1.一种微机电系统(MEMS)裸片，该MEMS裸片包括：
基板；
绝缘层，该绝缘层与所述基板相邻地设置；
振动膜，该振动膜连接至所述绝缘层；以及
背板，该背板连接至所述绝缘层，所述背板与所述振动膜按间隔关系设置；
其中，所述绝缘层定位在所述基板与所述振动膜之间，并且定位在所述基板与所述背板之间，以将所述基板与所述振动膜和所述背板电隔离。
2.根据权利要求1所述的MEMS裸片，其中，所述基板是掺杂硅。
3.根据权利要求1所述的MEMS裸片，其中，所述基板接地。
4.根据权利要求1所述的MEMS裸片，其中，所述绝缘层包括氮化硅。
5.根据权利要求1所述的MEMS裸片，其中，所述背板包括多晶硅层和氮化物层。
6.根据权利要求1所述的MEMS裸片，其中，所述背板包括被设置为穿过所述背板的多个孔。