集成电路封装体及其制作方法

文档序号:7230276阅读:117来源:国知局
专利名称:集成电路封装体及其制作方法
技术领域
本发明有关于集成电路封装体及其制作方法,特别有关于一种具有高合 格率的集成电路封装体及其制作方法。
背景技术
在集成电路装置的制造工艺中,集成电路必须经过封装步骤处理后,使 用于各种不同的应用领域,例如,计算机、手机或数码相机等。因此,集成 电路封装的合格率也直接影响最终集成电路装置的合格率。图1A-图1D显示现有集成电路封装的剖面图。如图1A及图1B显示在 接合步骤之前,保护层8形成于盖板4上的形式。而图1C及图1D显示在接 合步骤之前,保护层8形成于集成电路芯片2上的形式。在图1A中,显示 了上方形成有感光元件12的集成电路芯片2,且感光元件12电连接于接合 焊盘6。又如图1A所示,通过粘着剂10,贴附盖板4于集成电路芯片2的 上方,且在盖板4与集成电路芯片2之间形成间隙14。在上述接合盖板4与 集成电路芯片2的步骤中,粘着剂10会溢流至感光元件12的区域,如图1A 所示。图1B显示根据图1A中在接合步骤时粘着剂溢流至感光元件的集成电 路封装体的剖面图。在图1B中,粘着剂IO会溢流至感光元件12的区域, 且覆盖部分感光元件12,使得感光元件12对从外界经盖板4及间隙14的光 反应并不一致,而导致集成电路封装体不合格。如图1C所示,提供上方形成有感光元件12及接合焊盘6的集成电路芯 片2,且覆盖保护层8于接合焊盘6的上方。接着,接合盖板4在集成电路 芯片2上,且形成间隙14于盖板4与集成电路芯片之间。在上述接合步骤 时,粘着剂10会沿着保护层8的侧壁溢流至感光元件12的区域,如图1C 所示。图1D显示根据图1C中在接合步骤时粘着剂溢流至感光元件的集成电 路封装体的剖面图。如图1D所示,粘着剂IO会溢流至感光元件12的区域, 且覆盖部分感光元件12,因而导致集成电路封装体的封装合格率降低。由此,可知现有接合方式皆会造成上述的问题。因此,亟需一种集成路封装体及其制作方法,以解决上述问题,且提高 集成电路封装体的制造工艺合格率。发明内容有鉴于此,本发明的目的是提供一种集成电路封装体。上述集成电路封装体,包含集成电路芯片,其上表面形成有感光元件;接合焊盘,形成于该 集成电路芯片的上表面,且电连接该感光元件;第一挡墙,形成于该感光元 件与该接合焊盘之间;以及导电层,形成于该集成电路芯片的侧壁上,且电 连接该接合焊盘。如上所述的集成电路封装体,还包含第二挡墙,介于该接合焊盘与该第 一挡墙之间。如上所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙的高度小于或等于该第一 挡墙的高度。如上所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙,位于该集成电路芯片上。 如上所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙位于基板上,且该基板对应地设置于该集成电路芯片的上方。如上所述的集成电路封装体,还包含保护层,包覆该接合焊盘;以及粘着层,形成于该保护层与该第一挡墙之间,且粘接该集成电路芯片与该基板。如上所述的集成电路封装体,还包含焊料球体,形成于该导电层上。 本发明的另一 目的是提供一种集成电路封装体的制作方法。上述集成电 路封装体的制作方法,包括提供上表面形成有感光元件的集成电路芯片; 形成接合焊盘于该集成电路封装体上,且电连接该感光元件;形成第一挡墙 于该接合焊盘与该感光元件之间;以及形成导电层于该集成电芯片的侧壁 上,且电连接该接合焊盘。上述集成电路封装体还包括通过粘着剂,接合第 一基板于该集成电路芯片的上方。根据本发明的实施例的集成电路封装体 中,其具有挡墙介于接合焊盘与感光元件之间。如上所述的集成电路封装体的制作方法,其中形成该第一挡墙于该接合 焊盘与该感光元件之间的方式,包括提供基板;设置该第一挡墙于该基板上;以及通过粘着层,将该基板贴附于该集成电路芯片上,以形成该第一挡 墙介于该接合焊盘与该感光元件之间。如上所述的集成电路封装体的制作方法,还包括设置第二挡墙于该基板 上,且通过贴附该基板于该集成电路芯片上方的步骤,以形成该第二挡墙于 该接合焊盘与该第一挡墙之间。如上所述的集成电路封装体的制作方法,还包括设置第二挡墙于该集成 电路上,且介于该接合焊盘与该第一挡墙之间。如上所述的集成电路封装体的制作方法,其中形成该导电层的方式,包 括移除部分该集成电路芯片及该保护层,以形成凹槽,且暴露该接合焊盘; 以及形成该导电层于该凹槽之中,电连接该接合焊盘且该导电层延伸至该集 成电路芯片的下表面上。如上所述的集成电路封装体的制作方法,还包括形成悍料球体于该导电 层上。因此,在接合步骤时,挡墙可阻挡粘着剂溢流至感光元件的区域。再者, 由于在接合焊盘与感光元件之间设置有挡墙,使得可更加精准控制粘着剂形 成的位置及使用量,进而降低制作成本。


图1A-图1D显示现有集成电路封装体的剖面图;图2A-图2H显示根据本发明第一实施例制作的集成电路封装体的剖面图;图3A-图3B显示根据本发明第二实施例制作的集成电路封装体的剖面图;图4A-图4D显示根据本发明第三实施例制作的集成电路封装体的剖面 图;以及图5A-图5B显示根据本发明第四实施例制作的集成电路封装体的剖面图。其中,附图标记说明如下 现有技术2 集成电路芯片; 4 盖板;6-接合焊盘;8 保护层;10 粘着剂;12 感光元件;14~间隙。本发明102 集成电路芯片;103 上表面;104 感光元件;105 下表面;106 接合焊盘;108 挡墙;110 第一基板;112 保护层;114 粘着剂;116 间隙;118 开口;120~胶材;122 第二基板;124 绝缘层;126~凹槽;128 导电层;130 阻焊膜;132 悍料球体;140 集成电路封装体;202 集成电路芯片;204 感光元件;206 接合焊盘;208 第一挡墙;210 第二挡墙;212 第一基板;214 保护层;216 粘着剂;218 间隙;220 胶材;222 第二基板;224 绝缘层;226 导电层;228 阻焊膜;230 焊料球体;232 集成电路封装体;302 集成电路芯片;304 感光元件;306 接合焊盘;308 保护层;310 粘着剂;312 第一基板;314 挡墙;316 间隙;318~胶材;320 第二基板;322 绝缘层;324 导电层;326 阻焊膜;328 焊料球体;330 集成电路封装体;402 集成电路芯片404 感光元件;406 接点垫;410 粘着剂;414 第一挡墙;418~间隙;422 第二基板; 426 导电层;430 焊料球体;408 保护层;412 第一基板;416 第二挡墙;420~胶材;424 绝缘层;428 阻焊膜;432 集成电极封装体。
具体实施方式
接下来以实施例并配合附图详细说明本发明,在附图或描述中,相似或 相同部分使用相同的符号。在附图中,实施例的形状或厚度可扩大,以简化 或是方便标示。附图中元件的部分将以描述说明。可了解的是,未描绘或描 述的元件,可以是具有各种本领域技术人员所知的形式。此外,当叙述一层 位于基材或是另一层上时,此层可直接位于基材或是另一层上,或是其间亦 可以有中介层。在图2A-图2H中显示根据本发明第一实施例制作集成电路封装体的剖 面图。在图2A中,提供具有上表面103及下表面105的集成电路芯片102, 且形成感光元件104于集成电路芯片102的上表面103上。又如图2A所示, 形成接合焊盘106于上述集成电路芯片102的上表面,且电连接上述感光元 件104。在优选实施例中,上述集成电路芯片102可以是感光集成电路芯片,但 不以此为限。上述接合焊盘106优选可以是铜、铝或其它的导电材料。在优 选实施例中,形成上述接合焊盘106的方式,例如可以是以溅镀(sputtering)、 蒸镀(evapomtkm)的方式形成导电材料层,接着再进行光刻及蚀刻的工艺, 以形成上述接合焊盘106。虽然在图2A中显示分离的接合焊盘,可以了解 的是,接合焊盘也可以是延伸的接合焊盘。如图2B所示,接着,形成挡墙(barrier)108又可称为栅极图案(gate pattern) 于集成电路芯片102的上表面上,且介于接合焊盘106与感光元件104之间。 在优选实施例中,上述挡墙108优选例如可以是聚酰亚胺树脂(polyimide resin;PI)、环氧树脂(epoxy)、聚酯树脂(polyester)或其它合适的绝缘材料。形成上 述挡墙108的方式优选可以是先以涂布的方式,形成绝缘材料层于上述集成 电路芯片102的上表面,接着再以光刻及蚀刻的方式图案化上述绝缘材料层, 以形成挡墙108。在图2C所示,提供第一基板110(也可以称为盖板),且形成保护层112 于第一基板110的上方。上述第一基板110优选可以是玻璃、石英、蛋白石、 塑胶或其它合适的透明基板。上述保护层112优选可以是聚酰亚胺树脂、环 氧树脂或其它合适的绝缘材料。又如图2C所示,接着,形成粘着剂114于 上述保护层112上。上述粘着剂114优选可以是包含环氧树脂的粘着材料。在图2D中,接着,通过上述粘着剂114黏接第一基板110于集成电路 芯片102的上表面上方,以形成间隙116于第一基板110及集成电路芯片102 之间。在上述接合步骤后,上述保护层112会覆盖接合焊盘106,以保护接 合焊盘106,且挡墙108与保护层112之间的距离优选大于或等于0.5pm。值得注意的是,在本实施例中,由于在接合焊盘106与感光元件104之 间设置有挡墙108,因此,粘着剂114会形成于挡墙108与接合焊盘106之 间,如图2D所示。据此,在接合步骤时,挡墙会阻挡粘着剂溢流至感光元 件的区域,以改善因粘着剂溢流至感光元件所导致集成电路封装体性能不 高,例如粘着剂覆盖于感光元件上方,使得入射至感光元件的光折射率改变, 甚至造成感光元件无法感应光,而导致感光元件失效。再者,由于在接合焊 盘与感光元件之间设置有挡墙,使得可更加精准控制粘着剂形成的位置及使 用量,进而降低制作成本。在完成上述接合步骤后,也可以选择性地进行研磨步骤,以薄化上述集 成电路芯片102的厚度。在优选实施例中,经研磨步骤后,集成电路芯片102 的厚度优选可以是介于10~250 )jm之间,以利于后续切开集成电路芯片102 步骤的进行。如图2E所示,使用光刻及蚀刻步骤,沿着切开个别晶粒的预定切割线, 移除部分集成电路芯片102,且形成开口 118,以切开个别的晶粒。上述开 口 118会暴露接合焊盘106的底部表面及保护层114。在优选实施例中,上述蚀刻步骤可以是使用例如SF6、 C4F8或其它合适 的干蚀刻气体的干蚀刻工艺完成。在另一实施例中,上述蚀刻步骤也可以是使用包含硅蚀刻液湿蚀刻工艺,例如2.5。/。氢氟酸(HF)、 50。/。硝酸(HN03)、 10。/。乙酸(CH3COOH)与37.5%水的混合溶液,以移除部分集成电路芯片102, 且暴露接合焊盘106。在上述湿蚀刻工艺中,也可以是使用包含有氢氧化钾 (KOH)的蚀刻液。又如图2E所示,形成胶材120于集成电路芯片102的下表面105上, 且填充于开口118之中。接着,通过上述胶材120,贴附第二基板122于集 成电路芯片102的下表面105上方。上述胶材优选可以是环氧树脂或其它合 适的材料,且通过例如是涂布的方式形成于集成电路芯片102的下表面105 上。上述第二基板122可以是与上述第一基板相似材质的基板,值得注意的 是,第二基板112也可以是其它合适材料的不透明基板。再者,第二基板122 可用于承载集成电路芯片102,故也可以称为承载基板。如图2F所示,其为图2E中集成电路封装体翻转180度的剖面图。在图 2F中,形成绝缘层124于第二基板122上,接着,通过刻痕装置,沿着切开 个别晶粒的预定切割线,进行刻痕步骤(也可以称为切割步骤),以形成凹槽 126,且暴露接合焊盘106的侧壁及第一基板110的表面。在优选实施例中,上述绝缘层124可以是例如氧化硅、二氧化硅、氮化 硅、光阻材料或其它合适的介电材料,且绝缘层124可以是通过例如旋涂(spin coating)、喷洒涂布(spray coating)或例如是低压化学气相沉积(low pressure chemical vapor deposition; LPCVD)或等离子体增强式化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition; PECVD條完成。又如图2F所示,接着,形成导电层128于绝缘层124上,且延伸至凹 槽126之中,以电连接接合焊盘106。上述导电层128优选可以是铝、铜、 镍或其它合适的导电材料。在优选实施例中,形成导电层128的方式可以是, 通过例如溅镀、蒸镀、电镀或等离子体增强式气相沉积法顺应性地形成导电 材料层于绝缘层124上方,且导电材料层会从绝缘层124的表面经接合焊盘 106的侧壁延伸至第一基板110。接着,通过光刻及蚀刻步骤,图案化上述 导电材料层,以形成上述导电层128,且暴露部分绝缘层124的表面。在完成上述导电层128之后,由于凹槽126底部通常较为狭窄,使得导 电材料并无法优选地形成于该凹槽126底部。因此,也可以选择性地进行无 电镀(dectroless plating)步骤,以在凹槽126底部形成较好的导电层128。可以了解的是,导电层128也可以是直接以无电镀方式形成。如图2G所示,形成阻焊膜130于导电层128上方,且暴露部分导电层 128,以界定出焊料球体132的位置。接着,形成焊料球体132于上述暴露 的导电层128上方,以电连接导电层128。上述阻焊膜130在此可以作为保 护层。在完成上述步骤后,接着,通过切割刀片沿着个别晶粒的预切割线,分 割成个别晶粒,以完成集成电路封装体140,如图2H所示。在图2H中,系 显示图2G中集成电路封装体经切割步骤处理后的翻转180度的剖面图。如 图2H所示的集成电路封装体140,集成电路芯片102上方形成有感光元件 104及接合焊盘106,且接合焊盘106电连接感光元件104。又如图2H所示, 形成导电层128于上述集成电路芯片102的侧壁上,且电连接接合焊盘106 及焊料球体。第一基板IIO对应地设置于集成电路芯片102的上方,且与集成电路芯 片102的表面形成间隙116,如图2H所示。值得注意的是,根据本发明的 第一实施例的集成电路封装体140,其具有挡墙108介于接合焊盘106与感 光元件104之间,以避免接合步骤时,粘着剂溢流至感光元件104的上方, 进而改善封装制造工艺中的不合格的现象。如图3A-图3B所示,为本发明的第二实施例的集成电路封装体。在图 3A中,提供上方形成有感光元件204的集成电路芯片202。接着,形成接合 焊盘206于集成电路芯片202上方,且电连接感光元件204。之后,形成第 一挡墙208及第二挡墙210于集成电路芯片202的上方,且介于接合焊盘206 与感光元件204之间。在优选实施例中,第二挡墙210的高度可以是小于或 等于第一挡墙208的高度。上述第二挡墙210介于第一挡墙208与接合焊盘 206之间,且第二挡墙210与保护层214之间的距离优选约大于或等于0.5pm。又如图3A所示,提供上方形成有保护层214及粘着剂216的第一基板 212。接着,通过粘着剂216,接合第一基板212于集成电路芯片202的上方, 以形成间隙218。在接合步骤之后,保护层214会覆盖接合焊盘206,且粘 着剂216会包覆第二挡墙210。在完成上述接合步骤之后,进行切割集成电路芯片202的步骤,且接着 使用胶材220,贴附第二基板222于集成电路芯片202的下表面上。之后,在形成绝缘层224于第二基板222的下表面上后,接着,进行刮痕步骤,以 暴露接合焊盘206。然后,形成导电层226于第二基板222的侧壁上,且延 伸至接合焊盘206,并电连接接合焊盘206,接着形成阻焊膜228于导电层 226上方。最后,进行形成焊料球体230的步骤后,再利用切割刀片沿着预 定切割线,分割成个别的晶粒,以完成集成电体封装体232的制作,如图3B 所示。上述元件的材质及形成方式可以是与第一实施例相同,因此,在此并 不再赘述。值得注意的是,根据本发明的第二实施例的集成电路封装体,其具有第 一挡墙及第二挡墙介于接合焊盘与感光元件之间。因此,在接合步骤时,粘 着剂并不会溢流至感光元件的区域,以改善因粘着剂溢流所导致集成电路封 装体不合格的问题。且,在本实施例中,由于形成有第一及第二挡墙,因此, 可更加有效地阻挡粘着剂的溢流现象。可以了解的是,在第一及第二实施例 中,保护层(Dam)也可以是形成在集成电路芯片上,且保护层也可以是与挡 墙同时形成,以减少制造工艺的步骤。图4A-图4D中显示本发明的第三实施例的制作集成电路封装体的剖面 图。如图4A所示,提供上方形成有感光元件304的集成电路芯片302。形 成接合焊盘306于上述集成电路芯片302上方,且电连接感光元件。又如图 4A所示,覆盖保护层308于上述接合焊盘306上方,以保护接合焊盘306。 接着,形成粘着剂310于上述保护层308上方。上述元件的材质及形成方式 可以是与第一实施例相同,因此不再赘述。图4B显示上方形成有挡墙314的第一基板312。上述第一基板312及 挡墙314的材质及形成方式可以是与第一实施例相同。接着,通过上述粘着 剂310,接合第一基板312于上述集成电路芯片302的上方,以形成间隙316 介于第一基板312与集成电路芯片302之间,如图4C所示。在图4C中,在接合步骤之后,设置于第一基板302上方的挡墙314会 形成于接合焊盘306与感光元件304之间,以阻挡粘着剂310溢流至感光元 件304上。在实例中,上述挡墙314的材质及形成方式可以是与第一实施例 的挡墙相同。在优选实例中,在接合歩骤之后,挡墙314与保护层308之间 的距离可以是大于或等于0.5pm。在完成上述接合步骤后,通过光刻及蚀刻制造工艺,切割上述集成电路芯片302,且接着使用胶材318,贴附第二基板320于集成电路芯片302的 下表面上。之后,在形成绝缘层322于第二基板320的下表面上后,接着, 进行刮痕步骤(也可以称为切割步骤),以暴露接合焊盘306的侧壁及第一基 板312的表面。然后,形成导电层324于集成电路芯片302的侧壁,电连接 接合焊盘306,且接着使用阻焊膜326覆盖部分导电层324。最后,进行形 成焊料球体328于导电层324上方的步骤后,再利用切割刀片沿着预定的切 割线,分割成个别的晶粒,以完成集成电体封装体330的制作,如图4D所 示。上述元件的材质及形成方式可以是与第一实施例相同,因此,在此不再 赘述。值得注意的是,根据本发明的第三实施例的集成电路封装体,其具有挡 墙设置于第一基板上。在接合步骤之后,挡墙会介于接合焊盘与感光元件之 间。因此,在接合步骤时,粘着剂并不会溢流至感光元件的区域,以改善因 粘着剂溢流所导致的集成电路封装体不合格的问题。图5A-图5B显示根据本发明的第四实施例制作集成电路封装体的剖面 图。在图5A中,提供上方形成有感光元件404的集成电路芯片402。接着, 形成接合焊盘406于集成电路芯片402的上方,且电连接感光元件404。之 后,覆盖保护层408于接合焊盘408上,以保护接合焊盘408,以及形成粘 着剂410于保护层408的上方。又如图5A所示,通过粘着剂410,接合上方形成有第一挡墙414及第 二挡墙416的第一基板412于上述集成电路芯片402的上方,以形成间隙 418。在优选实施例中,上述第二挡墙416的高度可以是小于或等于第一挡 墙414的高度。在完成上述接合步骤后,第一挡墙414及第二挡墙416会形 成于接合焊盘406与感光元件418之间,且第二挡墙416与保护层408之间 的距离优选可以是大于或等于0.5pm。上述第一挡墙414与第二挡墙416可 以是具有适当的距离,以容纳粘着剂410于第一挡墙414与第二挡墙416之 间。在完成上述接合步骤后,通过光刻及蚀刻制造工艺,切割上述集成电路 芯片402,且使用胶材420,贴附第二基板422于集成电路芯片302的下表 面上。之后,在形成绝缘层424于第二基板422的下表面上后,接着,进行 刮痕步骤(也可以称为切割步骤),以暴露接合焊盘406的侧壁及第一基板412的表面。然后,形成导电层426于第二基板422侧壁上,且延伸至第一基板 412的表面,以电连接接合焊盘406,接着使用阻焊膜428覆盖部分导电层 426。最后,进行形成焊料球体430于导电层426上方的步骤后,再利用切 割刀片沿着预定的切割线,分割成个别的晶粒,以完成集成电路封装体432 的制作,如图5B所示。上述元件的材质及形成方式可以是与第一实施例相 同,因此,在此并不再赘述。值得注意的是,根据本发明的第四实施例的集成电路封装体,其具有第 一挡墙及第二挡墙设置于第一基板上。在接合步骤之后,挡墙会介于接合焊 盘与感光元件之间。因此,在接合步骤时,粘着剂并不会溢流至感光元件的 区域,以改善因粘着剂溢流所导致集成电路封装体不合格的问题。再者,在 本实施例中集成电路封装体具有第一及第二挡墙,因此,可更有效地阻挡粘 着剂的溢流现象。值得一提的是,在第三及第四实施例中,保护层也可以是形成在第一基 板上,且保护层也可以是与挡墙同时形成,以减少制造工艺的步骤。另,上 述挡墙也可以是分别形成于第一基板及集成电路上,以在接合步骤时,阻挡 粘着剂溢流的现象。再者,上述实施例皆是以剖面图显示,可以了解的是, 上述挡墙可以是一个环形,且围绕集成电路芯片上的感光元件,以限制粘着 剂散布至感光元件的区域。虽然本发明已以优选实施例公开如上,然其并非用以限制本发明,本领 域技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作此许变更与修饰,因 此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的范围为准。
权利要求
1. 一种集成电路封装体,包含集成电路芯片,其上表面形成有感光元件;接合焊盘,形成于该集成电路芯片的上表面,且电连接该感光元件;第一挡墙,形成于该感光元件与该接合焊盘之间;以及导电层,形成于该集成电路芯片的侧壁上,且电连接该接合焊盘。
2. 如权利要求1所述的集成电路封装体,还包含第二挡墙,介于该接合 焊盘与该第一挡墙之间。
3. 如权利要求2所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙的高度小于或 等于该第一挡墙的高度。
4. 权利要求2所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙位于该集成电路 芯片上。
5. 如权利要求2所述的集成电路封装体,其中该第二挡墙位于基板上, 且该基板对应地设置于该集成电路芯片的上方。
6. 如权利要求5所述的集成电路封装体,还包含 保护层,包覆该接合焊盘;以及粘着层,形成于该保护层与该第一挡墙之间,且粘接该集成电路芯片与 该基板。
7. 如权利要求1所述的集成电路封装体,还包含焊料球体,形成于该导 电层上。
8. —种集成电路封装体的制作方法,包括 提供上表面形成有感光元件的集成电路芯片; 形成接合焊盘于该集成电路封装体上,且电连接该感光元件; 形成第一挡墙于该接合焊盘与该感光元件之间;以及 形成导电层于该集成电芯片的侧壁上,且电连接该接合焊盘。
9. 如权利要求8所述的集成电路封装体的制作方法,其中形成该第一挡 墙于该接合焊盘与该感光元件之间的方式,包括提供基板;设置该第一挡墙于该基板上;以及通过粘着层,将该基板贴附于该集成电路芯片上,以形成该第一挡墙介于该接合焊盘与该感光元件之间。
10. 如权利要求9所述的集成电路封装体的制作方法,还包括设置第二挡 墙于该基板上,且通过贴附该基板于该集成电路芯片上方的步骤,以形成该 第二挡墙于该接合焊盘与该第一挡墙之间。
11. 如权利要求8所述的集成电路封装体的制作方法,还包括设置第二挡 墙于该集成电路上,且介于该接合焊盘与该第一挡墙之间。
12. 如权利要求8所述的集成电路封装体的制作方法,其中形成该导电层的方式,包括移除部分该集成电路芯片及该保护层,以形成凹槽,且暴露该接合焊盘;以及形成该导电层于该凹槽之中,电连接该接合焊盘且该导电层延伸至该集 成电路芯片的下表面上。
13. 如权利要求8所述的集成电路封装体的制作方法,还包括形成焊料球 体于该导电层上。 _
全文摘要
本发明提供一种集成电路封装体及其制作方法。上述集成电路封装体,包含集成电路芯片,其上表面形成有感光元件;接合焊盘,形成于该集成电路芯片的上表面,且电连接该感光元件;第一挡墙,形成于该感光元件与该接合焊盘之间;以及导电层,形成于该集成电路芯片的侧壁上,且电连接该接合焊盘。本发明的第一挡墙可以阻挡粘着剂溢流至感光元件的区域,以改善集成电路封装体的制造工艺的合格率。
文档编号H01L23/48GK101276820SQ20071009141
公开日2008年10月1日 申请日期2007年3月28日 优先权日2007年3月28日
发明者范振梅, 颜裕林 申请人:精材科技股份有限公司
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