室内低浓度有机废气净化装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是有关一种室内低浓度有机废气净化装置，尤指一种降低运转耗能的室内低浓度有机废气净化装置设计。
【背景技术】
[0002]TFT-1XD及半导体的显影、清洗、蚀刻及蒸镀等制程，经常会使用到大量的有机化合物进行涂布或清洗，这些有机化合物(如:IPA/PGMEA/PGME等)大多会经排气装置送到后端处理排放，且大致上会在合于法规规定的下排放，但仍有部分有机化合物会逸散在无尘室作业环境内，其浓度约为数十至数百PPb左右，操作人员若长时间处在此低浓度有机废气的环境下，亦可能引发不适，特别是含有低阈值臭味有机化合物(如醋酸)；再者，无尘室的空调设计及过滤器的排列主要分为两部分，一部份为外气补充气，另一部份为循环气体；在外气部分主要是控制气体的湿度、粒状污染物及气状污染物，循环气体部分则着重于制程逸散化学品的去除。
[0003]次者，如图1所示，现有的无尘室内低浓度有机废气净化装置，包括有:一旋转式吸脱附器10，可为图示的转轮式或图未示的转环式，而区分有一吸附区11、一脱附区12及一隔离冷却区13，并相对该吸附区11设置有吸附进气通道111与吸附排气通道112，且相对该脱附区12设置有脱附进气通道121与脱附排气通道122，而相对该隔离冷却区13设置有隔离冷却进气通道131与隔离冷却排气通道132，该吸附进气通道111的头端、该吸附排气通道112的尾端与该隔离冷却进气通道131的头端连结至无尘室内50，该隔离冷却排气通道132的尾端连结至该脱附进气通道121的头端，该脱附排气通道122的尾端连结至外部的终处理设备(图未示)；一吸附压差产生器20，设置于该吸附进气通道111或该吸附排气通道112 ;—脱附热源30，设置于该脱附进气通道121 ;以及一脱附压差产生器40，设置于该脱附进气通道121或该脱附排气通道122。
[0004]借此，该吸附压差产生器20令室内气体通过该吸附进气通道111与该吸附区11，而由该吸附区11将所含的有机废气(如IPA与PGMEA)予以吸附净化，净化后的气体乃通过该吸附排气通道112回到室内；该隔离冷却进气通道131与该隔离冷却排气通道132令室内气体通过该隔离冷却区13而将热回收(兼具隔离及冷却效果)，热回收后的隔离气流成为脱附气流的气源；该脱附压差产生器40令通过该脱附进气通道121且经该脱附热源30加热后(约加热至180?200°C )的脱附气流通过该脱附区12，进而将所吸附的有机化合物予以脱附出来，再通过该脱附排气通道122导引至外部的终处理设备100予以净化。
[0005]再者，欲处理TFT-1XD黄光区无尘室内的有机废气，一般每一黄光区无尘室约需处理740000SCMH的循环风量，方能降低无尘室内有机废气的浓度累积，而每400SCMH的无尘室外气经外气空调箱调节到恒温恒湿(25°C /50% RH)，夏天所需冷冻能力约需1.5冷冻能力(USRT)的耗能，造成无尘室外气调节的耗能将会很可观；此外，该旋转式吸脱附器10若为沸石转轮，假设吸附气流比上脱附气流的浓缩倍率为15倍(处理效率> 90% )，脱附温度180-200°C，所需耗费的脱附热亦会很大；然而，前述现有的无尘室内低浓度有机废气净化装置，无尘室内50至少必须从外气补充经该隔离冷却进气通道131的隔离冷却气流流出风量，致使无尘室内50所需的外气调节耗能甚高，而高温的脱附气流直接导引至外部的终处理设备，无形中亦损失大量的脱附热。
【实用新型内容】
[0006]本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种室内低浓度有机废气净化装置，其具有大幅降低运转耗能及减少排气的功效。
[0007]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0008]—种室内低浓度有机废气净化装置，包括:一旋转式吸脱附器，区分有一吸附区、一脱附区及一隔离冷却区，并相对该吸附区设置有吸附进气通道与吸附排气通道，且相对该脱附区设置有脱附进气通道与脱附排气通道，而相对该隔离冷却区设置有隔离冷却进气通道与隔离冷却排气通道，该吸附进气通道的头端、该吸附排气通道的尾端与该隔离冷却进气通道的头端连结至室内，该隔离冷却排气通道的尾端连结至该脱附进气通道的头端，该脱附排气通道的尾端连结至外部；一吸附压差产生器，设置于该吸附进气通道或该吸附排气通道；一脱附热源，设置于该脱附进气通道；一脱附压差产生器，设置于该脱附进气通道或该脱附排气通道；一氧化触媒单元，设置于该脱附进气通道；以及一脱附排气回流通道，头端叉接于该脱附排气通道而尾端连结至该脱附进气通道的头端。
[0009]此外，进一步设置一脱附排气气流控制阀、一脱附排气回流气流控制阀与一隔离进气气流控制阀，该脱附排气气流控制阀设置于该脱附排气通道而位于该脱附排气通道与该脱附排气回流通道叉接处的下游段，该脱附排气回流气流控制阀设置于该脱附排气回流通道，该隔离进气气流控制阀设置于该隔离冷却进气通道。又，进一步设置一臭氧供给单元于该脱附进气通道而位于该氧化触媒单元的上游处。该脱附排气通道的尾端连结至外部的终处理设备再净化处理后排放，而该终处理设备为连续吸脱附沸石转轮浓缩器、活性碳流体化浮动床、焚化炉、洗涤塔、冷凝器的任一或组合。该旋转式吸脱附器进一步设置一再隔离区，而相对该再隔离区设置有再隔离进气通道与再隔离排气通道，该再隔离进气通道的头端叉接于该吸附排气通道，该再隔离排气通道的尾端叉接于该隔离冷却进气通道。再者，该旋转式吸脱附器为转轮式或转环式。另，该氧化触媒单元以氧化铝承载锰或/及铁，而锰/铁比为1/3。
[0010]本实用新型的有益效果是，其具有大幅降低运转耗能及减少排气的功效。
【附图说明】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]图1是现有室内低浓度有机废气净化装置的结构示意图。
[0013]图2是本实用新型第一实施例的结构示意图。
[0014]图3是本实用新型第二实施例的结构示意图。
[0015]图中标号说明:
[0016]10旋转式吸脱附器
[0017]11吸附区
[0018]111吸附进气通道
[0019]112吸附排气通道
[0020]12脱附区
[0021]121脱附进气通道
[0022]122脱附排气通道
[0023]13隔离冷却区
[0024]131隔离冷却进气通道
[0025]132隔离冷却排气通道
[0026]11再隔离区
[0027]141再隔离进气通道
[0028]142再隔离排气通道
[0029]20吸附压差产生器
[0030]30脱附热源
[0031]40脱附压差产生器
[0032]50无尘室内
[0033]60氧化触媒单元
[0034]70脱附排气回流通道
[0035]81脱附排气气流控制阀
[0036]82脱附排气回流气流控制阀
[0037]83隔离进气气流控制阀
[0038]90臭氧供给单元
[0039]100终处理设备
【具体实施方式】
[0040]首先，请参阅图2所示，本实用新型的第一实施例包括:一旋转式吸脱附器10，可为图示的转轮式或图未示的转环式，而区分有一吸附区11、一脱附区12及一隔离冷却区13，并相对该吸附区11设置有吸附进气通道111与吸附排气通道112，且相对该脱附区12设置有脱附进气通道121与脱附排气通道122，而相对