专利名称：集成电路封装体及其制造方法
技术领域：
本发明涉及一种集成电路封装体，特别是有关于一种集成电路 封装体的制造方法。
背景技术：
在半导体工业中，集成电路一般形成在晶片上，其中，在同一 片晶片上的多个半导体芯片可同时形成，因此，这些半导体芯片随 后可/人晶片上切割出来，然而由于这些半导体芯片体积既小且易 ^淬，因此在4吏用这些芯片之前必须先予以封装。
图1显示了传统的集成电路封装体，其包括半导体芯片12。首 先，利用黏着层14将半导体芯片12贴附于封装基斧反10上。随后， 将锡球16形成于封装基板10的表面上，且电性连接印刷电路板18。 最后再填入封装树脂20，以包覆上述半导体芯片12。由于封装树 脂20与封装基板10两者皆不是良好的导热材料，以致于半导体芯 片12所产生的热会局限在集成电路封装体内，而导致半导体芯片 12的寿命缩短或^^喿作异常。
因此，因此需要 一 种新颖的封装结构来改善上述问题。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种集成电路封装体，包括 基板，具有第一表面、及相对的第二表面，以及第一孔洞，其中该第一孔洞从该基板的第一表面贯穿至该第二表面；多个导线，设置 于该基板的第二表面的一部分上；芯片，设置于该基板的第二表面 的上方，两者之间形成腔室；多个接合垫，设置于该芯片朝向该基 板的第二表面的一侧，且这些4妄合垫的至少一个与这些导线中的一 个电性连4妄；以及第一散热层，乂人该第一3L洞延伸至该月空室内。
根据本发明的集成电路封装体，其中第 一 散热层填满第 一 孔洞 并与芯片连接。
根据本发明的集成电路封装体，其中第 一散热层从基板的第一 表面延伸至第一孔洞中，且穿过第一孔洞并与芯片连4妄。
根据本发明的集成电路封装体，进一步包括在芯片朝向基板的 第二表面的一侧设置第二散热层，且第二散热层连接该第一散热层。
根据本发明的集成电路封装体，其中该第一散热层从基板的第 一表面穿过第一孔洞且延伸至基纟反的第二表面上。
根据本发明的集成电路封装体，其中第二表面上的第 一散热层 与接合垫之一连接。
根据本发明的集成电路封装体，其中该第一散热层与芯片及接 合垫之间相隔一既定3巨离。
根据本发明的集成电路封装体，还包括第三散热层，从基板的 第 一表面穿过第二孔洞且延伸至该基板的第二表面上，其中该第二 孔洞与该第 一 孔洞相邻。
根据本发明的集成电路封装体，其中该第三散热层与芯片及这 些接合垫之间相隔一既定距离。才艮据本发明的集成电路封装体，进一 步包括在芯片朝向基板的 第二表面的一侧设置第四散热层，且该第四散热层连接该第三散热 层。
根据本发明的集成电路封装体，进一步包括树脂，填入腔室内 以密封芯片与基板之间的第 一散热层。
根据本发明的集成电路封装体，其中第一散热层由金、银或铜
金属组成。
本发的另一目的是提供一种集成电路封装体的制造方法，包
括提供基板，具有第一表面、及相对的第二表面，以及第一孔洞， 其中该第一孔洞从该基板的第一表面贯穿至该第二表面；在该第一 表面上形成第一散热层；在该第二表面的一部分上形成多个导线； 才是供芯片，设置于该基板的第二表面的上方，两者之间形成腔室； 形成多个接合垫于该芯片朝向于该基板的第二表面的一侧，其中这 些冲妄合垫中的至少一个与这些导线的一个电性连4妄；以及形成第二 散热层，/人该第一孔洞延伸至该腔室内，且该第二散热层与该第一 散热层接触。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中该金属层是利 用物理气相沉积、4匕学气相:;咒积、电镀、黏贴或其纟且合形成。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中该第二散热层 穿过该第 一孔洞并与该芯片4妾触。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，进 一 步包括形成第 三散热层于该芯片朝向该基4反的第二表面的一侧，且该第三散热层 连接该第二散热层。根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中该第三散热层 是利用物理气相沉积、化学气相沉积、电镀、黏贴或其组合形成。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中该第二散热层 从第一散热层穿过第一孔洞且延伸至该基板的导线上。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中该第二散热层 与芯片及接合垫之间相隔一既定距离。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，进一步包括填入树 脂层于该腔室内以密封芯片与基板之间的第二散热层。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中第二散热层由 金、確艮或铜金属组成。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中第二散热层是 利用电镀法形成。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中接合垫是利用 物理气相沉积、〗b学气相沉积、电镀或其组合形成。
根据本发明的集成电路封装体的制造方法，其中第一孔洞是通
过4雷射钻孔、蚀刻或其组合形成
图1示出了一个已知集成电路封装体的剖面图。
图2A至图2F示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的 剖面图及其制造步骤。图2G示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
图3A至图3E示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的 剖面图及其制造步骤。
图3F示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
图4A至图4D示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体 的剖面图及其制造步骤。
图4E示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
图5A至图5C示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体 的剖面图及其制造步骤。
图5D示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
图5E示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
图6示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。 图7示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。 图8示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。 图9示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。 图10示出了根据一实施例所制造的集成电路封装体的剖面图。
具体实施例方式
接下来，将详细说明本发明的优选实施例及其制作方法。然而， 可以理解的是，本发明才是供许多可实施于广泛多样的应用领域的发 明构思。用来说明的具体实施例，仅是利用本发明构思的具体实施 方式的说明，并不限制本发明的范围。
以下参照图2A至图2E的一 系列剖面图来说明集成电^各封装体 的制作方法的 一 个实施例。
参照图2A,其示出在本发明优选实施例中，形成集成电路封 装体的起始步骤。首先，提供基板2。优选的，基板2可以是聚亚 酰胺基板。随后，在基板2上分别形成导电材料层4和36。导电材 料层4和36可以是一般常用的材料，例如在一个实施例中，导电 材料层4和36包括铜或铜合金，然而，其它如金、银或铝也可使 用。在一个实施例中，导电材冲+层4和36可通过贴附或黏着等方 式，分别形成于基板2的上表面和下表面。然而，也可利用电镀工 艺将导电材料层4和36分别形成于基板2的上、下表面。或是在 第一导电材料层上涂布绝缘层，待此绝缘层固化后即形成基板；再 于基板的另 一面利用电镀或是黏着、贴附等方法形成第二导电材料 层(图未显示)。需注意的是，导电材料层4和36可为相同材料， 也可为不同的才才泮+。
接着，如图2B所示，形成图案化光阻层80于基板2上表面的 导电材料层4的上面，由此作为蚀刻掩膜。
参照图2C,随后利用镭射钻孔、蚀刻或其组合，移除部分的 基一反2和导电才才4'牛层4,因而形成开口 86,且乂人开口86底部暴露 出部分的导电材料层36。其中，位于基板2a下表面的导电材料层 36可作为第一散热层。然后，参照图2D,在开口 86中形成第二散热层39,其中第二 散热层39高于导电材料层4。在本实施例中，第二散热层39可利 用电镀法、物理气相沉积法(PVD)或〗匕学气相沉积法(CVD)形成。
参照图2E，其示出移除图案^匕光阻层80后，再利用已知的凝: 影工艺和蚀刻冲支术以图案化导电材^牛层4 ，由此形成多个导线4a。 一般而言，导电材料层4的图案化工艺包括如下步骤首先，在导 电材料层4上形成图案化光阻层(图未显示)，然后再施以蚀刻工 艺，移除导电材料层4上未被图案化光阻层覆盖的部分，而此导电 材料层4的剩余部分则形成多个导线4a。随后实施印刷工艺，例如 网板印刷，在导线4a的外部形成绝缘层8,由此保护导线4a。在 本实施例中，绝全彖层8是由环氧树脂(epoxyresin)形成。
接着，如图2F所示，提供芯片28,设置于基板2的上表面的 上方，因而在两者之间形成腔室。然后，进一步在芯片28朝向基 板2的上表面的一侧形成多个4妄合垫(bondingpad) 26，其中这些 才妄合垫26中的至少一个与上述导线4a中的一个电性连接。在一实 施例中，接合垫26可利用物理气相沉积、化学气相沉积、电镀或 其组合形成。上述导电材料层36及第二散热层39可构成散热层， 由此将半导体芯片28的热通过导电材料层36和第二散热层39传 递至集成电^各封装体外部，其中第二散热层39乂人开口 86底部的导 电材料层36延伸至腔室内并与芯片28接触。
随后，将具有多个4妄合垫(bonding pad) 26的半导体芯片28 接合于基板2a上，且至少一个接合垫26与上述导线4a中的一个 电性连接。最后再填入树脂32于腔室内以密封半导体芯片28和基 才反2a之间的散热层39。
参照图2G,其示出了另一实施例，在本例中，可通过缩短电镀时间或光罩图案的特殊i殳计等手段，形成散热层84从开口 86底 部的导电材料层36延伸至腔室内，且在腔室内形成一个与半导体 芯片28接触的较小面积的散热层84，代替上述形成于腔室中的较 大面积的散热层39以节省制造成本。
图3A至图3E为另一实施例，示出了一集成电路封装体的制作 方法。
参照图3A，其示出了在另一实施例中，形成集成电^各封装体 的起始步艰《。首先，纟是供基才反2。优选的，基板2可以是聚亚酰胺 基板。随后，形成导电材料层4于基板2上。此导电材料层4可以 是一般常用的材料，例如在一个实施例中，导电材冲+层4包括铜或 铜合金，然而，其它如金、银或铝也可使用。在本实施例中，导电 材泮牛层4可利用物理气相沉积法、化学气相沉积法、电镀法或其组 合形成。
接着，参考图3B,其示出可利用已知的微影工艺和蚀刻技术 以图案化导电材冲牛层4,由此形成多个导线4a。
参照图3C，随后可通过例如4雷射钻孔、蚀刻或其组合，形成 至少一个孔洞6于基板2中且贯穿基一反2，因而形成基板2a。
4妄着，如图3D所示，将具有多个4妄合垫26和第一散热层38 的半导体芯片28 4妄合于基板2a上，且至少一个4妄合垫26与上述 导线4a之一电性连接，因而在半导体芯片28和基板2a之间形成 腔室9。在一个实施例中，上述接合垫26可利用物理气相沉积、化 学气相沉积、电镀或其组合形成。随后实施印刷工艺，例如网板印 刷，在导线4a的外部形成绝多彖层8，由此^f呆护导线4a。
参照图3E,直接利用精密对位技术，将具有突出结构的第二散热层46，对准孔洞6后与基板2a、芯片28凝贴组合后，最后再 填入树脂32于腔室9内以密封半导体芯片28和基板2a之间的第 一散热层38和第二散热层46。
然后参照图3D和图3F，其示出在另一实施例中，可通过增加 电镀时间，于半导体芯片28上形成较厚的第一散热层34,其中第 一散热层34穿过腔室9及孔洞6并与大气接触，以提供传递热量 的散热效果。值得注意的是，由于散热层38仅形成于孔洞6和腔 室9内，但并未形成于基板2a的下表面，因此相比于图2F的实施 例，本实施例的集成电路封装体的制作方法是针对单层导电材料的 电路板基材，故相对前述具有双层导电材料的电路板基材的制作方 法而言，具有较低的制造成本的优点。
图4A至图4D为一优选实施例，其示出了集成电路封装体的 制作方法。
参照图4A,首先提供一个与图2C相同结构的组件，由于其制 作方式与图2A至图2C的实施例相同，故在此不再赘述。
随后，参照图4B,形成第二散热层70于开口 86中，且第二 散热层70实质上与导电材料层4，等高。在本实施例中，第二散热 层70可利用电镀法、物理气相沉积法(PVD)或〗匕学气相:;兄积法 (CVD)形成。
参照图4C,其示出移除图案化光阻层80之后，再利用已知的 孩史影工艺和蚀刻技术以图案化导电材料层4，，因而形成多个导线 4a。
接着，如图4D所示，l是供具有与图3D相同结构的芯片28, 设置于基板2a的上表面的上方。随后，利用黏着材料将芯片28接
12合于基板2a上，其中第一散热层38与上述第二散热层70接触且 4妻合垫26中的至少一个与上述导线4a之一电性连4妄。随后实施印 刷工艺，例如网4反印刷，在导线4a的外部形成绝》彖层8，由此^f呆护 导线4a。最后再填入树脂32于腔室内以密封半导体芯片28和基板 2a之间的第一散热层38与第二散热层70。因此，半导体芯片28 才喿作时所产生的热可通过第一散热层38、第二散热层70、以及导 电材料层36传递至集成电路封装体外部。
参照图4E，其示出了另一实施例，在本实施例中，可通过缩 短电镀或物理/化学气相沉积时间，或光罩图案的特殊设计，在半导 体芯片28上形成一个较小面积的散热层42，代替图4D的实施例 中位于半导体芯片28上的较大面积的第 一散热层38以节省制造成 本。另夕卜，也可通过缩短电镀时间，形成较小面积的第二散热层71， 代替图4D的实施例中位于导电材料层36上的较大面积的第二散热 层70以进一步节省制造成本。
图5A至图5C为另一实施例，示出了一集成电路封装体的制 作方法。
参照图5A，首先4是供一个与图4B相同结构的组件，由于其制 作方式与图2A至图2C及图4B的实施例相同，故在此不再赘述。 同样地，形成于导电材料层5上的第二散热层75与位于基板3a上 的导电材料层5'等高，其中导电材料层5可用作为第一散热材料。
随后，参考图5B,其示出了移除图案化光阻层90之后，再利 用已知的微影工艺和蚀刻技术以图案化导电材料层5，，由此形成多 个导线5a。接着，再利用镭射钻孔或蚀刻工艺，移除一部分的第二 散热层75和导电材并+层5,以形成开口87、导电材^牛层5b和多个 分开的第二散热层77,其中这些分开的第二散热层77与导线5a及 导电材料层5b连接。如图5C所示，随后将一个具有多个接合垫26的半导体芯片 28接合于基板3a上，其中至少一个接合垫26与导线5a中的一个 电性连接，因而在半导体芯片28和基板3a之间形成腔室。同样地， 上述4妄合垫26可利用物理气相沉积、^f匕学气相:;兄积、电镀或其组 合形成。接着，利用印刷工艺，例如网板印刷，在导线5a外部形 成绝缘层8,由此保护导线5a。最后再填入树脂32于腔室内以密 封半导体芯片28和基才反3a之间的导线5a。
参照图5D，其示出在一实施例中，散热层50从基板3a下表 面的导线5b穿过孔洞且延伸至基板3a上表面，并完全覆盖孔洞。 本实施例与第4E图的实施的差别在于散热层50除了与接合垫26 接触之外，进一步与形成于半导体芯片28上的接合垫27接触，因 而可提供相对较高的散热效率。其中，接合垫27的长度比接合垫 26长，且利用与接合垫26实质相同的方法形成，并与接合垫26相 邻。
在另一实施例中，如图5E所示，其示出散热层52从基板3a 的下表面穿过位于半导体芯片28外侧的孔洞，再向内侧延伸至基 板3a的上表面，且与半导体芯片28上的接合垫26接触，因此， 半导体芯片28#:作时所产生的热，可通过散热层52传递至集成电
路封装体外部。
以下结合图6至图10的结构剖面图来说明集成电路封装体的 结构的其它实施例。
参照图6,其示出散热层54从基板60的下表面穿过孔洞延伸 至基板60上表面，且和位于基板60上表面的导线56接触。由于 在此实施例中，散热层54和接合垫26及半导体芯片28之间相隔 一既定距离，因此半导体芯片28 4乘作时所产生的热，依序透过树 脂32和散热层54传递至集成电路封装体外部。如图7所示，在另一实施例中，在具有多个孔洞的基板61上 形成第一散热层62和一个与第一散热层62相邻的第二散热层63， 且分别填入不同的孔洞内。其中，第一散热层62和4妄合垫26连接， 而第二散热层63则与4妄合垫26及半导体芯片28之间相隔一既定 距离。在此实施例中，由于第一散热层62和接合垫26接触，因此， 相比于图6的实施例，本实施例可进一步提高集成电路封装体的散 热效率。
如图8所示，其示出在一个优选的实施例中，可通过增加电镀 时间，将图7的实施例中的第二散热层63从腔室9延伸至半导体 芯片28上，而形成第三散热层64，以提升集成电路封装体的散热效率。
参照图9，其示出在一实施例中，第一散热层62和第二散热层 66分别与接合垫26及第三散热层65连接。其中，第三散热层65 形成于半导体芯片28上且和4妄合垫26相邻。因此，半导体芯片28 才乘作时所产生的热，可分别透过4妄合垫26和第一散热层62,以及 第三散热层65和第二散热层66传递至集成电路封装体外部。
参照图10，其示出也可通过缩短电镀或物理Af匕学气相沉积时 间，或光罩图案的特殊i殳计，形成具有较小面积的散热层67来代 替图9中的第三散热层65,以节省集成电路封装体的制造成本。
上述实施例具有i午多伊乙点，例如在图6至图IO的实施例中， 当半导体芯片28才喿作时，可分别通过接合垫26之一和导线56,以 及接合垫26中的另 一个和第一散热层62将电子讯号传递至基板61 上。也就是，利用这些实施例，可在相同尺寸的封装体中制作多重 走线，由此^是高电子讯号的传输效率。而且，由于这些走线同时兼 具散热功能，因此，利用这些实施例还可同时4是升封装体的散热效 率。
15这些实施例的另 一优点在于，由于散热层可以是与基板表面上 的导线相同材质，因此，不需要额外的材料成本，即可达到改善集 成电路封装体的散热效率。
虽然本发明已经以优选实施例披露如上，但其并非用以限定本 发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内， 可作更改和修改，因此本发明的保护范围当以所附权利要求为准。
主要组件符号说明
封装基板10 恭着层14 印刷电鴻4反18 基板2 基板3 基板6a、 60 导电材料层4 导电材料层5 导电材料层36 导线5a 孔洞6
半导体芯片12 锡球16 封装树脂20、 基板2a 基板3a 基板61 导电材料层4' 导电材料层5， 导线4a 导线56 绝纟彖层8腔室9 接合垫27 散热层42 散热层52 散热层67 第一散热层34 第一散热层62 第二散热层46 第二散热层70 第二散热层75 导电材料层5b 第三散热层65 图案化光阻层90 开口 87
接合垫26 树脂32 散热层50 散热层54 散热层84 第一散热层38 第二散热层39 第二散热层63 第二散热层71 分开的第二散热层77 第三散热层64 图案化光阻层80 开口 8权利要求
1.一种集成电路封装体，包括基板，具有第一表面、及相对所述第一表面的第二表面，以及第一孔洞，其中所述第一孔洞从所述基板的第一表面贯穿至所述第二表面；多个导线，设置于所述基板的所述第二表面的一部分上；芯片，设置于所述基板的所述第二表面的上方，两者之间形成腔室；多个接合垫，设置于所述芯片朝向所述基板的第二表面的一侧，且所述接合垫中的至少一个与所述导线之一电性连接；以及第一散热层，从所述第一孔洞延伸至所述腔室内。
2. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，其中所述第一散热层填满所述第 一孔洞并与所述芯片连《^妄。
3. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，其中所述第一散热层从所述基板的所述第一表面延伸至所述第一孔洞之中，且穿过所述第一孔洞并与所述芯片连接。
4. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，进一步包括在所述芯片朝向所述基板的所述第二表面的一侧i殳置第二散热层，且所述第二散热层连接所述第一散热层。
5. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，其中所述第一散热层乂人所述基纟反的所述第 一表面穿过所述第 一孔洞且延伸至所述基板的所述第二表面上。
6. 根据权利要求5所述的集成电路封装体，其中所述第二表面上的所述第 一散热层与所述接合垫之一 连接。
7. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，其中所述第一散热层与所述芯片及所述4妻合垫之间相隔一既定3巨离。
8. 根据权利要求1所述的集成电路封装体，还包括第三散热层，/人所述基一反的所述第 一表面穿过第二孔洞且延伸至所述基4反的所述第二表面上，其中所述第二孔洞与所述第一孔洞相邻。
9. 根据权利要求8所述的集成电路封装体，其中所述第三散热层与所述芯片及所述4妻合垫之间相隔一既定-巨离。
10. —种集成电路封装体的制造方法，包括提供基板，具有第一表面、及相对所述第一表面的第二表面，以及第一孔洞，其中所述第一孔洞从所述基板的所述第一表面贯穿至所述第二表面；形成第一散热层于所述第一表面上；形成多个导线于所述第二表面的一部分上；提供芯片，设置于所述基板的所述第二表面的上方，两者之间形成腔室；形成多个4妄合垫于所述芯片朝向于所述基板的第二表面的一侧，其中所述4妄合垫中的至少 一个与所述导线之一 电性连接；以及形成第二散热层，从所述第一孔洞延伸至所述腔室内，且所述第二散热层与所述第 一散热层接触。
全文摘要
本发明提供了一种集成电路的集成电路封装体，包括基板，具有第一表面、及相对的第二表面，以及至少一个第一孔洞，其中该第一孔洞从该基板的第一表面贯穿至该第二表面；多个导线，设置于该基板的第二表面的一部分上；芯片，设置于该基板的第二表面的上方，两者之间形成腔室；多个接合垫，设置于该芯片朝向该基板的第二表面的一侧，且这些接合垫中的至少一个与这些导线之一电性连接；以及第一散热层，从该第一孔洞延伸至该腔室内。
文档编号H01L23/367GK101494205SQ200810004169
公开日2009年7月29日 申请日期2008年1月23日 优先权日2008年1月23日
发明者周忠诚, 徐嘉宏, 威 王, 陈进勇 申请人:瑞鼎科技股份有限公司