具有绝缘基板的MEMS马达的制作方法

技术总结
微机电系统(MEMS)裸片包括：基板、与基板相邻设置的绝缘层、连接至绝缘层的振动膜以及连接至绝缘层的背板。背板与振动膜按间隔关系设置。绝缘层定位在基板与振动膜和背板之间，以将基板与振动膜和背板电隔离。

技术研发人员：邵宁;E·J·劳滕施拉格尔
受保护的技术使用者：美商楼氏电子有限公司
文档号码：201580017175
技术研发日：2015.04.01
技术公布日：2016.11.16