤塔21F间也具有中空管213，连通第三洗涤塔21E及第四洗涤塔21F。进气洗涤塔21A及第一洗涤塔21B位于沉淀槽(图未显示)的同一个池体正上方；第二洗涤塔21C及第三洗涤塔21E位于沉淀槽的同一个池体正上方，第四洗涤塔21F及出气洗涤塔21D位于沉淀槽的同一池体正上方。当废气进入洗涤装置21时，废气自进气洗涤塔21A进入，到达进气洗涤塔21A下方，通过洗涤液的液面与洗涤装置21底部的水平面间形成的空间，进入第一洗涤塔21B下方，接着自第一洗涤塔21B上方进入第二洗涤塔21C上方，向下到达第二洗涤塔21C下方，通过此空间，而进入第三洗涤塔21E下方，接着到达第三洗涤塔21E上方进入第四洗涤塔2IF上方，到达第四洗涤塔2IF下方，通过此空间，而进入出气洗涤塔2ID下方，接着自出气洗涤塔2ID顶部排出。故可知，本实施例的废气流向与上述实施例雷同，本实施例仅是多了第三洗涤塔21E及第四洗涤塔21F的两道洗涤程序。此外，本发明洗涤装置的进气洗涤塔、第一洗涤塔、第二洗涤塔、第三洗涤塔、第四洗涤塔及出气洗涤塔内也可各包含一个过滤层(图未显示)，其可滞留洗涤液，以增加废气与洗涤液的作用时间，其中过滤层内更包含至少一个拉希环，可增加废气与洗涤液的接触面积。过滤层的结构及功能与现有技术相同，本文不再赘述。
值得注意的是，本发明的沉淀池的池体数量会比洗涤塔组的数量多I个。利用本发明至少四道洗涤的废气处理设备，可有效处理新工艺所产生的废气，且对应废气量增加，可有效延长洗涤流径，而设备尺寸维持不变。本发明的废气处理设备可使无尘室空间有效运用。本发明的废气处理设备可解决现有技术所无法解决的问题，故具有创造性。以上所述为仅用以解释本发明的较佳实施例，并非企图据以对本发明做任何形式上的限制，是以，凡有在相同的发明精神下所作有关本发明的任何修饰或变更，皆仍应包括在本发明保护范围之内。
权利要求
1.一种废气处理设备，用以处理废气，包含: 一沉淀槽，具有至少二池体，该沉淀槽用以盛装洗涤液； 一洗涤装置，安装于该沉淀槽上，包含进气洗涤塔、出气洗涤塔及至少一洗涤塔组，该洗涤塔组进一步包含第一洗涤塔及第二洗涤塔，该第一洗涤塔及该第二洗涤塔局部互相连通，该进气洗涤塔及该第一洗涤塔位于该沉淀槽同一池体上方，而该出气洗涤塔及该第二洗涤塔则位于该沉淀槽内另一池体上方，当该沉淀槽盛装该洗涤液时,每一池体内洗涤液的液面与该洗涤装置底部之间形成一空间； 当该废气进入该废气处理设备内处理时，废气将依序经进气洗涤塔、相对应的池体内空间、第一洗涤塔、第二洗涤塔、沉淀槽内另一池体内的空间、出气洗涤塔，最后已净化后的废气再由该出气洗涤塔排出。
2.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该第一洗涤塔及该第二洗涤塔间具有一中空管，连通该第一洗涤塔及该第二洗涤塔。
3.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该各洗涤塔内具有废气过滤装置。
4.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该废气自该进气洗涤塔顶部或侧边进入，自该出气洗涤塔顶部或侧边排出。
5.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该池体的数量比该洗涤塔组的数量多I。
6.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该洗涤液的液面仅为该沉淀槽高度的1/2至 2/3。
7.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该洗涤液为自来水或冷凝水。
8.如权利要求1所述的废气处理设备，该洗涤液更包含一药剂，该药剂由硫酸、盐酸和液碱至少其中之一组成。
9.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该洗涤装置的进气洗涤塔、出气洗涤塔、以及该洗涤塔组的第一洗涤塔及第二洗涤塔，呈田字型安装于该沉淀槽上。
10.如权利要求1所述的废气处理设备，其中该沉淀槽具有三池体，且该洗涤装置进一步包含第一洗涤塔组及第二洗涤塔组，该第一洗涤塔组包含该第一洗涤塔及该第二洗涤塔，该第二洗涤塔组包含第三洗涤塔及第四洗涤塔，其中，第一洗涤塔及第二洗涤塔上方互相连通，第三洗涤塔及该第四洗涤塔上方互相连通，该进气洗涤塔及第一洗涤塔、该第二洗涤塔及第三洗涤塔、以及第四洗涤塔及出气洗涤塔等三组分别位于该沉淀槽的三个池体的正上方O
全文摘要
本发明提供了一种废气处理设备，用以处理废气，包含沉淀槽及安装在所述沉淀槽上的洗涤装置，该洗涤装置包含进气洗涤塔、出气洗涤塔及至少一洗涤塔组，该洗涤塔组进一步包含第一洗涤塔及第二洗涤塔，该第一洗涤塔及该第二洗涤塔局部互相连通；该沉淀槽用以盛装一洗涤液，具有至少二池体；该进气及第一洗涤塔、与该出气及第二洗涤塔则分别经沉淀槽内不同的池体相互连通，当废气进入废气处理设备内处理时，废气将依序经过进气洗涤塔、相对应的池体内空间、第一洗涤塔、第二洗涤塔、沉淀槽内另一池体内的空间、出气洗涤塔，最后已净化后的废气再由该出气洗涤塔排出。
文档编号B01D53/38GK103203173SQ20121001324
公开日2013年7月17日 申请日期2012年1月13日 优先权日2012年1月13日
发明者陈翊飏 申请人:九威科技有限公司